图像传感器及其形成方法与流程

文档序号:14942016发布日期:2018-07-13 21:10阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种图像传感器及其形成方法,所述图像传感器包括:基底,包括多个像素区域、及位于相邻像素区域之间的第一深沟槽隔离,每个像素区域设置有光电转换元件;滤光层,设置于基底第一表面,包括:格栅,具有多个开口,每个开口对应基底内一个像素区域,以及设置于开口内的滤色元件;多个像素区域包括作为相位检测像素的第一像素区域和第二像素区域,第一像素区域和第二像素区域中分别设置有第二深沟槽隔离,第二深沟槽隔离和光电转换元件在第一表面均具有光接收面,使得入射至第一像素区域和第二像素区域的光一部分入射至光电转换元件的光接收面、另一部分入射至第二深沟槽隔离的光接收面。

技术研发人员:丁琦;黄晓橹;陈世杰;内藤逹也
受保护的技术使用者:德淮半导体有限公司
技术研发日:2018.01.18
技术公布日:2018.07.13
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