半导体装置的制作方法

文档序号:17653915发布日期:2019-05-15 21:46阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本公开实施例提供半导体装置。半导体装置包括基板,其具有第一装置区与第二装置区;第一鳍状物,位于第一装置区中的基板上;第二鳍状物,位于第二装置区中的基板上;第一外延结构,位于第一鳍状物的源极/漏极区中的第一鳍状物上;第二外延结构,位于第二鳍状物的源极/漏极区中的第二鳍状物上;以及介电层,位于第一外延结构与第二外延结构上。第一外延结构掺杂有第一导电型态的第一掺质,第二外延结构掺杂有第二导电型态的第二掺质,且第二导电型态与第一导电型态不同。介电层掺杂有第一掺质。

技术研发人员:朱峯庆;李威养;杨丰诚;陈燕铭
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2018.02.22
技术公布日:2019.05.14
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