柔性衬底、加工方法及装置与流程

文档序号:15277903发布日期:2018-08-28 23:10阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种柔性衬底、加工方法及应用,其中柔性衬底包括基底层,包括基底层,所述基底层包括第一柔性材料层和第一烧蚀材料层,所述第一柔性材料层和所述第一烧蚀材料层结合成两层结构;所述第一烧蚀材料层的比热容大于所述第一柔性材料层的比热容,所述第一烧蚀材料层的碳化温度小于或等于第一柔性材料层的碳化温度;基底层还包括第二烧蚀材料层。与现有技术相比,本发明柔性衬底在加工过程中,第二烧蚀材料层与第一烧蚀材料层的比热容大于第一柔性材料层,则可将多余的热量吸收;烧蚀材料具有吸收均匀完全的特点,可以避免在激光剥离过程中出现的由于激光能量波动,通过烧蚀吸收激光的能量,避免激光损坏第一基底层。

技术研发人员:徐征
受保护的技术使用者:昆山国显光电有限公司
技术研发日:2018.03.03
技术公布日:2018.08.28
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