高压ESD防护器件的制作方法

文档序号:15452091发布日期:2018-09-15 00:13阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种高压ESD防护器件,包括:P型衬底、位于P型衬底上方左侧的第一NWELL区、位于第一NWELL区内部上方的NP接触区、位于P型衬底上方右侧且与第一NWELL区不紧邻的N+接触区、与N+接触区右侧相切的P+接触区;第一NWELL区内部NP接触区右侧设有NTOP层,NP接触区与金属相连形成金属阳极;N+接触区和P+接触区用金属相连构成金属阴极;本发明可以在不改变工艺的情况下,通过调整NTOP层的版图布局来调节触发电压和维持电流,从而避免闩锁效应;NTOP层的存在能够改变电流分布,使器件IV曲线呈现出多次snapback的特性,提高器件在ESD脉冲电流下的鲁棒性。

技术研发人员:乔明;齐钊;肖家木;梁龙飞;梁旦业;张波
受保护的技术使用者:电子科技大学
技术研发日:2018.03.30
技术公布日:2018.09.14
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