具有异质接触件的集成电路的制作方法

文档序号:15740343发布日期:2018-10-23 22:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成电路,包括:

第一有源区域,在衬底上在第一水平方向上延伸;

栅极线,在所述第一有源区域上在第二水平方向上延伸,所述第二水平方向与所述第一水平方向交叉;

源极/漏极区域,在所述第一有源区域上形成于所述栅极线的一侧处;

多个导电线,在与所述栅极线分离的平面上在所述第一水平方向上延伸,且包括第一导电线和第二导电线;

源极/漏极接触件,具有连接到所述源极/漏极区域的底部表面,且包括在竖直方向上彼此连接的下部源极/漏极接触件和上部源极/漏极接触件;以及

栅极接触件,具有连接到所述栅极线的底部表面,且在所述竖直方向上延伸,

其中所述上部源极/漏极接触件放置在所述第一导电线下方,以及

所述栅极接触件放置在所述第二导电线下方。

2.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述栅极接触件包括在所述竖直方向上彼此连接的下部栅极接触件和上部栅极接触件。

3.根据权利要求1所述的集成电路,其中

所述上部源极/漏极接触件连接到所述第一导电线,以及

所述栅极接触件连接到所述第二导电线。

4.根据权利要求1所述的集成电路,更包括:

第一通孔,将所述上部源极/漏极接触件连接到所述第一导电线;以及

第二通孔,将所述栅极接触件连接到所述第二导电线。

5.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述第二导电线放置在所述第一有源区域上方。

6.根据权利要求1所述的集成电路,更包括:

第二有源区域,在所述衬底上在所述第一水平方向上延伸,具有不同于所述第一有源区域的第一导电类型的第二导电类型,且与所述栅极线交叉,

其中所述第一有源区域和所述第二有源区域在所述衬底上彼此分离由设计规则界定的有源至有源最小空间。

7.根据权利要求6所述的集成电路,其中所述第二导电线放置在所述第一有源区域与所述第二有源区域之间的区域上。

8.根据权利要求7所述的集成电路,其中所述多个导电线包括设置成邻近于所述第二导电线且放置在所述第一有源区域与所述第二有源区域之间的第三导电线,以及

所述集成电路更包括放置在所述栅极线或另一栅极线与所述第三导电线交叉的点处的另一栅极接触件。

9.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述下部源极/漏极接触件的顶部表面大于所述上部源极/漏极接触件的底部表面。

10.一种集成电路,其包括:

第一有源区域和第二有源区域,在衬底上在第一水平方向上彼此平行地延伸;

多个栅极线,在所述第一有源区域和所述第二有源区域上在第二水平方向上延伸,所述第二水平方向与所述第一水平方向交叉;

多个源极/漏极区域,在所述第一有源区域和所述第二有源区域上形成于所述多个栅极线的相应侧处;

多个导电线,在与所述多个栅极线分离的平面上在所述第一水平方向上彼此平行地延伸;

多个源极/漏极接触件,各自具有连接到所述多个源极/漏极区域中的一个的底部表面,且各自在竖直方向上延伸;以及

多个栅极接触件,各自具有连接到所述多个栅极线中的一个的底部表面,且各自包括在所述竖直方向上彼此连接的下部栅极接触件和上部栅极接触件,

其中所述多个源极/漏极接触件和所述多个栅极接触件的所述上部栅极接触件分别放置在所述多个导电线下方。

11.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述多个源极/漏极接触件中的每一个包括在所述竖直方向上彼此连接的下部源极/漏极接触件和上部源极/漏极接触件。

12.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述多个源极/漏极接触件中的每一个和所述多个栅极接触件的所述上部栅极接触件中的每一个连接到所述多个导电线中的至少一个。

13.根据权利要求10所述的集成电路,更包括:

多个第一通孔,分别将所述多个源极/漏极接触件连接到所述多个导电线中的一个或多个;以及

多个第二通孔,分别将所述多个栅极接触件的所述上部栅极接触件连接到所述多个导电线中的一个或多个。

14.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述多个栅极接触件的所述上部栅极接触件中的至少一个放置在所述第一有源区域上。

15.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述第一有源区域和所述第二有源区域在所述衬底上彼此分离由设计规则界定的有源至有源最小空间。

16.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述多个栅极接触件的至少一个所述下部栅极接触件在所述第一水平方向上延伸,且连接所述多个导电线中的至少两个。

17.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述下部栅极接触件的顶部表面大于所述上部栅极接触件的底部表面。

18.一种集成电路,包括:

第一有源区域和第二有源区域,在衬底上在第一水平方向上彼此平行地延伸;

多个栅极线,设置在所述第一有源区域和所述第二有源区域上,且在与所述第一水平方向交叉的第二水平方向上延伸;

多个源极/漏极区域,在所述第一有源区域和所述第二有源区域上形成于所述多个栅极线的相应侧处;

多个导电线,在所述多个栅极线上方且与所述多个栅极线分离的平面上在所述第一水平方向上彼此平行地延伸;

多个源极/漏极接触件,各自具有连接到所述多个源极/漏极区域中的一个的底部表面,且各自在竖直方向上延伸;以及

多个栅极接触件,各自具有连接到所述多个栅极线中的一个的底部表面,且在所述竖直方向上延伸,

其中所述集成电路更包括以下中的至少一个:

所述多个栅极接触件中的每一个包括在所述竖直方向上彼此连接的下部栅极接触件和上部栅极接触件;以及

所述多个源极/漏极接触件中的每一个包括在所述竖直方向上彼此连接的下部源极/漏极接触件和上部源极/漏极接触件。

19.根据权利要求18所述的集成电路,其中所述下部源极/漏极接触件的顶部表面大于所述上部源极/漏极接触件的底部表面。

20.根据权利要求18所述的集成电路,其中所述下部栅极接触件的顶部表面大于所述上部栅极接触件的底部表面。

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