具有异质接触件的集成电路的制作方法

文档序号:15740343发布日期:2018-10-23 22:11阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种集成电路,其包含:多个导电线,其在与栅极线分离的平面上在第一水平方向上延伸,且包含第一导电线和第二导电线;源极/漏极接触件,其具有连接到源极/漏极区域的底部表面,且包含在竖直方向上彼此连接的下部源极/漏极接触件和上部源极/漏极接触件;以及栅极接触件,其具有连接到栅极线的底部表面且在竖直方向上延伸,其中上部源极/漏极接触件放置在第一导电线下方,且栅极接触件放置在第二导电线下方。下部源极/漏极接触件的顶部表面可以大于上部源极/漏极接触件的底部表面。

技术研发人员:金兑衡;都桢湖;文大英;白尚叶;林哉炫;崔在承;韩相信
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2018.04.10
技术公布日:2018.10.23

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