一次性可编程电容型熔丝位及存储器的制作方法

文档序号:15644286发布日期:2018-10-12 22:24阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种一次性可编程电容型熔丝位,该熔丝位包括上极板3,所述上极板包括若干并排间隔设置的熔丝5,相邻两熔丝的中部连接;每个所述熔丝的两端部和中部的上部空间分别对应设置一与熔丝连接的连接部;该熔丝位还包括对应于所述熔丝两端部和中部设置的下极板2,所述下极板设置于熔丝的下部空间;对应于所述熔丝中部的下极板与对应于所述熔丝中部的连接部具有正对面积;对应于所述熔丝中部的下极板与对应于所述熔丝两端部的下极板间具有镂空部4,所述熔丝的两端部的边缘的投影位于镂空部内。本发明熔丝结构采用MIM的上极板,比金属连线层次薄,所需要的熔断电流没有金属连线熔丝大。

技术研发人员:徐鸣远;要水琴;李梁;沈晓峰;杨洪锐;王健安;付东兵;陈光炳;黄兴发;陈玺
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第二十四研究所
技术研发日:2018.05.04
技术公布日:2018.10.12
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