多向自对准多图案化的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及多向自对准多图案化，其揭露互连结构以及制造互连结构的方法。第一以及第二非心轴互连件形成于一层间介电层中。该第一非心轴互连件以及该第二非心轴互连件各具有在一第一方向延伸的侧面。连接互连件从该第一非心轴互连件的该侧面向该第二非心轴互连件的该侧面，在横向于该第一方向的一第二方向延伸。

技术研发人员：C·邦巴迪;何铭;夫拉特·察哈恩;安布·瑟尔泛·KM·玛哈林更;K·多纳根
受保护的技术使用者：格芯公司
技术研发日：2018.05.25
技术公布日：2018.12.04