技术特征：
技术总结
本发明公开了一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，包括机身以及设置在所述机身内的第一滑动腔，所述第一滑动腔内可左右滑动的设置有第一滑动块，所述第一滑动块前后对称设置有左右贯穿的第一通孔，所述第一通孔内滑动设置左右延伸的第一光杆，所述第一光杆左右两端固定安装在所述第一滑动腔左右端壁内，所述第一滑动块前后端壁内对称设置有开口向外的第一空腔，所述第一空腔下底壁内固定安装有齿条；本发明结构简单，操作方便，通过采用机械结构与光学结构结合，自动进行非晶硅薄膜的刻蚀，不仅自动化程度高，而且不受非晶硅薄膜负面限制，能够完成大批量大幅面高质量非晶硅薄膜刻蚀，提高了刻蚀效率与质量，提高了装置实用性能。
技术研发人员：屠阳阳
受保护的技术使用者：黄山科太环保科技有限公司
技术研发日：2018.05.29
技术公布日：2018.09.28