技术特征：
技术总结
本发明公开一种隔离沟槽的填充设备，包括：设备入气口，设置于填充设备用于输入晶圆的一侧，用于向填充设备中通入含氧气体；化学过滤器，设置于所述设备入气口，用于过滤所述含氧气体中的杂质气体，以提供臭氧阻隔环境，其中，所述杂质气体包括臭氧；以及设备出气口，设置于所述填充设备用于输出所述晶圆的一侧，用于将所述填充设备中产生的废气排出，所述填充设备在所述臭氧阻隔环境中对所述晶圆的隔离沟槽进行填充。有效减小甚至消除隔离沟槽中的空洞，减少填充次数，降低成本。本发明还公开一种隔离沟槽的填充方法。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2017.08.09
技术公布日：2018.11.16