传感器模块、半导体制造装置及制造半导体器件的方法与流程

技术特征：

技术总结
一种用于检测半导体设备中的工艺环境的传感器模块，其包括：传感器主体，其包括第一板和第二板；以及在传感器主体中的传感器电路单元，其中传感器电路单元包括在第一板与第二板之间的静电传感器。

技术研发人员：黄泳豪;苏相允;李大熙;丁大声;金东煜;宋钟民
受保护的技术使用者：三星电子株式会社
技术研发日：2018.08.24
技术公布日：2019.04.19