柔性显示面板及其制备方法、显示装置与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及其制备方法、显示装置。

背景技术：

柔性屏是指通过利用塑料或者聚合物膜生成柔性基板来实现的图像实现装置。柔性屏可以为液晶显示器(liquidcrystaldisplay，lcd)、有机发光二极管显示器(organiclight-emittingdiode,oled)、电子墨水显示器等。

相关技术中，在柔性屏的可靠性测试中，例如，弯折次数为60k次，弯折半径为5r，其中，r为半径参数，弯折速率为30rpm(revolutionsperminute，转每分)，在弯折3万多次后显示装置的功能膜层间会出现剥离/分离或者无机膜层内断裂/开裂的现象，导致柔性屏品质下降。

技术实现要素：

本发明提供一种柔性显示面板及其制备方法、显示装置，以解决相关技术中的不足。

根据本发明实施例的第一方面，提供一种柔性显示面板，包括无机材料绝缘层，所述无机材料绝缘层设有至少两个孔，所述至少两个孔中存在延伸方向相交的孔。

在一个实施例中，所述无机材料绝缘层包括第一区，所述第一区的上下两侧均未设置与所述无机材料绝缘层接触的导电层，所述至少两个孔设于所述第一区。

在一个实施例中，所述至少两个孔中包括至少一个未贯穿所述无机材料绝缘层的盲孔，或者，所述至少两个孔中包括至少一个贯穿所述无机材料绝缘层的通孔。

在一个实施例中，所述至少两个孔中存在延伸方向相互垂直的孔。

在一个实施例中，所述至少两个孔中相邻的两个孔的延伸方向相交。

在一个实施例中，所述至少两个孔依次连通。

在一个实施例中，所述至少两个孔均为通孔，且包括第一通孔与第二通孔；所述第一区包括相对的第一边界与第二边界；

所述第一通孔位于所述第一边界侧，所述第二通孔位于所述第二边界侧，以将所述第一区分割为至少两个相互独立的区域。

在一个实施例中，所述至少两个孔中相邻的两个孔之间存在间隙。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种显示装置，包括上述的柔性显示面板。

根据本发明实施例的第三方面，提供一种柔性显示面板的制备方法，包括：

形成无机材料绝缘层；

在所述无机材料绝缘层上形成至少两个孔，所述至少两个孔中存在延伸方向相交的孔。

根据上述实施例可知，通过在柔性显示面板的无机材料绝缘层上设置延伸方向相交的孔，以使在柔性显示面板被反复弯折时，可以阻断无机材料绝缘层中横向以及纵向的膜层应力传递，减小膜层应力，进而，可以减少功能膜层间出现剥离/分离或者无机材料绝缘层内断裂/开裂的现象，提高柔性显示面板的弯折性能，防止柔性屏品质下降。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

图1是根据本发明实施例示出的一种柔性显示面板的结构示意图；

图2是根据本发明实施例示出的一种第一区的俯视图；

图3是根据本发明实施例示出的另一种第一区的俯视图；

图4是图2中a-a方向的剖视图；

图5是根据本发明实施例示出的一种柔性显示面板的制备方法的流程图。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置和方法的例子。

图1～4是根据本发明实施例示出的一种柔性显示面板。其中，图4为沿图2中aa方向的剖面图。该柔性显示面板包括多条栅线11、多条数据线12以及多条栅线11与多条数据线12交叉限定的多个像素区13，多个像素区13呈阵列排布。每个像素区13包括显示区131与非显示区。每个像素区13内设置有薄膜晶体管14、显示器件(未示出)与电容器21。其中，薄膜晶体管14位于非显示区，显示器件、电容器21位于显示区131内。在薄膜晶体管14中、电容器21中、薄膜晶体管14与显示器件之间、和/或显示器件与电容器21之间，通常在两层导电层之间形成无机材料绝缘层，用于隔离两层导电层，使得两层导电层之间绝缘。例如，在薄膜晶体管14的栅极143与有源层144之间的栅极绝缘层141便为上述的无机材料绝缘层，用于使栅极143与有源层144之间绝缘。

在本发明实施例中，所述无机材料绝缘层设有至少两个孔311～317，所述至少两个孔311～317中存在延伸方向相交的孔。例如，孔311～317中相邻的两个孔的延伸方向可相交。其中，每个孔可以为沿指定方向延伸的孔。孔的截面形状可以为矩形，该矩形的长边方向为孔的延伸方向。

在本发明实施例中，通过在柔性显示面板的无机材料绝缘层上设置延伸方向相交的孔，以使在柔性显示面板被反复弯折时，可以阻断无机材料绝缘层中横向以及纵向的膜层应力传递，减小膜层应力，进而，可以减少功能膜层间出现剥离/分离或者无机材料绝缘层内断裂/开裂的现象，提高柔性显示面板的弯折性能，防止柔性屏品质下降。

在一个实施例中，无机材料绝缘层可包括第一区31与第二区，所述至少两个孔311～317可设于所述第一区31。其中，第二区为需要所述无机材料绝缘层起到绝缘功能的区域，第二区的上下两侧中的其中一侧或者两侧设置有与无机材料绝缘层接触的导电层。第一区31为无需所述无机材料绝缘层起到绝缘功能的区域，第一区31的上下两侧均未设置与无机材料绝缘层接触的导电层。例如，对于薄膜晶体管14中的栅极绝缘层141来说，栅极143、有源层144、栅线11、数据线12等可能设置在栅极绝缘层141的其中一侧，并与栅极绝缘层141接触，因此，与栅极绝缘层141接触的导电层对应的区域为第二区。而栅极绝缘层141中上下两侧均未设置导电层的区域无需起到绝缘功能，因此，可为第一区31。在本发明实施例中，通过在柔性显示面板的无机材料绝缘层的第一区设置延伸方向相交的孔，其中，第一区的上下两侧均未设置与所述无机材料绝缘层接触的导电层，在不影响无机材料绝缘层的绝缘功能的情况下，不但可以减小无机材料绝缘层的覆盖面积，而且，当柔性显示面板被反复弯折时，还可以阻断无机材料绝缘层中横向以及纵向的膜层应力传递，减小膜层应力，进而，可以减少功能膜层间出现剥离/分离或者无机材料绝缘层内断裂/开裂的现象，提高柔性显示面板的弯折性能，防止柔性屏品质下降。

在一个实施例中，所述至少两个孔311～317中可包括至少一个未贯穿所述无机材料绝缘层的盲孔。其中，盲孔的孔深小于无机材料绝缘层的厚度。至少两个孔311～317中可部分为盲孔，也可全部为盲孔。

在另一个实施例中，所述至少两个孔311～317中可包括至少一个贯穿所述无机材料绝缘层的通孔。其中，通孔的孔深等于无机材料绝缘层的厚度。至少两个孔311～317中可部分为通孔，也可全部为通孔。

在一个实施例中，如图2所示，所述至少两个孔311～317中相邻的两个孔的延伸方向可相交。其中，每个所述孔可为矩形通孔。即，相邻的两个孔的延伸方向之间呈一定的夹角，该夹角不为0度或180度。例如，孔311的延伸方向与孔312的延伸方向可相交，孔312的延伸方向与孔313的延伸方向可相交，……，孔316的延伸方向与孔317的延伸方向可相交。

在一个实施例中，如图2所示，所述至少两个孔311～317中存在延伸方向相互垂直的孔。如上所述，第一区31内可设有至少两个孔311～317，相邻的两个孔的延伸方向相互垂直。这样，当柔性显示面板被反复弯折时，可以阻断无机材料绝缘层中横向以及纵向的膜层应力传递，减小膜层应力。

在一个实施例中，如图2所示，所述第一区31可包括相对的第一边界32与第二边界33。所述至少两个孔311～317均为通孔，且包括第一通孔与第二通孔。其中，孔311为第一通孔，孔317为第二通孔。第一通孔位于所述第一边界32侧，第二通孔位于所述第二边界33侧。而且，至少两个孔311～317以第一通孔为首端、以第二通孔为尾端依次连通，以将所述第一区31分割为至少两个相互独立的区域318、319以及310。这样，当柔性显示面板被反复弯折时，可以减少无机材料绝缘层积累，更好减少膜层应力堆叠，提高显示区弯折性能。

在另一个实施例中，如图3所示，所述至少两个孔311～317中相邻的两个孔之间可存在间隙。这样，当柔性显示面板被反复弯折时，也可以阻断无机材料绝缘层中横向以及纵向的膜层应力传递，减小膜层应力。

在一个实施例中，如图4所示，柔性显示面板可包括薄膜晶体管14。所述薄膜晶体管14包括有源层144、栅极绝缘层141、栅极143、源极142以及漏级145。其中，所述栅极绝缘层141位于所述栅极143与所述有源层144之间，所述栅极绝缘层141为所述无机材料绝缘层，所述栅极绝缘层141在显示区可设置有所述孔311～317，所述孔311～317可均为通孔。

在一个实施例中，如图4所示，柔性显示面板可包括电容器21。所述电容器21位于所述栅极绝缘层141上。电容器21包括电极212、电极213以及层间绝缘层211。层间绝缘层211位于电极212与电极213之间。在一个实施例中，电极212可为正极，电极213可为负极。当然，在另一个实施例中，电极212也可为负极，电极213也可为正极。即所述电容器21的正负极板之间设有层间绝缘层211。所述层间绝缘层211为所述无机材料绝缘层；所述层间绝缘层在所述显示区设置有所述孔311～317，所述孔311～317可均为通孔。在一个实施例中，所述栅极绝缘层141的孔可与所述层间绝缘层211的孔相对应且相互连通。

在一个实施例中，如图4所示，柔性显示面板可包括至少一层金属走线层22、23。所述至少一层金属走线层22、23位于所述栅极绝缘层141上。例如，金属走线层22、23可以为数据线12的金属走线层。所述电容器21可与所述至少一层金属走线层22、23之间设有层间介电层24。所述层间介电层21为所述无机材料绝缘层；所述层间介电层24在所述显示区设置有所述孔311～317，所述孔311～317可均为通孔。在一个实施例中，所述层间介电层24的孔311～317与所述层间绝缘层211的孔311～317相对应且相互连通。

在一个实施例中，如图4所示，柔性显示面板可包括柔性基板25。柔性基板25可为有机层与无机层交替排列的夹层结构。例如，柔性基板25可包括第一有机层251、第一缓冲层252、第二有机层253以及第二缓冲层254。其中，第一有机层251与第二有机层253的材料可以是pi(聚酰亚胺)。第一缓冲层252与第二缓冲层254可以是无机材料，具体可以是但不限于氧化硅，用于阻水、阻氧，并可以起到平坦化的作用。

在一个实施例中，如图4所示，柔性显示面板还可包括设置于柔性基板25与薄膜晶体管14之间的第三缓冲层26。第三缓冲层26可以包括第一无机层261与第二无机层262。其中，第一无机层261可为氧化硅材料，第二无机层262可为氮化硅材料。第三缓冲层26可用于防止柔性基板25的材料为pi(聚酰亚胺)时对有源层144产生不良影响，以保证薄膜晶体管14的稳定性。

在一个实施例中，如图4所示，第三缓冲层26为所述无机材料绝缘层；所述第三缓冲层26在所述显示区设置有所述孔311～317，所述孔311～317可均为通孔。在一个实施例中，所述第三缓冲层26的孔可与所述栅极绝缘层141的孔相对应且相互连通。

在一个实施例中，如图4所示，第二缓冲层254为所述无机材料绝缘层；第二缓冲层254在所述显示区设置有所述孔311～317。在一个实施例中，所述第二缓冲层254的孔可与所述第三缓冲层26的孔相对应且相互连通。

在一个实施例中，所述孔311～317中可填充有机材料。由于有机材料的抗弯折性能较好，因此，可以提高无机材料绝缘层的弯折性能。

在一个实施例中，如图4所示，柔性显示面板还可包括设置于层间介电层24上的钝化层27，可以保护接触孔中的接触电极28。

在一个实施例中，如图4所示，柔性显示面板还可包括平坦化层(planarization，简称pln)29。例如，平坦化层29可包括第一平坦化层291、第二平坦化层292以及第三平坦化层293。其中，第一平坦化层291位于柔性基板25与金属走线层22之间，第二平坦化层292位于金属走线层22与金属走线层23之间，第三平坦化层293位于钝化层27上。平坦化层29的材料可以是有机材料。

在一个实施例中，如图4所示，柔性显示面板还可以包括显示器件的阳极210、像素定义层(pdl)2101以及支撑柱2102。其中，显示器件可以是oled(organiclight-emittingdiode，有机发光二极管)器件。需要说明的是，图4只是示出了柔性显示面板的部分结构，而不是全部结构。

相关技术中，由于在对柔性显示面板进行动态弯折时，屏体内的应力不能有效释放，尤其是无机层应力较大，容易产生应力集中，因此，存在弯折时功能膜层间容易出现剥离/分离或者无机膜层内断裂/开裂，弯折时应力大的膜层会出现脱落、褶皱、断裂、鼓泡的问题。本发明实施例中，通过在柔性显示面板的无机材料绝缘层设置延伸方向相交的孔，使得在柔性显示面板被反复弯折时，可以阻断无机材料绝缘层中横向以及纵向的膜层应力传递，减小膜层应力，进而，可以减少功能膜层间出现剥离/分离或者无机材料绝缘层内断裂/开裂的现象，提高柔性显示面板的弯折性能，防止柔性屏品质下降。

本发明的实施例还提出了一种显示装置，包括上述任一实施例所述的柔性显示面板。

本发明的实施例还提出了一种柔性显示面板的制备方法，如图5所示，包括以下步骤501～502：

在步骤501中，形成无机材料绝缘层。

在步骤502中，在所述无机材料绝缘层上形成至少两个孔，所述至少两个孔中存在延伸方向相交的孔。

本发明实施例中，通过在柔性显示面板的无机材料绝缘层上设置延伸方向相交的孔，以使在柔性显示面板被反复弯折时，可以阻断无机材料绝缘层中横向以及纵向的膜层应力传递，减小膜层应力，进而，可以减少功能膜层间出现剥离/分离或者无机材料绝缘层内断裂/开裂的现象，提高柔性显示面板的弯折性能，防止柔性屏品质下降。

需要说明的是，本实施例中的显示装置可以为：电子纸、手机、平板电脑、电视机、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。

其中，上述流程所采用的形成工艺例如可包括：沉积、溅射等成膜工艺和刻蚀等构图工艺。

需要指出的是，在附图中，为了图示的清晰可能夸大了层和区域的尺寸。而且可以理解，当元件或层被称为在另一元件或层“上”时，它可以直接在其他元件上，或者可以存在中间的层。另外，可以理解，当元件或层被称为在另一元件或层“下”时，它可以直接在其他元件下，或者可以存在一个以上的中间的层或元件。另外，还可以理解，当层或元件被称为在两层或两个元件“之间”时，它可以为两层或两个元件之间唯一的层，或还可以存在一个以上的中间层或元件。通篇相似的参考标记指示相似的元件。

在本发明中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的公开后，将容易想到本发明的其它实施方案。本发明旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。