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有机半导体器件的制备方法与流程
文档序号:16535971
发布日期:2019-01-08 19:54
阅读:
来源:国知局
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有机半导体器件的制备方法与流程
技术特征:
技术总结
本揭示提供了有机半导体器件的制备方法。所述方法包括提供衬底,在衬底上形成牺牲层,在牺牲层上形成图案化的有机半导体层,在图案化的有机半导体层上形成绝缘层,在绝缘层上形成栅电极,从图案化的有机半导体层上分离牺牲层及衬底,以及在图案化的有机半导体层上形成源漏电极。本揭示能提供简单有效的有机半导体器件的制备方法。
技术研发人员:
陈黎暄
受保护的技术使用者:
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:
2018.08.31
技术公布日:
2019.01.08
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