散热式齐纳二极管的制作方法

文档序号:17349929发布日期:2019-04-09 21:05阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种散热式齐纳二极管,包含属于第一导电型的一重掺杂半导体基板、属于第一导电型的一第一磊晶层、属于第二导电型的一第一重掺杂区、一第二磊晶层与属于第一导电型或第二导电型的一第二重掺杂区。第一磊晶层设于重掺杂半导体基板上,第一重掺杂区设于第一磊晶层中,并与重掺杂半导体基板相隔。第二磊晶层设于第一磊晶层上,第二磊晶层具有贯穿自身的一第一掺杂区,第一掺杂区属于第二导电型,第一掺杂区接触第一重掺杂区。第二重掺杂区设于第一掺杂区中。

技术研发人员:叶致廷;黄菘志;庄哲豪
受保护的技术使用者:晶焱科技股份有限公司
技术研发日:2018.09.20
技术公布日:2019.04.09
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