技术特征:
技术总结
一种图像传感器及其形成方法,图像传感器包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括多个像素区、以及位于相邻所述像素区之间的隔离区,所述半导体衬底具有相对的第一面和第二面;位于半导体衬底像素区内的感光结构,所述半导体衬底第一面暴露出所述感光结构;位于半导体衬底第二面表面的阻挡层,所述阻挡层内具有第一凹槽,所述第一凹槽底部暴露出位于像素区的阻挡层表面,所述阻挡层材料为抗压材料;位于所述第一凹槽内的滤光层,所述阻挡层材料的热膨胀系数小于滤光层材料的热膨胀系数。所述图像传感器的性能得到提高。
技术研发人员:龙海凤;李天慧;藤井光一;黄晓橹;夏睿
受保护的技术使用者:德淮半导体有限公司
技术研发日:2018.11.15
技术公布日:2019.04.02