1.一种流体收集装置,其特征在于,包括:
一基板载台,用于固定及旋转一基板;
一收集单元,围绕所述基板载台,并用以收集从所述基板而来的流体;以及
一驱动组件,连接所述收集单元,并用于升降所述收集单元,其中所述驱动组件包括:
一传动轴,具有一长轴;
一动力件,连接所述传动轴,并用以驱动所述传动轴绕着所述长轴而旋转;以及
一第一升降支撑件,连接所述传动轴与所述收集单元,其中所述传动轴绕着所述长轴的旋转驱动所述第一升降支撑件升降所述收集单元。
2.如权利要求1所述的流体收集装置,其特征在于,所述驱动组件更包括一第二升降支撑件,所述第一升降支撑件与所述第二升降支撑件分别设置于所述传动轴的两端部,且皆连接于所述收集单元。
3.如权利要求2所述的流体收集装置,其特征在于,所述流体收集装置更包括多个所述收集单元与多个所述驱动组件,其中这些所述驱动组件分别连接这些所述收集单元,而各个所述驱动组件驱动其所连接的所述收集单元升降,以使这些所述收集单元个别地升降,其中这些所述驱动组件的数量等于这些所述收集单元的数量。
4.如权利要求3所述的流体收集装置,其特征在于,这些所述驱动组件的多个所述传动轴彼此并列。
5.如权利要求3所述的流体收集装置,其特征在于,各个所述收集单元的形状为环形,且这些所述收集单元呈同心圆排列,这些所述驱动组件还包括多个所述传动轴、多个所述第一升降支撑件与多个所述第二升降支撑件,其中这些所述传动轴具有彼此不同的长度,且其中一个所述第一升降支撑件与其中一个所述第二升降支撑件分别设置于同一个所述传动轴的两端部。
6.如权利要求1所述的流体收集装置,其特征在于,所述传动轴水平设置于所述基板载台的下方。
7.如权利要求6所述的流体收集装置,其特征在于,所述第一升降支撑件包括一垂直升降杆以及一连杆,所述垂直升降杆的两端分别连接于所述收集单元的底部与所述连杆一端,而所述连杆的另一端固定设置于所述传动轴,以使绕着所述长轴而旋转的所述传动轴转动所述连杆,而转动的所述连杆驱动所述垂直升降杆升降所述收集单元。
8.如权利要求1所述的流体收集装置,其特征在于,所述动力件与所述第一升降支撑件彼此分离,并且分别固定设置于所述传动轴的不同位置。
9.如权利要求8所述的流体收集装置,其特征在于,所述动力件设置于所述基板载台的下方以及所述基板载台的周边。
10.如权利要求8所述的流体收集装置,其特征在于,所述动力件水平设置于所述基板载台的下方。