一种单泵紫外激光器的制作方法

文档序号:14569111发布日期:2018-06-01 21:13阅读:来源:国知局
一种单泵紫外激光器的制作方法

技术特征:

1.一种单泵紫外激光器,其特征在于,所述激光器包括腔体(1),所述腔体(1)内设置有激光光源(2)、晶体模块(3)、声光Q开关(4)、倍频组件以及谐振组件,其中,所述谐振组件包括第一反射镜(5)、第二反射镜(6)以及第三反射镜(7),所述第一反射镜(5)、所述晶体模块(3)、所述声光Q开关(4)以及所述第二反射镜(6)依次设置在第一直线上,所述第二反射镜(6)和所述第三反射镜(7)位于所述倍频组件两侧,所述第二反射镜和所述第三反射镜位于第二直线上,所述第一直线和所述第二直线形成夹角为锐角的V型谐振腔。

2.根据权利要求1所述的一种单泵紫外激光器,其特征在于,所述腔体(1)呈方形,所述腔体内设置有分割板(8),所述分割板(8)将所述腔体分为第一腔体和第二腔体,所述激光光源(2)设置在所述第一腔体内,所述晶体模块(3)、声光Q开关(4)、倍频组件以及谐振组件设置在所述第二腔体内。

3.根据权利要求2所述的一种单泵紫外激光器,其特征在于,所述激光光源(2)为泵浦模块,所述分割板(8)上设置有光纤座(9),所述光纤座(9)内设置有光纤,所述光纤和所述泵浦模块的输出端连接。

4.根据权利要求3所述的一种单泵紫外激光器,其特征在于,所述光纤和所述第一反射镜(5)之间设置有准直耦合透镜(10)和聚焦耦合透镜(11),所述准直耦合透镜(10)和所述聚焦耦合透镜(11)按所述光纤向所述第一反射镜的方向依次设置。

5.根据权利要求2所述的一种单泵紫外激光器,其特征在于,所述第二腔体内还设置有挡光板(12),所述挡光板(12)设置在紫外激光的线路上。

6.根据权利要求2所述的一种单泵紫外激光器,其特征在于,所述第二腔体内还设置有绿光吸收筒(13),所述绿光吸收筒(13)设置在所述第三反射镜(7)和所述倍频组件的外侧。

7.根据权利要求2-6任一项所述的一种单泵紫外激光器,其特征在于,所述倍频组件包括三倍频晶体(14)和二倍频晶体(15),所述三倍频晶体(14)和所述二倍频晶体(15)按所述第二反射镜(6)向所述第三反射镜(7)的方向设置。

8.根据权利要求7所述的一种单泵紫外激光器,其特征在于,所述第二腔体内还设置有光阑(16),所述光阑(16)设置在所述三倍频晶体(14)和所述第二反射镜(6)之间。

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