一种单泵紫外激光器的制作方法

本实用新型属于激光器技术领域，尤其涉及一种单泵紫外激光器。

背景技术：

本实用新型的激光器应用在3C行业标记及工业化精密加工领域，主要用于3C行业的表层冒化、划线，盲槽处理，金属或非金属镀层去除等。

激光腔体是产生激光光路的腔体，在腔体中通常会具有谐振腔，光波在谐振腔中可以来回反射，从而提供光能反馈。谐振腔是激光器的必要组成部分，现有技术中，谐振腔通常是由两块与激活介质轴线垂直的平面或凹球面反射镜构成。

在实现本实用新型的过程中，申请人发现现有技术中至少存在以下不足：

由于现有技术中谐振腔是由两块反射镜组成，即是传统直腔型谐振腔，此种类型的谐振腔为避免激光光波线路，其中的两个反射镜的距离较大，致使腔体较为庞大，不利于激光器在实际运用中的布置。

技术实现要素：

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种结构紧凑的单泵紫外激光器。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种单泵紫外激光器，其特征在于，所述激光器包括腔体，所述腔体内设置有激光光源、晶体模块、声光Q开关、倍频组件以及谐振组件，其中，所述谐振组件包括第一反射镜、第二反射镜以及第三反射镜，所述第一反射镜、所述晶体模块、所述声光Q开关以及所述第二反射镜依次设置在第一直线上，所述第二反射镜和所述第三反射镜位于所述倍频组件两侧，所述第二反射镜和所述第三反射镜位于第二直线上，所述第一直线和所述第二直线形成夹角为锐角的V型谐振腔；

所述激光光源发出的泵浦激光汇集到所述晶体模块中，所述泵浦激光在所述晶体模块中产生基础振荡并输出基频激光，所述基频激光摄入到所述声光Q开关中，所述声光Q开关将连续的基频激光调制为脉冲基频激光并输出，所述脉冲基频激光经所述第二反射镜反射后，透过所述倍频组件，并经所述第三反射镜反射回来，再次通过倍频组件产生紫外激光。

进一步地，所述腔体呈方形，所述腔体内设置有分割板，所述分割板将所述腔体分为第一腔体和第二腔体，所述激光光源设置在所述第一腔体内，所述晶体模块、声光Q开关、倍频组件以及谐振组件设置在所述第二腔体内。

进一步地，所述激光光源为泵浦模块，所述分割板上设置有光纤座，所述光纤座内设置有光纤，所述光纤和所述泵浦模块的输出端连接。

进一步地，所述光纤和所述第一反射镜之间设置有准直耦合透镜和聚焦耦合透镜，所述准直耦合透镜和所述聚焦耦合透镜按所述光纤向所述第一反射镜的方向依次设置，以对进入到晶体模块的光速进行准直和聚焦。

进一步地，所述第二腔体内还设置有挡光板，所述挡光板设置在紫外激光的线路上，以吸收不必要的绿光，获得更纯净的紫外激光。

进一步地，所述第二腔体内还设置有绿光吸收筒，所述绿光吸收筒设置在所述第三反射镜和所述倍频组件的外侧，以吸收产生的绿光。

进一步地，所述倍频组件包括三倍频晶体和二倍频晶体，所述三倍频晶体和所述二倍频晶体按所述第二反射镜向所述第二反射镜的方向设置。

进一步地，所述第二腔体内还设置有光阑，所述光阑设置在所述三倍频晶体和所述第二反射镜之间。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的一种单泵紫外激光器，由于第一反射镜、第二反射镜所在的第一直线以及第二反射镜、第三反射镜所在的第二直线形成夹角为锐角的V型谐振腔，相比于传统直腔型谐振腔，其所需要的空间更小，进而使腔体内的布置更加紧凑，以缩小腔体体型，以利于激光器在实际运用中的布置。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的一种单泵紫外激光器的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的一种单泵紫外激光器的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型实施例的一种单泵紫外激光器的结构示意图，图2为本实用新型实施例的一种单泵紫外激光器的俯视结构示意图。参见图1及图2，本实用新型实施例的一种单泵紫外激光器，该激光器包括腔体1，腔体1内设置有激光光源2、晶体模块3、声光Q开关4、倍频组件以及谐振组件，其中，谐振组件包括第一反射镜5、第二反射镜6以及第三反射镜7，第一反射镜5、晶体模块3、声光Q开关4以及第二反射镜6依次设置在第一直线上，第二反射镜6和第三反射镜7位于倍频组件两侧，第二反射镜和第三反射镜位于第二直线上，第一直线和第二直线形成夹角为锐角的V型谐振腔。

在实施时，本实用新型实施例的激光光源2发出的泵浦激光汇集到晶体模块3中，泵浦激光在晶体模块3中产生基础振荡并输出基频激光，基频激光摄入到声光Q开关4中，声光Q开关4将连续的基频激光调制为脉冲基频激光并输出，脉冲基频激光经第二反射镜6反射后，透过倍频组件，并经第三反射镜7反射回来，再次通过倍频组件产生紫外激光。

本实用新型的一种单泵紫外激光器，由于第一反射镜、第二反射镜所在的第一直线以及第二反射镜、第三反射镜所在的第二直线形成夹角为锐角的V型谐振腔，相比于传统直腔型谐振腔，其所需要的空间更小，进而使腔体内的布置更加紧凑，以缩小腔体体型，以利于激光器在实际运用中的布置。

结合图1及图2，本实用新型实施例的腔体1可以呈方形，腔体1内可以设置有分割板8，分割板8将腔体分为第一腔体和第二腔体，激光光源2设置在第一腔体内，晶体模块3、声光Q开关4、倍频组件以及谐振组件设置在第二腔体内。

本实用新型实施例的激光光源2选为泵浦模块，分割板8上设置有光纤座9，光纤座9内设置有光纤，光纤和泵浦模块的输出端连接，泵浦模块通过光纤发射出泵浦激光。

结合图1及图2，本实用新型实施例的光纤和第一反射镜5之间设置有准直耦合透镜10和聚焦耦合透镜11，准直耦合透镜10和聚焦耦合透镜11按光纤向第一反射镜的方向依次设置，以用于泵浦激光的准直和聚焦。

泵浦模块通过光纤发射出的泵浦激光，在晶体模块3中可以产生基础振荡并输出1064nm的基频激光。

结合图1及图2，本实用新型实施例的第二腔体内还可以设置有光阑16，光阑16设置在三倍频晶体14和第二反射镜6之间，以用于对1064nm的基频激光进行过滤。

结合图1及图2，本实用新型实施例的倍频组件包括三倍频晶体14和二倍频晶体15，三倍频晶体14和二倍频晶体15按第二反射镜6向第三反射镜7的方向设置，1064nm的基频激光经第二发射镜6、第三反射镜依次反射后，透过二倍频晶体15，一部分转换为532nm光波，1064nm的基频激光和532nm光波再透过三倍频晶体14转化为355nm紫外光。

在355nm紫外光产生的过程中，会产生绿色光波，基于此，本实用新型实施例的第二腔体内还设置有挡光板12以及绿光吸收筒13，挡光板12设置在紫外激光的线路上，以隔离紫外激光方向上的绿色光波，而绿光吸收筒13设置在第三反射镜7和倍频组件的外侧，用于吸收倍频组件转换时产生的绿色光波。

在光波转换的过程中，由光波往返且不处于同一直线上的第一反射镜、第二反射镜以及第三反射镜构成的谐振组件，能及时补充光波转换时所需要的能量，保证激光输出的功率。

以上所举实施例为本实用新型的较佳实施方式，仅用来方便说明本实用新型，并非对本实用新型作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本实用新型所提技术特征的范围内，利用本实用新型所揭示技术内容所作出局部更动或修饰的等效实施例，并且未脱离本实用新型的技术特征内容，均仍属于本实用新型技术特征的范围内。