一种PERC太阳电池背面激光开槽结构的制作方法

文档序号:16012329发布日期:2018-11-20 20:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种PERC太阳电池背面激光开槽结构,包括内部设置有背面电极区(4)的背面钝化叠层(2),其特征在于:所述背面电极区(4)四周设置有激光开槽区(1),所述激光开槽区(1)外部设置有边沿区(3),所述激光开槽区(1)整区排布利于优化激光光斑的正六边型槽。

2.根据权利要求1所述的一种PERC太阳电池背面激光开槽结构,其特征在于:所述正六边型槽的边长为0.6-2.4mm,边长间距为0-0.6mm,所述正六边型槽的深度为65-260nm,所述激光光斑线径宽度为10-80um,所述激光波段为360-1200nm,所述边沿区宽度为0.5-1mm。

3.根据权利要求1所述的一种PERC太阳电池背面激光开槽结构,其特征在于:所述正六边型槽通过镭射激光打孔机开槽。

4.根据权利要求1所述的一种PERC太阳电池背面激光开槽结构,其特征在于:所述背面钝化叠层(2)包括Al2O3薄膜和沉积在Al2O3薄膜上的Si3N4薄膜,所述Al2O3薄膜厚度为3-30nm,所述Si3N4薄膜厚度为60-230nm。

5.根据权利要求1所述的一种PERC太阳电池背面激光开槽结构,其特征在于:所述背面电极区(4)包括20个电极,所述20个电极呈5条4分段主栅分布,所述电极的宽度为1.5-2mm,长度为18-22mm。

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