基板处理装置的制作方法

本实用新型涉及一种基板处理装置，更加具体地，涉及一种基板处理装置，其能够提高药液的处理效率并提高药液中所含有的气体的去除效率。

背景技术：

最近，正在进行各种用于提高半导体的收率及生产率的尝试。

其中，面板级封装(Panel Level Package；PLP)是在没有用于半导体封装的PCB(印刷电路板)的情况下，用廉价的费用对输入输出多的高性能半导体芯片进行封装(将连接芯片和设备的线直接植入在面板的封装)的技术，被评价为优于晶圆级封装(WLP)工艺的技术。

在制造半导体封装的工艺中，伴随着在被处理基板的表面涂覆抗蚀剂等药液的涂覆工艺。在被处理基板的尺寸小的现有技术中，使用了如下旋转涂覆方法：在被处理基板的中央部涂覆药液的同时，使得被处理基板旋转，据此，在被处理基板的表面涂覆药液。

但是，随着被处理基板的尺寸变大，几乎不使用旋转涂覆方式，而使用如下方式的涂覆方法：使得具有与被处理基板的宽度相对应的长度的裂缝形态的狭缝喷嘴和被处理基板相对移动的同时，从狭缝喷嘴将药液涂覆于被处理基板的表面。

另外，若在涂覆于基板的药液中含有气体，则存在如下问题：药液难以以均匀的厚度涂覆于基板的表面，并且由于药液的不均匀的涂覆，使得涂覆质量下降。

尤其，在涂覆工艺中，若使用高粘度药液(例如，具有500cP以上粘度的药液)，则可以防止药液的流动，但是存在如下问题：药液的粘度越高，由于高粘度的特性，药液中所含有的气体的去除效率(脱气效率)下降，并且脱气(degassing)工艺所需的时间增加。

为此，在现有技术中公开了如下一种方案：设置用于从药液中排除气体的另外的搅拌器，在搅拌器对药液进行搅拌的同时去除药液中含有的气体。但是具有如下问题：为了提高药液的处理量，不可避免地需要使用大容量的搅拌器，但搅拌器的尺寸越大，不仅越难以将设备制作为小型设备，而且空间利用率及设计自由度也越降低。

而且，利用搅拌器的脱气方式具有以下问题：在对药液进行脱气处理时需要过多的时间(例如，处理100公升(liter)时需要8小时)，并且脱气效率低。

另外，存在如下问题：药液的脱气效率越低，在对用于移送药液的设备及线路进行稳定化(对设备及线路的内部的空气层进行去除)时所消耗的药液的净化量(使得含有气体的药液排出并废弃的量)越增加，并且存在因不必要地增加药液的使用量而使得成本上升的问题。

据此，近来进行各种用于有效地去除药液中所含有的气体并使得药液的质量提高的研究，但是这还不够，要求对此的开发。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种基板处理装置，其能够提高药液的处理效率，并提高药液中所含有的气体的去除效率。

另外，本实用新型的目的在于，能够提高高粘度药液的脱气效率，缩短脱气时间。

另外，本实用新型的目的在于，能够缩短设备的稳定化(prewetting，预湿)时间。

另外，本实用新型的目的在于，能够减少药液的使用量，降低成本。

另外，本实用新型的目的在于，能够防止污点的产生，提高药液涂膜的质量。

另外，本实用新型的目的在于，能够简化结构，提高空间利用率及设计自由度。

另外，本实用新型的目的在于，能够均匀地控制药液的喷出量，使得稳定性及可靠性提高。

用于实现所述本实用新型的目的的本实用新型提供一种基板处理装置，其包括：药液处理单元，其按照规定的工艺顺序处理药液；加热单元，其在药液通过药液处理单元被处理的过程中将药液加热至规定范围的温度。

如上所述，根据本实用新型可以获得如下有利效果：提高药液的处理效率，并提高药液中所含有的气体的去除效率。

另外，根据本实用新型可以获得如下有利效果：即使不使用搅拌器也能提高高粘度药液的脱气效率，缩短脱气时间。

另外，根据本实用新型可以获得如下有利效果：减少药液的使用量，降低成本。

另外，根据本实用新型可以获得如下有利效果：缩短对供给药液的设备及线路进行稳定化所需的时间，提高处理效率。

另外，根据本实用新型可以获得如下有利效果：简化结构，提高空间利用率及设计自由度。

另外，根据本实用新型可以获得如下有利效果：防止污点的产生，提高药液涂膜的质量。

另外，根据本实用新型可以获得如下有利效果：能够均匀地控制药液的喷出量，使得稳定性及可靠性提高。

附图说明

图1是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的图。

图2是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的加热单元的第一实施例的图。

图3是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的加热单元的第二实施例的图。

图4是用于说明随着药液的温度变化而产生的药液的粘度变化的图。

图5是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的加热单元的第三实施例的图。

图6是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的加热单元的第四实施例的图。

图7是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的脱气模块的图。

图8及图9是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的脱气模块的另一个实施例的图。

图10是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的药液冷却部的图。

图11是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的药液冷却部的另一个实施例的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本实用新型的优选的实施例进行详细说明，但是本实用新型并非受到实施例的限制或限定。作为参考，在本说明中相同的标号实质上表明相同的要素，在这样的规则下，可通过引用其他附图中记载的内容进行说明，并且可以省略本技术领域的技术人员认为显而易见的或者重复的内容。

图1是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的图，图2是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的加热单元的第一实施例的图，图3是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的加热单元的第二实施例的图。并且，图4是用于说明随着药液的温度变化而产生的药液的粘度变化的图。另外，图5是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的加热单元的第三实施例的图，图6是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的加热单元的第四实施例的图。另外，图7是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的脱气模块的图，图8及图9是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的脱气模块的另一个实施例的图。另外，图10是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的药液冷却部的图，图11是用于说明根据本实用新型的基板处理装置的药液冷却部的另一个实施例的图。

参照图1至图11，根据本实用新型的基板处理装置1包括：药液处理单元200，其按照规定的工艺顺序处理药液；加热单元300，其在药液通过药液处理单元200被处理的过程中将药液加热至规定范围的温度。

其目的在于，提高药液的处理效率，并提高药液中所含有的气体的去除效率。

换句话说，若涂覆于基板的药液中含有气体，则药液难以以均匀的厚度涂覆于基板的表面，由于药液的不均匀的涂覆，存在涂覆质量下降的问题。尤其，在涂覆工艺中，若使用高粘度药液(例如，具有500cP以上粘度的药液)，则可以防止药液的流动，但是存在如下问题：药液的粘度越高，由于高粘度的特性，药液中所含有的气体的去除效率(脱气效率)下降，脱气(degassing)工艺所需的时间增加。

此外，若药液的脱气效率降低，则存在如下问题：在对用于移送药液的设备及线路进行稳定化(对设备及线路的内部的空气层进行去除)时需要很多时间，例如3-5日，并且存在如下问题：增加药液的净化量(使得含有气体的药液排出并废弃的量)，因不必要地增加药液的使用量而使得成本上升。

此外，现有技术中提出如下一种方案：设置用于排除药液中气体的另外的搅拌器，在搅拌器中搅拌药液的同时去除药液中含有的气体。但是，具有如下问题：为了提高药液的处理量，不可避免地需要使用大容量的搅拌器，但搅拌器的尺寸越大，不仅难以将设备制作为小型设备，而且空间利用率及设计自由度降低。而且，利用搅拌器的脱气方式具有以下问题：在对药液进行脱气处理时需要过多的时间(例如，处理100公升(liter)时需要8小时)，并且脱气效率低。

但是，本实用新型中，在药液通过药液处理单元200被处理的过程中将药液的温度加热至规定的范围的温度，从而可以降低药液的粘度，因此，可以获得以下有利效果：缩短在对用于移送药液的设备及线路进行稳定化(对设备及线路的内部的空气层进行去除)时需要的时间，使得药液的净化量(使得含有气体的药液排出并废弃的量)最小化。

更加具体地，药液的温度与药液的粘度具有相关关系。尤其，药液的粘度随着药液的温度增加而降低，在降低药液的粘度的状态(稀释的状态)下处理药液，据此，可获得如下有利效果：缩短对用于移送药液的设备及线路以湿式状态进行稳定化的预湿(pre-wetting)时间。

此外，本实用新型中，在降低药液的粘度的状态(稀释的状态)下使得药液中含有的气体分离，据此可以获得以下有利效果：即使不使用另外的搅拌器，也可以有效地去除药液中含有的气体，并提高空间利用率及设计自由度。

作为参考，为了将涂覆物质(药液)涂覆于各种客体，可根据要求的条件及设计规格使用根据本实用新型的基板处理装置1，本实用新型并非受客体和药液的种类的限制或限定。

以下，举例说明基板处理装置1构成为将药液(例如，PR)涂覆于基板10的上面。优选地，在基板10涂覆具有500cP(厘泊，centi-poise)以上的高粘度特性的药液。

药液处理单元200可以形成为能够将药液供给至喷嘴单元400的多种结构，并且可以根据要求的条件及设计规格对药液处理单元200的结构进行各种变更。

例如，药液处理单元200包括：筒罐210，其用于存储药液；药液供给线路220，其供给来自筒罐210的药液；过滤模块230，其对沿着药液供给线路220供给的药液进行过滤；脱气模块240，其用于排除(degassing)药液中含有的气体G。

以下，举例说明在存储于筒罐210的药液沿着药液供给线220被供给的过程中依次经过过滤模块230和脱气模块240而得到处理。根据不同的情况，也可以在药液处理单元排除过滤模块及脱气模块或额外安装过滤模块及脱气模块。

液态的药液存储于筒罐210，存储于筒罐210的药液通过药液供给线路220(例如，管道)被供给至喷嘴单元400。

例如，多个筒罐210以并列的形式连接。根据不同的情况，可使用单一筒罐，本实用新型并非受筒罐的个数及排列的限制或限定。

过滤模块230设置为对沿药液供给线路220供给的药液进行过滤，并且药液经过过滤模块230被过滤后被供给至喷嘴单元400。

过滤模块230可以包括能够对药液中含有的异物进行过滤的各种种类的过滤器，本实用新型不受在过滤模块230中使用的过滤器的种类及过滤方式的限制或限定。

加热单元300设置为在药液通过药液处理单元200被处理的过程中将药液加热至规定范围的温度。

如此，在药液通过药液处理单元200被处理的过程中药液的温度被加热至规定范围的温度，从而可以强制性地降低药液的粘度，因此，可以获得以下有利效果：缩短对用于移送药液的设备及线路以湿式状态进行稳定化的预湿时间，降低药液的净化量。换句话说，参照图4可知，药液的粘度随着药液的温度增加而降低。

例如，参照图2，加热单元300包括在筒罐210中对药液进行加热的加热器310。

加热器310可以构成为安装于筒罐210的外部并对筒罐210进行加热，随着筒罐210被加热器310加热，存储于筒罐210的药液得到加热。根据不同的情况，也可以构成为将加热器安装于筒罐的内部，在筒罐的内部药液直接被加热器加热。

作为另一个例子，参照图3，加热单元300包括在药液供给线路220上对药液进行加热的加热器320。

加热器320安装于形成药液供给线路220的管道的外部(或内部)，药液在沿着药液供给线路220被供给的过程中被加热器320加热。根据不同的情况，也可以在筒罐和药液供给线路分别安装加热器并对药液进行两次以上的加热。

作为又另一个例子，参照图5，加热单元300包括在过滤模块230对药液进行加热的加热器330。

加热器330安装于过滤模块230的内部或外部，药液在通过过滤模块230的过程中被加热器330加热。

另外，脱气模块240设置为排除药液中含有的气体G。

在此，所谓的排除药液中含有的气体G定义为，使得药液中含有的气体G从药液中分离而去除。

脱气模块240可以形成为能够排除药液中含有的气体G的多种结构，本实用新型不受脱气模块240的结构及脱气方式的限制或限定。

作为参考，本实用新型中，通过在药液的处理工艺中对药液进行加热来使得药液的粘度降低，从而可以使得药液中含有的气体的约束力降低，因此，可以获得以下有利效果：使得药液中含有的气体更加快速且有效地从药液中分离出来。

参照图6，加热单元300包括在脱气模块240对药液进行加热的加热器340。

加热器340安装于脱气模块240的内部或外部，药液在通过脱气模块240的过程中被加热器340加热。此时，加热器340的安装位置可以根据脱气模块240的结构发生各种变更。

如此，通过在药液的脱气工艺中对药液进行加热来降低药液的粘度，从而可以降低药液中含有的气体的约束力，因此可以获得以下有利效果：使得药液中含有的气体更加快速且有效地从药液中分离出来。

例如，参照图7，脱气模块240包括：模块外壳242；膜管244，其由气体G能够透过的材料形成，并以通过模块外壳242的内部的形式配置，药液供给至膜管244；排气线路246，其与模块外壳242相连接，将透过膜管244的气体排出至模块外壳242的外部。

模块外壳242可以设置为在内部具有收容空间的筒形状，并且根据要求的条件及设计规格，模块外壳242的形状及结构可以进行多种变更。

膜管244由气体G能够透过的材料形成，以通过模块外壳242的内部的形式配置，并沿着膜管244的内部供给药液。

例如，膜管244可以由中空纤维(hollow fiber)形成，中空纤维由醋酸纤维素、聚砜、聚酰亚胺、聚烯烃等构成。根据不同的情况，膜管可以由其他不同的材料形成，本实用新型不受膜管的材质的限制或限定。

膜管244的个数以及排列可以根据要求的条件及设计规格的不同而发生多种变更。例如，四个膜管244可以以相隔开的形式沿水平方向配置于模块外壳242的内部。

排气线路246设置为将透过膜管244的气体G排出至模块外壳242的外部。

例如，排气线路246可以连接于模块外壳242的上端，透过膜管244的气体G通过排气线路246排出。

优选地，向排气线路246施加真空压力的真空压力形成部246a与排气线路246相连接，从药液中排除的气体(透过膜管的气体)G被施加于排气线路246的真空压力吸入而排出。

此外，加热器340构成为在药液进入膜管244之前对药液进行加热。

如此，在药液进入膜管之前事先进行加热从而降低药液的粘度，据此可以降低药液中含有的气体的约束力，因此可以获得以下有利效果：使得药液中含有的气体更加有效地透过膜管。根据不同的情况，加热器也可以对模块外壳进行加热，然后药液通过加热了的模块外壳而得到加热。

作为参考，在前面叙述的以及附图中示出的本实用新型的实施例中，举例说明了沿着膜管的内部供给药液(内部贯穿)，药液中含有的气体从膜管的内部向膜管的外部透过，但是，根据不同的情况，也可以构成为沿着膜管的外部供给药液(外部贯穿)，药液中含有的气体从膜管的外部向膜管的内部透过。

作为另一个例子，脱气模块可以构成为利用离心力使得气体从药液中分离。

更加具体地，参照图8,脱气模块240'包括：模块外壳242'，药液供给至模块外壳242'；旋转体244'，其在模块外壳242'的内部旋转，通过离心力CF使得药液紧贴于模块外壳242'的内面；排气线路246'，其将在药液紧贴于模块外壳242'的内面的过程中从药液分离出来的气体G排出至模块外壳242'的外部。

模块外壳242'可以设置为在内部具有收容空间的筒形状，并且根据要求的条件及设计规格的不同，模块外壳242'的形状及结构可以进行多种变更。

旋转体244'以能够旋转的形式安装于模块外壳242'的内部，使得药液在模块外壳242的内部高速旋转。

作为旋转体244'可以使用能够使得药液旋转的各种旋转体244'，本实用新型不受旋转体244'的种类及结构的限制或限定。

如此，使得旋转体244'在模块外壳242'的内部旋转，从而药液利用离心力CF而紧贴于模块外壳242'的内面，据此，可以使得药液中含有的气体G从药液中分离。

换句话说，随着旋转体244'旋转而向药液作用离心力CF,药液铺展开的同时以形成非常薄的药液层的形式紧贴于模块外壳242'的内面。此时，由于比重高的液态药液配置于药液层的外侧，比重低的气体配置于药液层的里面，因此，气体G的约束力可能变弱，所以可以有效地将药液中含有的气体G从药液中分离出来。

排气线路246'设置为将从药液中分离出来的气体G排出至模块外壳242'的外部。

例如，排气线路246'可以连接于模块外壳242'的上端中央部，从药液中分离出来的气体G通过排气线路246'排出。

优选地，向排气线路246'施加真空压力的真空压力形成部246a'与排气线路246'相连接，从药液中分离出来的气体G被施加至排气线路246的真空压力吸入而排出。

此外，加热器340构成为对模块外壳242'进行加热。通过离心力CF而紧贴于模块外壳242'的内面的药液随着模块外壳242'被加热器340加热而得到加热。

如此，通过在药液通过离心力CF而紧贴于模块外壳242'的内面的过程中对药液进行加热来使得药液的粘度降低，据此可以使得药液中含有的气体的约束力更加降低，因此可以获得以下有利效果：使得药液中含有的气体更加有效地分离出来。

作为参考，在前述以及附图中示出的本实用新型的实施例中，举例说明了药液通过在模块外壳内部旋转的旋转体而紧贴于模块外壳的内面，但是根据不同的情况，也可以排除另外的旋转体而直接使得模块外壳旋转，从而通过模块外壳的离心力使得药液紧贴于模块外壳的内面。

作为又另一个例子，参照图9，脱气模块240"包括：模块外壳242"，药液供给至模块外壳242"；挡板(baff le)244"，其设置于模块外壳242"的内部，并形成药液流动的板状的引导面；排气线路246"，其将在药液沿着挡板244"的引导面流动的过程中从药液分离出来的气体G排出至模块外壳242"的外部。

模块外壳242"可以设置为在内部具有收容空间的筒形状，并且根据要求的条件及设计规格的不同，模块外壳242"的形状及结构可以进行多种变更。

挡板244"以凸出的形式形成于模块外壳242"的内壁面，并形成药液流动的板状的引导面。

在此，所谓的形成药液流动的板状的引导面定义为，形成药液能够以薄薄地铺展开的状态流动的板状形态的面。

优选地，以沿着模块外壳242"的上下方向交替倾斜地配置于一侧和相对侧的形式设置有多个挡板244"。更加具体地，各个挡板244"在互不相同的高度上形成为以从模块外壳242"的内壁向下部方向歪斜的形式倾斜的板形态。

以下举例说明在模块外壳242"的内壁面以沿着上下方向交替配置于一侧和相对侧的形式设置有四个挡板244"。挡板244"的个数及排列可以根据要求的条件及设计规格的不同而发生多种变更，并且根据不同的情况也可以将挡板形成为曲线形态。

如此，药液沿着各个挡板244"的引导面以薄薄地铺展开的状态向下流下，据此可以使得药液中含有的气体G从药液中分离出来。优选地，由于药液沿着挡板244"的引导面流动的厚度(药液层的厚度)越薄气体G的约束力越弱，因此，可以使得药液中含有的气体G更加有效地从药液中分离出来。

排气线路246"设置为将从药液中分离出来的气体G排出至模块外壳242"的外部。

例如，排气线路246"可以连接于模块外壳242"的上端，从药液中分离出来的气体G通过排气线路246"排出。

优选地，向排气线路246"施加真空压力的真空压力形成部246a"与排气线路246"相连接，从药液中分离出来的气体G被施加至排气线路246"的真空压力吸入而排出。

此外，加热器340构成为对挡板244"进行加热。随着挡板244"被加热器340加热，药液在沿着挡板244"流动的过程中通过挡板244"得到加热。根据不同的情况，也可以对模块外壳进行加热然后通过模块外壳对药液进行加热。

如此，在药液沿着挡板244"流动的过程中对药液进行加热，从而使得药液的粘度降低，据此可以使得药液中含有的气体G的约束力更加降低，因此，可以获得以下有利效果：使得药液中含有的气体G更加有效地分离出来。

另外，喷嘴单元400设置为将在药液处理单元200进行处理的药液涂覆于基板。

喷嘴单元400配置于基板的上部，获得从药液供给线路220供给的药液然后将药液(PR)涂覆于基板10的表面。例如，喷嘴单元400包括裂缝形态的狭缝喷嘴(未示出)，狭缝喷嘴具有与基板10的宽度相对应的长度，基板10的宽度是沿着与被处理基板10的移动方向相直交的方向的宽度。

在此，利用喷嘴单元400涂覆药液的区域可以是基板10的整个表面，也可以是分割为多个单元区域的部分。

作为参考，基板10利用基板移送部100沿着事先设定的移送路径被移送。

例如，基板移送部100构成为使得基板10以悬浮于空中的状态进行移送。优选地，基板移送部100利用由超声波产生的振动能量以使得所述基板悬浮的状态进行移送。

如此，利用由超声波产生的振动能量来使得基板10悬浮，从而可以获得以下有利效果：可以精密地对基板10的悬浮力进行控制，在搬送基板10期间使得因外部接触而导致的损伤及变形最小化。

尤其，在利用由超声波产生的振动能量的悬浮方式中，由于可以在整个基板10形成均匀的悬浮力，因此可以获得以下有利效果：在从喷嘴单元400涂覆药液的涂覆区域更加精准地控制及保持相对于喷嘴单元400的基板的配置高度。

作为参考，在本实用新型的实施例中，举例说明了基板移送部100利用由超声波产生的振动能量来使得基板10悬浮，但是根据不同的情况，基板移送部也可以通过向基板的底面喷射流体(例如，气体)来使得基板悬浮。不同的是，也可以构成为基板以安放于基板移送部的状态被移送。

更加具体地，设置基板移送部100的目的在于，利用由超声波产生的振动能量来使得基板10以悬浮的状态进行移送。

例如，基板移送部100包括多个振动板，多个振动板以相互隔开地配置的形式被独立分割。在本实用新型的实施例中，举例说明构成基板移送部的多个振动板沿着移送基板的方向被分割，但是根据不同的情况，多个振动板也可以沿着与移送基板的方向相交叉的方向被分割。不同地，基板移送部也可以仅包括一个振动板。

在此，所谓的使得基板10悬浮是指基板10以与振动板110的上部隔开规定间距的形式漂浮在空中的状态，悬浮在振动板110的上部的基板10以吸附或者支撑于沿着移送轨道122直线移动的移送部件120的状态被移送。

此外，所谓的多个振动板被独立分割是指，多个振动板以相互隔开的形式配置，由多个振动板产生的悬浮力分别单独地作用于基板10。

作为参考，基板移送部100包括装载移送部、处理移送部、卸载移送部，基板10装载于装载移送部，在处理移送部将药液涂覆于基板10的表面，涂覆有药液的基板10卸载于卸载移送部。

在清洗处理单元完成清洗工艺的基板10沿着装载移送部被移送至处理移送部，在被移送至处理移送部的基板10的表面涂覆药液。此后，涂覆有药液的基板10沿着卸载移送部被移送后，通过加热干燥单元被加热，据此使得药液干燥。

并且，移送部件120可构成为沿着移送轨道122直线移送。例如，移送轨道122可以利用直线电机的原理来驱动，N极和S极的永久磁铁交替地排列，可通过向移送部件120的线圈施加的电流控制来进行精确的位置控制。

此外，基板处理装置1包括药液冷却部510，药液冷却部510将从喷嘴单元400涂覆的药液的温度调节到规定的温度范围。

例如，药液冷却部510将药液的温度调节至第二温度，第二温度比药液通过加热单元被加热到的第一温度低。优选地，第一温度设定为高于常温。此时，第一温度和第二温度可以是一个规定的温度值，或者可以设定为规定范围。

其目的在于，将从喷嘴单元400涂覆的药液调节为适合于工艺的工艺温度范围。换句话说，因为药液在通过药液处理单元200被处理的期间通过加热单元300得到加热，所以药液的温度高于规定的温度范围。如上所述，若药液的温度高于规定的温度范围，则药液难以具有高粘度特性，由于药液的粘度低，因此产生药液的流动，可能降低涂层质量。

但是，本实用新型中，使得从喷嘴单元400涂覆的药液的温度调节(调节为比第一温度低的第二温度)为规定范围的温度，据此可获得如下有利效果：从喷嘴单元400涂覆的药液可重新具有高粘度特性，使得药液涂膜的质量提高。

药液冷却部510、510'可根据要求的条件及设计规格构成为在各种位置上调节药液的温度。

例如，参照图10，药液冷却部510可设置于药液供给线路220上，药液供给线路220向喷嘴单元400供给被加热单元300加热了的药液。

作为另一个例子，参照图11，药液冷却部510'安装于喷嘴单元400，在从喷嘴单元400涂覆药液之前，可将药液的温度调节为规定的温度范围。

药液冷却部510、510'可利用类似于珀尔帖效应元件(Peltier effect device)的冷却元件或者利用冷却水来调节药液的温度，本实用新型并非受利用药液冷却部510、510'对药液温度进行调节的方式的限制或限定。

在前述及示出的本实用新型的实施例中，举例说明了药液冷却部510、510'构成为降低药液的温度，但是根据不同的情况，药液冷却部也可以构成为提高药液的温度或保持药液的温度。

如上所述，参照本实用新型的优选实施例进行了说明，但是可理解为，如果是所属技术领域的熟练的技术人员，则可在不脱离权利要求书中记载的本实用新型的思想及领域的范围内对本实用新型进行各种修改及变更。

标号说明

100：基板移送部 200：药液处理单元

210：筒罐 220：药液供给线路

230：过滤模块 240：脱气模块

242：模块外壳 244：膜管

246：排气线路 246a：真空压力形成部

242'：模块外壳 244'：旋转体

246'：排气线路 246a'：真空压力形成部

242"：模块外壳 244"：挡板

246"：排气线路 246a"：真空压力形成部

300：加热单元 310、320、330、340：加热器

400：喷嘴单元 510、510'：药液冷却部