一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置的制作方法

文档序号:16153867发布日期:2018-12-05 18:45阅读:493来源:国知局
一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置的制作方法

本实用新型属于硅片腐蚀清洗机技术领域,具体涉及一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置。



背景技术:

硅片腐蚀清洗是指利用氢氧化钠对多晶硅的腐蚀作用,去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层,避免直接使用硅片会影响太阳电池的填充因子,但是目前的硅片腐蚀清洗机定量补液装置仍有些许不足之处。

目前的硅片腐蚀清洗机定量补液装置大多内部由液位器和定时器组成,通过定时器控制电磁阀在一定时间开启,来获得一定流量的液体,但是这种方式误差较大,精度不高;且一般的,由于补液环境的温度较低,导致碱液存在储液瓶的内壁上会生成结晶,影响碱液的流动性,造成流量会有一定的偏差;且一般的定量装置大部分都是通过卡箍及螺栓固定在清洗机的侧壁上,不容易拆卸,不方便清洗,等等问题还有待我们解决。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置,以解决上述背景技术中提出的目前的硅片腐蚀清洗机定量补液装置大多内部由液位器和定时器组成,通过定时器控制电磁阀在一定时间开启,来获得一定流量的液体,但是这种方式误差较大,精度不高;且一般的,由于补液环境的温度较低,导致碱液存在储液瓶的内壁上会生成结晶,影响碱液的流动性,造成流量会有一定的偏差;且一般的定量装置大部分都是通过卡箍及螺栓固定在清洗机的侧壁上,不容易拆卸,不方便清洗的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置,包括储液瓶,所述储液瓶左端的上方开设有进液口,所述进液口的上方设置有木橡塞,所述储液瓶上表面的中心位置处设置有电机,所述电机的下方设置有转动轴,所述转动轴的前后左右四个方位上均设置有搅拌扇叶,所述储液瓶的右侧壁上设置有控制盒,所述控制盒的内部设置有控制器,所述控制器的右端设置有显示屏,所述显示屏的下方设置有控制开关,所述储液瓶的下方开设有出液口,所述出液口的现房设置有第一电磁阀,且出液口通过卡箍与第一电磁阀固定连接,所述第一电磁阀的下方设置有定量瓶,所述定量瓶左端的上方设置有电容液位器,且定量瓶侧壁的前方设置有液位刻度板,所述定量瓶的下方设置有第二电磁阀,所述第一电磁阀、第二电磁阀、电机、电容液位器、控制器和显示屏均与控制开关电性连接,所述控制开关通过电源插座与外界电源电性连接。

优选的,所述搅拌扇叶为弧形结构,且搅拌扇叶的侧壁上开设有圆孔。

优选的,所述储液瓶底部的后方设置有定量管,所述定量管的下方设置有球阀,所述球阀的下方设置有定量漏斗,所述定量漏斗的下方设置有转动块,所述转动块的侧壁上开设有流通槽,且转动块的右端设置有转动杆,所述定量漏斗的下方与定量瓶连接。

优选的,所述储液瓶的左端设置有孔块,所述孔块的内部开设有通孔,所述通孔的内部设置有钩块。

优选的,所述定量瓶的左端设置有橡胶凸块,所述橡胶凸块的左端设置有槽块,所述槽块与橡胶凸块相对应位置处开设有凹槽,所述橡胶凸块与凹槽嵌合连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该硅片腐蚀清洗机定量补液装置设置有电容液位器,通过电容液位器设定的流量额达到时,反馈给控制器并关闭电磁阀,同时可手动放液至定量漏斗,并通过旋扭转动块,使液体从流通槽流出,并细微的进入定量瓶进行定量,大大保证了补液的精度;同时储液瓶内部设置有弧形的搅拌扇叶,弧形结构的两端口不停的刮擦内壁,使得结晶的碱液脱离,并再次溶解,同时搅拌扇叶上的圆孔减小了碱液的流动阻力,且增加了碱液的流动性,使得碱液溶解的更加充分;安装时,储液瓶上孔块上的孔嵌合在钩块的钩子上,方便安装和卸下,大大提高了内部的清洗和冲刷的便利性,同时定量瓶上设置有橡胶凸块,嵌入在左端的凹槽中,保持平衡和稳定,便于定量操作和读数。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型的右视图;

图3为本实用新型的搅拌扇叶俯视图。

图中:1-储液瓶、2-进液口、3-木橡塞、4-电机、5-转动轴、6-搅拌扇叶、7-圆孔、8-控制盒、9-显示屏、10-控制器、11-控制开关、12-出液口、13-第一电磁阀、14-定量瓶、15-电容液位器、16-第二电磁阀、17-橡胶凸块、18-槽块、19-凹槽、20-孔块、21-钩块、22-通孔、23-液位刻度板、24-定量管、25-球阀、26-定量漏斗、27-转动块、28-转动杆、29-流通槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置,包括储液瓶1,储液瓶1左端的上方开设有进液口2,进液口2的上方设置有木橡塞3,储液瓶1上表面的中心位置处设置有电机4,电机4的下方设置有转动轴5,转动轴5的前后左右四个方位上均设置有搅拌扇叶6,储液瓶1的右侧壁上设置有控制盒8,控制盒8的内部设置有控制器10,控制器10的右端设置有显示屏9,显示屏9的下方设置有控制开关11,储液瓶1的下方开设有出液口12,出液口12的现房设置有第一电磁阀13,且出液口12通过卡箍与第一电磁阀13固定连接,第一电磁阀13的下方设置有定量瓶14,定量瓶14左端的上方设置有电容液位器15,且定量瓶14侧壁的前方设置有液位刻度板23,定量瓶14的下方设置有第二电磁阀16,第一电磁阀13、第二电磁阀16、电机4、电容液位器15、控制器10和显示屏9均与控制开关11电性连接,控制开关11通过电源插座与外界电源电性连接。

本实施例中,优选的,搅拌扇叶6为弧形结构,且搅拌扇叶6的侧壁上开设有圆孔7,由于长时间放置碱液,同时还因为温度较低,会使得碱液结晶,搅拌扇叶6在转动时,搅拌扇叶6上弧形结构的两端会不停的刮擦储液瓶1的内壁,将结晶刮下,并使其再次溶解在碱液中,避免结晶影响碱液的流动,且搅拌扇叶6上的圆孔7减小了搅拌扇叶6的转动阻力,也增大了碱液的流动性,提高了碱液的溶解性。

本实施例中,优选的,储液瓶1底部的后方设置有定量管24,定量管24的下方设置有球阀25,球阀25的下方设置有定量漏斗26,定量漏斗26的下方设置有转动块27,转动块27的侧壁上开设有流通槽29,且转动块27的右端设置有转动杆28,定量漏斗26的下方与定量瓶14连接,球阀25是一种手动的带圆形通孔的球体作启闭件,球体随阀杆转动,以实现启闭动作的阀门;当定量瓶14中存在需要定量的液体时,可以继续打开球阀25,使得部分碱液通过定量管24流入到定量漏斗26中,接着旋动转动块27,使得转动块27上的流通槽29旋至侧边,使得碱液通过流通槽29细微的流出,同时不停的读数,直到精确度数,大大提高了定量的精准性。

本实施例中,优选的,储液瓶1的左端设置有孔块20,孔块20的内部开设有通孔22,通孔22的内部设置有钩块21,安装时可以直接把储液瓶1上的孔块20上的通孔22对应钩块21上的钩子,然后使得钩块21与通孔2嵌合,使得储液瓶1挂于清洗机的侧壁上,安装更加的方便,无需螺栓,同时便于取下,方便对内部残留碱液进行冲刷和清洗。

本实施例中,优选的,定量瓶14的左端设置有橡胶凸块17,橡胶凸块17的左端设置有槽块18,槽块18与橡胶凸块17相对应位置处开设有凹槽19,橡胶凸块17与凹槽19嵌合连接,在安装储液瓶1后,可以把定量瓶14上的橡胶凸块17嵌合在左端槽块18上的凹槽19中,保持稳定,由于橡胶摩擦较大,不容易晃动,使得定量瓶保持固定,不晃动,便于定量操作和读数。

本实施例中,优选的,电容液位器15是一种依据电容感应的原理,当被测介质浸汲测量电极的高度变化时,引起电容变化,将各种物位、液位介质高度的变化转换成电流信号,传输至控制器10进行显示和控制。

本实施例中,优选的,第一电磁阀和第二电磁阀10是用电磁控制的单向阀,内部有密闭的腔,在不同位置开有通孔,每个孔连接不同的水管,腔中间是活塞,两面是两块电磁铁,哪面的磁铁线圈通电阀体就会被吸引到哪边,通过控制阀体的移动来开启或关闭不同的开口。

工作原理:本实用新型使用时,使用者首先进行安装,安装时可以直接把储液瓶1上的孔块20上的通孔22对应钩块21上的钩子,然后使得钩块21与通孔2嵌合,使得储液瓶1挂于清洗机的侧壁上,安装更加的方便,无需螺栓,同时便于取下,方便对内部残留碱液进行冲刷和清洗,接着可以把定量瓶14上的橡胶凸块17嵌合在左端槽块18上的凹槽19中,保持稳定,由于橡胶摩擦较大,不容易晃动,使得定量瓶保持固定,不晃动,便于定量操作和读数,同时接通电源,启动控制开关11,打开电机4,电机4带动转动轴5转动,并带动搅拌扇叶6转动,由于长时间放置碱液,同时还因为温度较低,会使得碱液结晶,搅拌扇叶6在转动时,搅拌扇叶6上弧形结构的两端会不停的刮擦储液瓶1的内壁,将结晶刮下,并使其再次溶解在碱液中,避免结晶影响碱液的流动,且搅拌扇叶6上的圆孔7减小了搅拌扇叶6的转动阻力,也增大了碱液的流动性,提高了碱液的溶解性,接着打开第一电磁阀13,使得碱液流入到定量瓶14中,此时电容液位器15工作,当被测介质浸汲测量电极的高度变化时,引起电容变化,将液位介质高度的变化转换成电流信号,传输至控制器10中,并在显示屏9显示出来,同时反馈给控制器10的同时,第一电磁阀13关闭,但是处于定量瓶14内部的碱液容量并不精确,此时,可以继续打开球阀25,使得部分碱液通过定量管24流入到定量漏斗26中,接着旋动转动块27,使得转动块27上的流通槽29旋至侧边,使得碱液通过流通槽29细微的流出,同时不停的通过刻度板23读数,再观察电容液位器15的读数,直到精确度数,大大提高了定量的精准性,最后打开第二电磁阀16,使得定量的碱液流出,整个补液流程结束。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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