一种硅片清洗机的热吹风烘干装置的制作方法

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种烘干装置，特别是一种硅片清洗机的热吹风烘干装置。

背景技术：

科学技术的发展不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭，因此对硅片的清洗要求就显得尤为重要。在硅片生产过程中需要使用到硅片清洗机，现有的硅片清洗机往往都比较笨重，清洗后的硅片往往都是在硅片清洗机里直接进行烘干，烘干效率低。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种硅片清洗机的热吹风烘干装置，该热吹风烘干装置具有烘干效率高的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：硅片清洗机的热吹风烘干装置，所述硅片清洗机包括机架，在机架上固定有存放硅片的存放箱，存放箱具有热风进口，其特征在于，本热吹风烘干装置包括底座，在底座上固定有烘干箱，烘干箱包括内箱和设置在内箱外的外箱，所述内箱和外箱之间具有空腔，所述空腔与内箱的内部腔室不连通，在空腔内设置有导热油，在外箱体一侧上开设有进油口，在外箱体另一侧上开设有出油口，进油口通过一根输送管与一锅炉相连通，锅炉内装有导热油，在输送管上设置有输送泵，出油口通过一根回油管与所述的锅炉相连通；在内箱一侧上开设有出风口，在内箱另一侧上开设有进风口，在出风口处连接有出风管，出风管穿出外箱与上述的热风进口相连通，且出风管与空腔保持密封，在进风口处连接有进风管，进风管穿出外箱与一送风泵相连通，且进风管与空腔保持密封，在内箱中还设置有若干电加热管。

本硅片清洗机的热吹风烘干装置运行原理如下，通过运行输送泵来让外箱空腔内的导热油通过出油口由输送管进入锅炉进行加热，而且锅炉内本身就有导热油，可以使得加热速度更快，在经由输送管进入进油口回到空腔，形成一种循环，使空腔内的导热油始终保持高温，空腔内的导热油会加热内箱；通过运行送风泵来让外界的空气进入，在通过进风管经过外箱空腔这一段时导热油可以初步将空气加热，经过内箱的内部腔室时电加热管进一步对空气加热，同时内箱的内部腔室中的空气在导热油的加热下，已经处于一个较高的温度，这样使吹出的空气具有很高的温度，能有效的对硅片进行烘干，提高了效率；出风管和进风管与空腔保持密封可以保证导热油不会流出，再由出风口通过出风管进入到热风进口到达存放箱，对硅片进行烘干处理。

所述的内箱和外箱均采用钢质材料制成。采用钢质材料可以减轻内箱和外箱的重量，更加耐热，且密闭性好。

所述内箱的内壁上固定有若干安装杆，上述的电加热管设置在安装杆上。安装杆可以加固电加热管。

作为另外一种情况，在内箱内壁处固定有若干层金属网，上述的电加热管设置在金属网上。金属网更容易导热，让电加热管加热速度更快。

所述的底座下部还设置有若干个万向轮。万向轮可以方便底座的移动，降低劳动强度。

所述内箱和外箱之间通过若干根立柱相固连。这样使内箱的底部和外箱的底部之间具有间隙，内箱的底部也能得到加热，提高加热效果。

与现有技术相比，本硅片清洗机的热吹风烘干装置具有以下优点：

1、结构简单，重量较轻，可以任意移动热吹风烘干装置，实用性强，降低劳动强度。

2、外箱空腔的导热油通过输送管由出油口到达锅炉进行加热回到进油口，形成一种循环，使空腔内的导热油始终保持高温。

3、热风多次加热，可以保持热风温度，使得热风效果更好，提高烘干效率。

附图说明

图1是本硅片清洗机的热吹风烘干装置的主视图。

图2是本硅片清洗机的热吹风烘干装置的俯视图。

图3是本硅片清洗机的热吹风烘干装置烘干箱带安装杆的剖视图。

图4是本硅片清洗机的热吹风烘干装置烘干箱带金属网的剖视图。

图中，1、机架；2、存放箱；3、热风进口；4、底座；5、烘干箱；51内箱；52、外箱；511、内部腔室；521、空腔；6、导热油；7、进油口；8、出油口；9、输送管；91、输送泵；10、锅炉；11、回油管；12、出风口；121、出风管；13、进风口；131、进风管；14、送风泵；15、电加热管；16、安装杆；17、金属网；18、万向轮；19、立柱。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1、图2、图3、图4所示，硅片清洗机的热吹风烘干装置，硅片清洗机包括机架1，在机架1上固定有存放硅片的存放箱2，存放箱2具有热风进口3，本热吹风烘干装置包括底座4，在底座4上固定有烘干箱5，烘干箱5包括内箱51和设置在内箱51外的外箱52，内箱51和外箱52之间通过若干根立柱19相固连，内箱51和外箱52之间具有空腔521，空腔521与内箱51的内部腔室511不连通，在空腔521内设置有导热油6，在外箱52体一侧上开设有进油口7，在外箱52体另一侧上开设有出油口8，进油口7通过一根输送管9与一锅炉10相连通，锅炉10内装有导热油6，在输送管9上设置有输送泵91，出油口8通过一根回油管11与所述的锅炉10相连通；在内箱51一侧上开设有出风口12，在内箱51另一侧上开设有进风口13，在出风口12处连接有出风管121，出风管121穿出外箱与上述的热风进口3相连通，且出风管121与空腔521保持密封，在进风口13处连接有进风管131，进风管131穿出外箱52与一送风泵14相连通，且进风管131与空腔521保持密封，在内箱51中还设置有若干电加热管15。

本实施案例中，为了可以减轻内箱51和外箱52重量，更加耐热，且密闭性好，内箱51和外箱52均采用钢质材料制成。

如图3所示，内壁上固定有若干安装杆16，电加热管15设置在安装杆16上，加固电加热管15；

如图4所示，在内箱51内壁处固定有若干层金属网17，电加热管15设置在金属网17上，导热速度更快。

如图1所示，底座4下部还设置有若干个万向轮18，方便移动，降低劳动强度。

本热吹风烘干装置，通过运行输送泵91来让外箱52空腔521内的导热油6通过出油口8由输送管9进入锅炉10进行加热，而且锅炉10内本身就有导热油8，可以使得加热速度更快，在经由输送管9进入进油口7回到空腔521，形成一种循环，使空腔521内的导热油6始终保持高温，空腔521内的导热油6会加热内箱51。

通过运行送风泵14来让外界的空气进入，在通过进风管131经过外箱52空腔521这一段时导热油8可以初步将空气加热，经过内箱51的内部腔室511时电加热管15进一步对空气加热，同时内箱51的内部腔室511中的空气在导热油8的加热下，已经处于一个较高的温度，这样使吹出的空气具有很高的温度，能有效的对硅片进行烘干，提高了效率。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了1、机架；2、存放箱；3、热风进口；4、底座；5、烘干箱；51内箱；52、外箱；511、内部腔室；521、空腔；6、导热油；7、进油口；8、出油口；9、输送管；91、输送泵；10、锅炉；11、回油管；12、出风口；121、出风管；13、进风口；131、进风管；14、送风泵；15、电加热管；16、安装杆；17、金属网；18、万向轮；19、立柱等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。