一种透射电子显微镜样品台的制作方法

本实用新型涉及微观观察设备领域，具体的是一种透射电子显微镜样品台。

背景技术：

传统的微操作样品台只能对样品进行简单的平移观测以及操作。虽然通过调整成像装置的角度，可以在视野内实现对样品的旋转观测，但是并不能改变样品的空间位置。另一方面，受到显微镜下观察视野和操作空间的限制，绝大多数的微操作平台并不能实现在封闭环境下对样品进行原位操作。因此，对微纳样品在显微镜下进行物理空间上的旋转观察以及操作，仍是当前观测的一个难题。目前，显微镜下的样品旋转、高度调整操作技术有着重大的需求，如用于对微纳样品性能的表征、新能源 材料的测量等等。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供种透射电子显微镜样品台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种透射电子显微镜样品台，包括底板、旋转装置、升降装置、平移装置和载物台；所述旋转装置通过螺栓居中安装座底板上；所述升降装置位于旋转装置上方；所述平移装置安装在升降装置上方；所述载物台安装在平移装置上；所述旋转装置为旋转气缸；所述底板底部设有真空吸盘；所述真空吸盘安装在底板的四个端点上；所述底板上部设有电池阀。

优选的，所述升降装置包括伺服电机、丝杆装置、盒体和剪叉杆；所述伺服电机安装在盒体右侧；所述剪叉杆位于盒体内侧；所述伺服电机和剪叉杆之间通过丝杆装置连接。

优选的，所述平移装置由底座、滑座和驱动装置组成；所述滑座位于底座上方；所述驱动装置安装在滑座内侧，且和底座相啮合；所述底座上设有燕尾凸块，所述燕尾凸块上设有齿条。

优选的，所述载物台包括连接柱、载物平台和夹持装置；所述夹持装置对称设置在载物平台上；所述连接柱安装在载物平台下部。

优选的，所述载物平台上设有通孔。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：采用微型伺服电机等部件来调整高度，因而直径为微纳尺寸的测试试样的初始长度可以自行设定。整个测试装置的结构简单，体积较小，更换便捷，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅附图1所示：一种透射电子显微镜样品台，包括底板1、旋转装置2、升降装置3、平移装置4和载物台5；所述旋转装置2通过螺栓居中安装座底板1上；所述升降装置3位于旋转装置2上方；所述平移装置4安装在升降装置3上方；所述载物台5安装在平移装置4上；所述旋转装置2为旋转气缸；所述底板1底部设有真空吸盘11；所述真空吸盘11安装在底板的四个端点上；所述底板1上部设有电池阀12。

进一步地，所述升降装置3包括伺服电机31、丝杆装置32、盒体33和剪叉杆34；所述伺服电机31安装在盒体33右侧；所述剪叉杆34位于盒体33内侧；所述伺服电机31和剪叉杆34之间通过丝杆装置32连接。

进一步地，所述平移装置4由底座41、滑座42和驱动装置43组成；所述滑座42位于底座41上方；所述驱动装置43安装在滑座42内侧，且和底座41相啮合；所述底座41上设有燕尾凸块，所述燕尾凸块上设有齿条44。

进一步地，所述载物台5包括连接柱51、载物平台52和夹持装置53；所述夹持装置53对称设置在载物平台52上；所述连接柱51安装在载物平台52下部。

进一步地，所述载物平台52上设有通孔。

本实用新型工作如下：通过抽真空件整个样品台固定在设备上；之后在通过载物台5上夹持装置53将电芯片夹紧。最后放置显微镜下检测，在检测过程中可以通过升降装置3和平移装置4协同配合完成芯片的位置调整至最优的视角，之后检测不同位置时候通旋转装置2来调不同位置做检测。整个操作简单便利。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。