阵列基板及显示装置的制作方法

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种阵列基板及显示装置。

背景技术：

由于阵列基板上的不同引线具有不同的容抗，故在使用不同的引线传导同一数据信号、栅线信号或时钟信号时，不同引线最终输出的数据信号、栅线信号或时钟信号是不同的，从而导致由该阵列基板所组成的显示器显示不均匀。

因此，为解决上述的问题，本实用新型提供了一种新型的阵列基板。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种能够调整引线容抗的阵列基板。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种阵列基板，包括基底，设置在所述基底上的引线结构；所述引线结构包括第一导电结构、导体化的半导体结构，所述导体化的半导体结构在所述基底上的正投影，与所述第一导电结构在所述基底上的正投影至少部分重叠。

优选的，所述阵列基板包括设置在所述基底上的薄膜晶体管；

其中，

所述第一导电结构与所述薄膜晶体管的栅极同层设置，且材料相同；或者，所述第一导电结构与所述薄膜晶体管的源极和漏极同层设置，且材料相同。

进一步优选的，所述第一导电结构与所述薄膜晶体管的栅极同层设置；所述薄膜晶体管的栅极与有源层之间设置有栅极绝缘层；

所述导体化的半导体结构设置在所述基底靠近所述栅极绝缘层的一侧，所述第一导电结构设置在所述栅极绝缘层远离所述基底的一侧。

进一步优选的，所述第一导电结构与所述薄膜晶体管的源极和漏极同层设置；所述薄膜晶体管的栅极与源极、漏极之间设置有层间绝缘层；

所述导体化的半导体结构设置在所述基底靠近所述层间绝缘层的一侧，所述第一导电结构设置在所述层间绝缘层远离所述基底的一侧。

优选的，所述引线结构还包括第二导电结构，所述第二导电结构在所述基底上的正投影，与所述第一导电结构在所述基底上的正投影至少部分重叠。

进一步优选的，所述阵列基板包括设置在所述基底上的薄膜晶体管；其中，

第一导电结构和第二导电结构中的一者与所述薄膜晶体管的栅极同层设置，且材料相同；另一者与所述薄膜晶体管的源极和漏极同层设置，且材料相同。

进一步优选的，所述第一导电结构与所述薄膜晶体管的栅极同层设置，所述第二导电结构与所述薄膜晶体管的源极和漏极同层设置；所述薄膜晶体管的栅极与有源层之间设置有栅极绝缘层；所述薄膜晶体管的栅极与源极、漏极之间设置有层间绝缘层；所述栅极绝缘层、层间绝缘层依次设置在所述基底上；

所述导体化的半导体结构设置在所述基底靠近所述栅极绝缘层的一侧，所述第一导电结构设置在所述栅极绝缘层远离所述基底的一侧，所述第二导电结构设置在所述层间绝缘层远离所述基底的一侧。

进一步优选的，所述引线结构为多条，每条引线结构对应设置有一个第二导电结构；

每个所述第一导电结构的两侧分别设有过孔，所述过孔贯穿所述层间绝缘层和栅极绝缘层，所述导体化的半导体结构通过所述过孔与所述第二导电结构连接。

进一步优选的，多个所述第二导电结构为一体成型结构，多个所述导体化的半导体结构为一体成型结构；其中，

两相邻所述第一导电结构共用一个过孔。

优选的，所述第二导电结构的材料包括金属材料。

优选的，所述导体化的半导体结构包括导体化的低温多晶硅层。

优选的，所述第一导电结构的材料包括金属材料。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种显示装置，包括上述任意一种阵列基板。

附图说明

图1为本实用新型的实施例1的阵列基板的平面结构图；

图2为本实用新型的实施例1的阵列基板的第一种B-B’截面图；

图3为本实用新型的实施例1的阵列基板的第二种B-B’截面图；

图4为本实用新型的实施例2的阵列基板的第三种B-B’截面图；

图5为本实用新型的实施例2的阵列基板的第四种B-B’截面图；

图6为本实用新型的实施例2的阵列基板的第五种B-B’截面图；

其中附图标记为：1、引线结构；11、第一导电结构；12、第二导电结构；13、导体化的半导体结构；2、基底；3、栅极绝缘层；4、层间绝缘层；5、过孔；6、钝化层。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“上”、“下”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

其中，在下述的实施例中，第一导电结构11不仅能够用于传导数据信号，其还能够用于传导栅线信号或者时钟信号，在此不做限定。

实施例1：

如图1-3所示，本实施例提供一种阵列基板，包括基底2，设置在基底2上的引线结构1；其中，引线结构1包括第一导电结构11、导体化的半导体结构13，导体化的半导体结构13在基底2上的正投影，与第一导电结构11在基底2上的正投影至少部分重叠。

由于本实施例中的引线结构1包括导体化的半导体结构13，该导体化的半导体结构13在基底2上的正投影，与第一导电结构11在基底2上的正投影至少部分重叠，故导体化的半导体结构13与第一导电结构11能够相互作用，以构成一个平行板电容器，也即导体化的半导体结构13会与第一导电结构11形成电容。此时，根据平行板电容器的极板电容公式C＝εS/4πkd；其中，C为第一导电结构11的电容量；S为导体化的半导体结构13与第一导电结构11的正对面积；d为导体化的半导体结构13与第一导电结构11的距离；ε是一个常数；π为圆周率，约等于3.14；k则是静电力常量；可以看出的是，通过改变导体化的半导体结构13的位置或长度，以改变导体化的半导体层与第一导电结构11的正对面积，即可调整第一导电结构11的电容量。进一步地，再根据平行板电容器的容抗公式Xc＝1/2πfC；其中，Xc为第一导电结构11的容抗；π为圆周率，约等于3.14；f为电源频率；C为第一导电结构11的电容值；可以看出的是，通过改变第一导电结构11的电容量，即可改变该第一导电结构11的容抗。这样一来，在采用不同的第一导电结构11传输同一个数据信号、栅线信号或时钟信号时，通过改变与不同第一导电结构11对应设置的导体化的半导体结构13的位置或长度，即可调整该第一导电结构11的容抗，从而使得不同第一导电结构11具有相同的容抗，以此来保证不同的第一导电结构11能够输出的相同的数据信号、栅线信号或时钟信号，进而提高由本实施例中的阵列基板组成的显示器的显示效果。

为简化本实施例中的阵列基板的制备工艺，优选的，阵列基板包括设置在基底2上的薄膜晶体管；其中，第一导电结构11与薄膜晶体管的栅极同层设置，且材料相同；或者，第一导电结构11与薄膜晶体管的源极和漏极同层设置，且材料相同。

具体的，以下对第一导电结构11和导体化的半导体结构13的位置进行具体描述。

作为本实施例中的第一种优选方式，如图2所示，当第一导电结构11与薄膜晶体管的栅极同层设置时，薄膜晶体管的栅极与有源层之间设置有栅极绝缘层3；此时，本实施例中的导体化的半导体结构13设置在基底2靠近栅极绝缘层3的一侧，第一导电结构11设置在栅极绝缘层3远离基底2的一侧。

也就是说，本实施例中的导体化的半导体结构13设置在第一导电结构11的下方，通过改变导体化的半导体结构13在第一导电结构11下方的位置，即可调整第一导电结构11的容抗，以此来保证不同的第一导电结构11能够输出的相同的数据信号、栅线信号或时钟信号，进而提高由本实施例中的阵列基板组成的显示器的显示效果。

作为本实施例中的第二种优选方式，如图3所示，当第一导电结构11与薄膜晶体管的源极和漏极同层设置时；薄膜晶体管的栅极与源极、漏极之间设置有层间绝缘层4；此时，导体化的半导体结构13设置在基底2靠近层间绝缘层4的一侧，第一导电结构11设置在层间绝缘层4远离基底2的一侧。

也就是说，本实施例中的导体化的半导体结构13设置在第一导电结构11的下方，通过改变导体化的半导体结构13在第一导电结构11下方的位置，即可调整第一导电结构11的容抗，以此来保证不同的第一导电结构11能够输出的相同的数据信号、栅线信号或时钟信号，进而提高由本实施例中的阵列基板组成的显示器的显示效果。

其中，本实施例中的阵列基板还包括用于保护层间绝缘层4的钝化层6，其设置在层间绝缘层4背离所述基底2的一侧。

其中，本实施例优选的，第一导电结构11的材料包括金属材料。金属材料具有良好的导电性能，其能够增强利用导体化的半导体结构13调整第一导电结构11的容抗。

当然，本实施例中的第一导电结构11的材料并不局限于上述的金属材料，只要其具有较好的导电性能即可，在此不再一一列举。

优选的，导体化的半导体结构13包括导体化的低温多晶硅层。其中，导体化的低温多晶硅可通过向低温多晶硅中掺杂磷、硼等元素而得到；当然，制备导体化的低温多晶硅的方法不局限于上述的一种，在此不做限定；同时，本实施例中的导体化的半导体结构13也并不局限于上述的导体化的低温多晶硅层，在此也不做限定。

综上，在本实施例所提供的阵列基板中，主要是通过在基底2上设置导体化的半导体结构13，并使该导体化的半导体结构13与第一导电结构11至少部分对应设置，从而使得导体化的半导体结构13与第一导电结构11形成电容，再通过改变导体化的半导体结构13的位置，来调整第一导电结构11的容抗，以此来保证传输同一数据信号、栅线信号或时钟信号的不同第一导电结构11具有相同的容抗，进而提高由本实施例中的阵列基板组成的显示器的显示效果。

实施例2：

如图4所示，本实施例提供一种阵列基板，包括基底2，设置在基底2上的引线结构1；引线结构1包括第一导电结构11、导体化的半导体结构13，第二导电结构12；其中，导体化的半导体结构13在基底2上的正投影，与第一导电结构11在基底2上的正投影至少部分重叠；第二导电结构12在基底2上的正投影，与第一导电结构11在基底2上的正投影至少部分重叠。

由此可以看出，本实施例中的阵列基板包括导体化的半导体结构13、第二导电结构12，该导体化的半导体结构13、第二导电结构12在基底2上的正投影，均与第一导电结构11在基底2上的正投影至少部分重叠，故导体化的半导体结构13能够与第一导电结构11构成一个平行板电容器，第二导电结构12也能够与第一导电结构11构成一个平行板电容器，也就是说，导体化的半导体结构13和第二导电结构12能够同时与第一导电结构11形成电容，通过改变导体化的半导体结构13和第二导电结构12的位置或长度，即可调整第一导电结构11的容抗，以此来保证传输同一数据信号、栅线信号或时钟信号的不同第一导电结构11具有相同的容抗，进而提高由本实施例中的阵列基板组成的显示器的显示效果。

为简化本实施例中的阵列基板的制备工艺，优选的，阵列基板包括设置在基底2上的薄膜晶体管；其中，第一导电结构11和第二导电结构12中的一者与薄膜晶体管的栅极同层设置，且材料相同；另一者与薄膜晶体管的源极和漏极同层设置，且材料相同。

具体的，以下以第一导电结构11与薄膜晶体管的栅极同层设置，第二导电结构12与薄膜晶体管的源极和漏极同层设置为例，对第一导电结构11、第二导电结构12，以及导体化的半导体结构13的位置进行具体描述。

如图4所示，薄膜晶体管的栅极与有源层之间设置有栅极绝缘层3；薄膜晶体管的栅极与源极、漏极之间设置有层间绝缘层4；栅极绝缘层3、层间绝缘层4依次设置在基底2上；导体化的半导体结构13设置在基底2靠近栅极绝缘层3的一侧，第一导电结构11设置在栅极绝缘层3远离基底2的一侧，第二导电结构12设置在层间绝缘层4远离基底2的一侧。其中，本实施例中的栅极绝缘层3、层间绝缘层4在基底2上的位置关系并不局限于上述的一种，在此不作限定。

由此可以看出，在本实施例中的阵列基板中，第二导电结构12、第一导电结构11、导体化的半导体结构13沿着从上至下的顺序依次设置。当需要调整第一导电结构11的容抗时，可以通过调整位于其上方的第二导电结构12的位置或长度，或者调整位于其下方的导体化的半导体结构13的位置或长度，再或者调整位于其上方的第二导电结构12、位于其下方的导体化的半导体结构13的位置或长度即可。

其中，本实施例优选的，引线结构1为多条，每条引线结构1对应设置有一个第二导电结构12；每个第一导电结构11的两侧分别设有过孔5，过孔5贯穿层间绝缘层4和栅极绝缘层3，用于连接导体化的半导体结构13和第二导电结构12。

具体的，如图5所示，两个过孔5之间设置有一个第一导电结构11，第二导电结构12通过该过孔5与导体化的半导体结构13连接，以构成一个包围第一导电结构11的封闭环。此时，根据静电屏蔽原理，封闭环能够将第一导电结构11与外界隔离，从而使得第一导电结构11免受外界的静电损坏，提高本实施例中的阵列基板的使用寿命。

进一步优选的，如图6所示，多个第二导电结构12为一体成型结构，多个导体化的半导体结构13为一体成型结构；其中，两相邻第一导电结构11共用一个过孔5。该种结构设置能够增大每个封闭环的面积，从而进一步确保本实施例中的第一导电结构11免受外界的静电损坏。

其中，本实施例优选的，第一导电结构11、第二导电结构12的材料包括金属材料。金属材料具有良好的导电性能，其能够增强利用导体化的半导体结构13调整第一导电结构11的容抗，以及利用第二导电结构12调整第一导电结构11的容抗。

当然，本实施例中的第一导电结构11、第二导电结构12的材料并不局限于上述的金属材料，只要其具有较好的导电性能即可，在此不再一一列举。

优选的，导体化的半导体结构13包括导体化的低温多晶硅层。其中，导体化的低温多晶硅可通过向低温多晶硅中掺杂磷、硼等元素而得到；当然，制备导体化的低温多晶硅的方法不局限于上述的一种，在此不做限定；同时，本实施例中的导体化的半导体结构13也并不局限于上述的导体化的低温多晶硅层，在此也不做限定。

综上，在本实施例所提供的阵列基板中，主要是通过在基底2上设置导体化的半导体结构13、第二导电结构12，并使该导体化的半导体结构13、第二导电结构12分别与第一导电结构11至少部分对应设置，从而使得导体化的半导体结构13、第二导电结构12分别与第一导电结构11形成电容，再通过改变导体化的半导体结构13和第二导电结构12的位置，来调整第一导电结构11的容抗，以此来保证传输同一数据信号、栅线信号或时钟信号的不同第一导电结构11具有相同的容抗，进而提高由本实施例中的阵列基板组成的显示器的显示效果。

实施例3：

本实施例提供一种显示装置，包括实施例1或实施例2中的阵列基板。

由于本实施例中的显示装置包括上述的阵列基板，故本实施例中的显示装置所显示的画面效果较佳。

上述的显示装置可以为：液晶面板、电子纸、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。