一种亚纳秒绿光激光器的制作方法

本实用新型涉及固体激光技术领域，特别涉及一种亚纳秒绿光激光器。

背景技术：

近年来，固体激光器得到迅速的发展，绿光激光器越来越受到人们的重视。绿光激光器输出波长短、加工精度高，因此在陶瓷片、玻璃、PCB板、太阳能电池片等材料的切割、钻孔等方面有非常广泛的应用，特别是亚纳秒的绿光激光器在激光微加工、激光探测和显示灯方面有着显著的应用价值。

由于端面泵浦技术的发展，我们可以获得高稳定性、高光束质量的1064nm基频光输，然后利用KTP、LBO、BBO等倍频晶体二倍频得到532nm绿激光。普通的绿光激光器输出激光的脉冲宽度基本为十几甚至几十个纳秒，且能量较低，无法实现更短脉冲、更大能量的绿光激光输出，不能满足激光加工的需要，因此如何实现更短的绿光激光输出脉宽成为急需解决的问题。

技术实现要素：

技术问题：为了解决现有技术的缺陷，本实用新型提供了一种亚纳秒绿光激光器。

技术方案：本实用新型提供的一种亚纳秒绿光激光器，包括泵浦源、聚焦耦合系统、激光谐振腔、倍频晶体；所述聚焦耦合系统包括依次连接的泵浦准直透镜、泵浦聚焦透镜和泵浦回光保护镜；所述激光谐振腔内依次设有端泵后腔镜、激光晶体、偏振片、λ/波片、电光调Q开关、谐振腔输出镜；所述泵浦源、泵浦准直透镜、泵浦聚焦透镜和泵浦回光保护镜、端泵后腔镜、激光晶体、偏振片、λ/波片、电光调Q开关、谐振腔输出镜、倍频晶体依次设置于激光器的光轴上。

作为改进，所述泵浦源为发光二极管。

作为另一种改进，所述激光晶体为掺钕的钒酸钇晶体。

作为另一种改进，所述端泵后腔镜一面镀有808nmAR膜，另一面镀有1064nmHR膜和808nmHT膜。

作为另一种改进，所述谐振腔输出镜在1064nm的透过率为T＝60％。

作为另一种改进，所述偏振片与激光器的光轴成布儒斯特角。

作为另一种改进，所述电光调Q开关为RTP、BBO、LN或DKDP。

作为另一种改进，所述倍频晶体为LBO。

有益效果：本实用新型提供的绿光激光器实现了亚纳秒级的短冲宽绿光激光输出，其脉冲宽度为0.5ns,且重复频率在1kHz以上，输出激光稳定，光束质量好；该激光器结构设计简单紧凑，系统体积小，成本低，利于模块化生产，可为激光探测、激光显示、激光微加工、生物化学、污染监测等行业应用提供了解决方案。

附图说明

图1为本实用新型亚纳秒绿光激光器的结构示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型亚纳秒绿光激光器作出进一步说明。

本实用新型中：

RTP表示：磷酸钛氧铷晶体；

BBO表示：偏硼酸钡晶体；

LN表示：铌酸锂晶体；

DKDP表示：氛化磷酸二氢钾晶体；

LBO表示：三硼酸锂晶体；

掺钕的钒酸钇晶体购自：福建福晶科技股份有限公司。

亚纳秒绿光激光器，包括泵浦源1、聚焦耦合系统2、激光谐振腔3、倍频晶体4；所述聚焦耦合系统2包括依次连接的泵浦准直透镜21、泵浦聚焦透镜22和泵浦回光保护镜23；所述激光谐振腔3内依次设有端泵后腔镜31、激光晶体32、偏振片33、λ/4波片34、电光调Q开关35、谐振腔输出镜36；所述泵浦源1、泵浦准直透镜21、泵浦聚焦透镜22和泵浦回光保护镜23、端泵后腔镜31、激光晶体32、偏振片33、λ/4波片34、电光调Q开关35、谐振腔输出镜36、倍频晶体4依次设置于激光器的光轴上。

所述泵浦源1为发光二极管。

所述端泵后腔镜31一面镀有808nmAR膜，另一面镀有1064nmHR膜和808nmHT膜。所述激光晶体32为掺钕的钒酸钇晶体。所述偏振片33与激光器的光轴成布儒斯特角。所述电光调Q开关35为RTP、BBO、LN或DKDP。所述谐振腔输出镜36在1064nm的透过率为T＝60％。

所述倍频晶体4为LBO。

该装置的工作原理：泵浦源1发出的激光经过聚焦耦合系统2至激光晶体42，在激光谐振腔3内振荡形成激光，经过倍频晶体4形成亚纳秒绿光激光输出，脉冲宽度为0.5ns,且重复频率在1kHz以上。