烧结芯片用可调工装模具的制作方法

文档序号:17711126发布日期:2019-05-21 21:17阅读:474来源:国知局
烧结芯片用可调工装模具的制作方法

本实用新型属于烧结工装模具技术领域,具体涉及一种烧结芯片用可调工装模具。



背景技术:

烧结芯片一般是采用石墨舟工装模具,石墨舟上一般有两排工装位,每个工装位上安装有石墨筒。烧结芯片时,按顺序将钼片-铝箔-硅片(图形朝上)-钼片-铝箔-硅片-.....叠放在石墨舟上的石墨筒内,互相贴实,再将石墨舟整体放入石英管内真空加热,铝箔在高温下熔化将钼片和硅片粘在一起。由于钼片、铝箔、硅片与石墨筒间的间隙小,一般只有0.1-0.2mm,在叠放钼片、铝箔和硅片的过程中容易从石墨筒上剐蹭下石墨粉到钼片和硅片之间,导致粘接不良成为废品;有时铝箔熔化从边上流出时会导致石墨筒破裂,或将成品与石墨筒(或/和石墨舟)浇黏在一起,造成烧结完成后取活困难;而且石墨筒和石墨舟之间也容易磕碰破裂。



技术实现要素:

针对上述技术问题,本实用新型的目的在于提供一种烧结芯片用可调工装模具,本实用新型可以避免装件时产生粉尘污染,提高烧结效果,降低废品率。

为实现上述目的,本实用新型所采取的技术方案是:

一种烧结芯片用可调工装模具,其特征在于:包括不锈钢舟,所述不锈钢舟上部设有若干个不锈钢底座,所述不锈钢底座与不锈钢舟之间通过螺栓固定连接;每个不锈钢底座上都设有两个不锈钢立柱和一个不锈钢弹簧片,所述两个不锈钢立柱和一个不锈钢弹簧片呈三角形布置在不锈钢底座上,所述不锈钢底座的圆心位于所述三角形内。

作为优选,所述不锈钢弹簧片通过螺栓与不锈钢底座连接;所述不锈钢底座上设有径向布置的条形螺栓孔,所述螺栓与条形螺栓孔匹配连接。

作为优选,所述不锈钢弹簧片为L形,L形的底边通过螺栓与不锈钢底座连接,所述L形的底边中部设有一个向上弧形弯折的弧段。

作为优选,所述两个不锈钢立柱和一个不锈钢弹簧片呈等腰三角形布置在不锈钢底座上,其中不锈钢立柱与不锈钢弹簧片之间的连线为腰。

作为优选,所述若干不锈钢底座在不锈钢舟上呈两排均匀布置。

本实用新型的有益效果为:

1、本实用新型可以避免装件(即装钼片、铝箔、硅片)时产生粉尘污染,提高烧结效果,降低废品率。同时也避免了烧结时流铝的影响,而且防磕碰。

2、本实用新型采用两个固定不锈钢柱和一个可调弹簧片取代石墨筒,清洁性更好,流铝不受影响,全部采用不锈钢防磕碰性更好。

附图说明

图1为烧结芯片用可调工装模具的俯视示意图。

图2为图1的仰视示意图。

图3为图1的右视示意图。

图4为现有技术中石墨舟的俯视示意图。

图5为图4的仰视示意图。

图中:1、不锈钢舟,2、推拉钩块,3、不锈钢底座,4、不锈钢立柱,5、不锈钢弹簧片,6、石墨舟,7、石墨筒,8、弧段。

具体实施方式

为了更好地理解本实用新型,下面结合实施例和附图对本实用新型的技术方案做进一步的说明(如图1、2、3、4、5所示)。

一种烧结芯片用可调工装模具,包括不锈钢舟1(所述不锈钢舟1与石墨舟结构功能相同,并且都设有推拉钩块2),所述不锈钢舟1上部设有若干个不锈钢底座3,所述不锈钢底座3与不锈钢舟1之间通过螺栓固定连接,所述不锈钢底座3上设有径向布置的条形螺栓孔,所述螺栓与条形螺栓孔匹配连接,所述螺栓可以沿条形螺栓孔移动,便于调整不锈钢弹簧片5的位置,以适用于不同规格的芯片;每个不锈钢底座3上都设有两个不锈钢立柱4和一个不锈钢弹簧片5,所述两个不锈钢立柱4和一个不锈钢弹簧片5呈三角形布置在不锈钢底座3上,所述不锈钢底座3的圆心位于所述三角形内。所述三角形的外接圆就相当于现有技术中石墨筒7,用于放置钼片、铝箔和硅片,在烧结流铝时不会出现成品与模具浇黏的现象,而且模具全部采用不锈钢制作,避免了灰尘。

所述不锈钢弹簧片5为L形,L形的底边通过螺栓与不锈钢底座3连接,所述L形的底边中部设有一个向上弧形弯折的弧段8,可以保证钼片加热的热胀冷缩时一起变形定位。

所述两个不锈钢立柱4和一个不锈钢弹簧片5呈等腰三角形布置在不锈钢底座3上,其中不锈钢立柱4与不锈钢弹簧片5之间的连线为腰(两个不锈钢立柱4之间的连线为底边)。

所述若干不锈钢底座3在不锈钢舟1上呈两排均匀布置。

使用方法:烧结芯片时,按顺序将钼片-铝箔-硅片-钼片-铝箔-硅片.....叠放在由两个不锈钢立柱4和一个不锈钢弹簧片5之间的不锈钢底座3上,互相贴实,再整体放入石英管内真空加热,铝箔在高温下熔化将钼片和硅片粘在一起。

以上说明仅为本实用新型的应用实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,因此依本实用新型申请专利范围所作的等效变化,仍属本实用新型的保护范围。

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