一种高性能晶体管的制作方法

文档序号:18440131发布日期:2019-08-16 21:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高性能晶体管,其特征在于,包括:

多晶衬底层;

设置在所述多晶衬底层第一表面的键合层;

设置在所述键合层第一表面的第一非掺杂GaN层;

设置在所述第一非掺杂GaN层第一表面的AlGaN层;

间隔设置在所述AlGaN层第一表面的源电极和漏电极;及

设置在所述AlGaN层第一表面,且位于所述源电极和所述漏电极之间区域的栅电极。

2.根据权利要求1所述的高性能晶体管,其特征在于,还包括分别设置在所述AlGaN层与所述源电极之间以及在所述AlGaN层与所述漏电极之间的两个高掺杂GaN层。

3.根据权利要求2所述的高性能晶体管,其特征在于,高掺杂GaN层为N型掺杂。

4.根据权利要求1所述的高性能晶体管,其特征在于,所述第一非掺杂GaN层和所述AlGaN层均为单晶结构。

5.根据权利要求1所述的高性能晶体管,其特征在于,所述栅电极的第二表面位于所述AlGaN层第一表面和所述AlGaN层第二表面之间。

6.根据权利要求1所述的高性能晶体管,其特征在于,所述多晶衬底层为高导热材料。

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