一种高性能晶体管的制作方法

文档序号:18440131发布日期:2019-08-16 21:54阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于电子技术领域,公开了一种高性能晶体管,包括多晶衬底层、键合层、第一非掺杂GaN层、AlGaN层、源电极、漏电极以及栅电极;其中,键合层设置在多晶衬底层第一表面;第一非掺杂GaN层设置在键合层第一表面;AlGaN层设置在非掺杂GaN层第一表面;源电极和漏电极间隔设置在AlGaN层第一表面;栅极设置在AlGaN层第一表面的源电极和漏电极之间区域;由于通过键合和衬底移除技术将AlGaN/GaN器件转移到高导热多晶衬底材料上,有效提高了器件在高频应用时散热性能,从而提高器件及其应用的系统的可靠性;增加了产品的市场竞争力。

技术研发人员:张宇;丁庆;吴光胜;冯军正;蓝永海
受保护的技术使用者:深圳市华讯方舟微电子科技有限公司
技术研发日:2018.10.24
技术公布日:2019.08.16

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