夹心翅片及其烧制设备的制作方法

本实用新型属于集成电路制造技术领域，特别涉及一种夹心翅片及其烧制设备。

背景技术：

在集成电路扩散工艺制程中，需要用不透明石英材料作为隔热层(起到隔热保温作用)，例如保温桶中的隔热层。但是，随着晶圆直径由8寸发展至12寸，甚至18寸后，对石英材料的纯度和表面颗粒的要求越来越高。这时，作为不透明石英材料的不足之处就凸显出来了。

不透明石英是通过石英砂在氢氧气火焰状态下没有完全熔透(没有玻璃化)情况下加工而成。因为在没有完全玻璃化的情况下，内部存在密集的气泡群，所以外观是乳白色的不透明石英，因此能起到隔热的效果。但是此材料是由氢氧气火焰加工而成，并且内部有密集的气泡群，所以所含的OH根离子较多，容易产生颗粒，这也是12寸以上晶圆片制程中忌讳之处。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供了一种夹心翅片及其烧制设备，用于解决单纯采用不透明石英作为隔热层，无法在12寸以上晶圆片额扩散制程中使用的问题。

本实用新型的实施例之一，一种夹心翅片，用于半导体扩散制程中的保温隔热层，该夹心翅片包括：第一透明石英层、不透明石英层、第二透明石英层。之所以称为夹心翅片，是由于其里面的不透明石英被上下两面的透明石英包裹着酷似三明治或夹心饼干。

不透明石英层被夹在第一透明石英层和第二透明石英层之间，并且，不透明石英层的上表面与第一透明石英层熔接，不透明石英层的下表面与第二透明石英层熔接。

不透明石英层的面积尺寸小于第一透明石英层或/和第二透明石英层，使得夹心翅片形如夹心饼干。

本实用新型利用不透明石英隔热的特性，在其上、下表面增加2片透明石英片后，确保在保温的情况下，阻隔OH根离子和降低颗粒的产生，使得本实用新型的夹心翅片可以使用在大尺寸晶圆扩散制程中保温桶或者保温层中。

附图说明

通过参考附图阅读下文的详细描述，本实用新型示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本实用新型的若干实施方式，其中：

图1本实用新型实施例中烧制设备示意图。

图2本实用新型实施例中夹心翅片以及烧制方法示意图。

1——夹心翅片，101——第一透明石英层，102——不透明石英层，103——第二透明石英层，

2——火焰枪，3——火焰枪支撑架，4——冷水冷凝器，5——转盘，6——真空泵。

具体实施方式

根据一个或者多个实施例，如图2所示。一种夹心翅片，用于半导体扩散制程中的保温隔热层，该夹心翅片包括：第一透明石英层、不透明石英层、第二透明石英层。不透明石英层被夹在第一透明石英层和第二透明石英层之间，并且，不透明石英层的上表面与第一透明石英层熔接，不透明石英层的下表面与第二透明石英层熔接。不透明石英层的面积尺寸小于第一透明石英层或/和第二透明石英层，使得夹心翅片形如夹心饼干。

根据一个或者多个实施例，如图1所示。一种夹心翅片的烧制设备，该烧制设备包括：

火焰枪，该火焰枪被安装在一个火焰枪支撑架上；

转台，夹心翅片被安置在转台上，火焰枪的设置高度使得火焰枪能够熔烧夹心翅片；

转盘，设置在转台下部，与转盘同步转动；

真空泵，放置在转盘上，通过冷水冷凝器与夹心翅片连通。

在本例中，火焰枪采用氢氧气火焰对夹心翅片进行加工，用真空泵抽真空时会抽到大量的热能，所以加装了冷水冷凝器做冷却，用以保护真空泵。转台和转盘由电机带动转动，转盘和转台进行旋转，而火焰枪则可以保持不动。

根据一个或者多个实施例，一种夹心翅片的加工方法，包括以下步骤：

S101，将第二透明石英层打孔后通过石英管与真空泵连接；

S102，将不透明石英层放置在第二透明石英层上；

S103，将第一透明石英层放置在不透明石英层上；

S104，打开真空泵抽取真空，用火焰枪的火焰将第一透明石英层与不透明石英层烧制融合在一起；

S105，将夹心翅片翻身后，按照步骤S104的方法，将第一透明石英层与不透明石英层烧制融合在一起。

值得说明的是，虽然前述内容已经参考若干具体实施方式描述了本实用新型创造的精神和原理，但是应该理解，本实用新型并不限于所公开的具体实施方式，对各方面的划分也不意味着这些方面中的特征不能组合，这种划分仅是为了表述的方便。本实用新型旨在涵盖所附权利要求的精神和范围内所包括的各种修改和等同布置。