一种利用气缸移动的机构及晶圆传输系统的制作方法

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种利用气缸移动的机构及晶圆传输系统。

背景技术：

在目前半导体加工生产中，移动机构通常采用电机传动带配合移动或电机齿轮配合移动，但是此移动方式成本较高，而且在维修时，较为不易，给企业生产增加了一定的经济成本。

采用气缸实现移动功能时，不同基座适配不同气缸，或更换不同行程气缸时，需要更换相对应的基座，具有一定的局限性。

为解决上述问题，本申请中提出一种利用气缸移动的机构。

技术实现要素：

(一)发明目的

为解决背景技术中存在的技术问题，发明提出一种利用气缸移动的机构及晶圆传输系统，该机构基于无杆气缸实现，固定调节架a和固定调节架b为可调节方式，工作人员可通过此方式调节固定调节架a和固定调节架b，进而适配不同行程的气缸。

(二)技术方案

为解决上述问题，根据本发明的第一方面，提供了一种利用气缸移动的机构，包括无杆气缸和安装在所述无杆气缸的两端用以固定所述无杆气缸的固定调节架a和固定调节架b；

所述无杆气缸的表面滑动连接有工型结构的辅助铝板，晶圆盒可设置于所述辅助铝板上，且所述辅助铝板的底面安装有用以检测距离的定位传感器。

作为发明一种利用气缸移动的机构优选的技术方案，所述无杆气缸在安装时，所述固定调节架a和所述固定调节架b处于同一水平面上。

作为发明一种利用气缸移动的机构优选的技术方案，所述固定调节架a包括连接板a和移动板a，所述连接板a和所述移动板a均为矩形结构，且所述连接板a的面积比所述移动板a的面积大。

作为发明一种利用气缸移动的机构优选的技术方案，所述连接板a和所述移动板a上均开设有具有内螺纹通孔，所述连接板a和所述移动板a通过通孔和外部螺栓可拆卸连接。

作为发明一种利用气缸移动的机构优选的技术方案，所述固定调节架b包括连接板b和移动板b，所述连接板b和所述移动板b均为矩形结构，且所述连接板b的面积比所述移动板b的面积大。

作为发明一种利用气缸移动的机构优选的技术方案，所述连接板b和所述移动板b上均开设有具有内螺纹通孔，所述连接板b和所述移动板b通过通孔和外部螺栓可拆卸连接。

作为发明一种利用气缸移动的机构优选的技术方案，还包括安装在所述无杆气缸上用以缓冲所述辅助铝板冲击力的压力缓冲器，所述压力缓冲器的数量为两个，两个所述压力缓冲器均对称分布在所述无杆气缸的两端。

作为发明一种利用气缸移动的机构优选的技术方案，所述移动板a在所述连接板a上水平滑动，所述移动板b在所述连接板b上水平滑动。

作为发明一种利用气缸移动的机构优选的技术方案，所述辅助铝板上固定设有用以支撑所述晶圆盒的支撑部，且所述辅助铝板上还固定设有用以在所述无杆气缸上滑动的连接部。

根据本发明的第二方面，提供一种晶圆传输系统，包括如上所述的利用气缸移动的机构。

发明的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

1、晶圆盒可以设置在辅助铝板上，当辅助铝板在无杆气缸上滑动时，进而驱使晶圆盒移动，在无杆气缸上设有两个压力缓冲器，当辅助铝板在无杆气缸上滑动时，压力缓冲器可以缓冲辅助铝板前进和后退产生的冲击力，而且在辅助铝板的底面设有定位传感器，该定位传感器可以定位固定调节架b上压力缓冲器的距离，给工作人员带来便利。

2、工作人员可使得移动板a在连接板a上移动，因连接板a和移动板a上均开设有具有内螺纹通孔，工作人员通过此方式调节，可沿长固定调节架a和固定调节架b之间的距离，进而适配不同行程的无杆气缸。

附图说明

图1为发明一实施例中一种利用气缸移动的机构的结构示意图。

图2为发明一实施例中的无杆气缸和固定调节架a、固定调节架b连接结构示意图。

附图标记：

10、固定调节架a；20、压力缓冲器；30、无杆气缸；40、辅助铝板；41、连接部；42、支撑部；50、固定调节架b；60、定位传感器；70、晶圆盒；11、连接板a；12、移动板a；51、连接板b；52、移动板b。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语(“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。

图1为本发明一实施例中一种利用气缸移动的机构的结构示意图；

如图1所示；

一种利用气缸移动的机构，该机构基于无杆气缸30实现，其包括无杆气缸30和安装在无杆气缸30的两端用以固定无杆气缸30的固定调节架a10和固定调节架b50。

在一个可选的实施例中：无杆气缸30的两端设有固定调节架a10和固定调节架b50，且固定调节架a10和固定调节架b50沿着无杆气缸30的纵切面对称分布，工作人员通过固定调节架a10和固定调节架b50把无杆气缸30固定到工作台上；

需要说明的是：无杆气缸30在安装时，固定调节架a10和固定调节架b50处于同一水平面上；

进一步而言：

固定调节架a10和固定调节架b50处于同一水平面上时，使得无杆气缸30安装时更加稳定；

在一个可选的实施例中：无杆气缸30的表面滑动连接有工型结构的辅助铝板40，晶圆盒70可设置于所述辅助铝板40上。

应当理解的是：当辅助铝板40在无杆气缸30上滑动时，进而驱使晶圆盒70移动；

进一步而言：

在一个可选的实施例中：辅助铝板40上固定设有用以支撑所述晶圆盒70的支撑部42，且辅助铝板40上还固定设有用以在无杆气缸30上滑动的连接部41；

其中：

当辅助铝板40和晶圆盒70通过支撑部42连接时，此方式为可拆卸连接；

在一个可选的实施例中：支撑部42可为卡块螺栓配合、内凹卡合等方式(图中未示出)，可通过此方式把晶圆盒70从辅助铝板40上拆卸。

当辅助铝板40通过连接部41在无杆气缸30上滑动时；

在一个可选的实施例中：辅助铝板40可通过此方式从无杆气缸30上拆卸。

更进一步而言：

在一个可选的实施例中：该机构还包括安装在无杆气缸30上用以缓冲辅助铝板40冲击力的压力缓冲器20，压力缓冲器20的数量为两个，两个压力缓冲器20均对称分布在无杆气缸30的两端。

需要说明的是：当辅助铝板40在无杆气缸30上滑动时，通过压力缓冲器20缓冲辅助铝板40的冲击力；

在一个可选的实施例中：辅助铝板40的底面安装有用以检测距离的定位传感器60。

需要说明的是：该定位传感器60可以定位固定调节架b50上压力缓冲器20的距离。

在一个可选的实施例中：无杆气缸30可选的行程为0-300mm。

图2为发明提出中的无杆气缸和固定调节架a、固定调节架b连接结构示意图；

如图2所示；

在一个可选的实施例中：固定调节架a10包括连接板a11和移动板a12，连接板a11和移动板a12均为矩形结构，且连接板a11的面积比移动板a12的面积大；

更进一步而言：

连接板a11和移动板a12上均开设有具有内螺纹通孔，连接板a11和移动板a12通过通孔和外部螺栓可拆卸连接。

在一个可选的实施例中：固定调节架b50包括连接板b51和移动板b52，连接板b51和移动板b52均为矩形结构，且连接板b51的面积比移动板b52的面积大；

更进一步而言：

连接板b51和移动板b52上均开设有具有内螺纹通孔，连接板b51和移动板b52通过通孔和外部螺栓可拆卸连接。

需要说明的是：工作人员可使得移动板a12在连接板a11上移动，因连接板a11和移动板a12上均开设有具有内螺纹通孔(固定调节架b50调节方式同固定调节架a10)，工作人员通过此方式调节，可沿长固定调节架a10和固定调节架b50之间的距离，进而适配不同行程的无杆气缸30。

在本发明一实施例中，对于所述的利用气缸移动的机构，工作人员可以把无杆气缸30安装到固定调节架a10和固定调节架b50上，在辅助铝板40上安装有晶圆盒70，当辅助铝板40在无杆气缸30上滑动时，进而驱使晶圆盒70移动，在无杆气缸30上设有两个压力缓冲器20，当辅助铝板40在无杆气缸30上滑动时，压力缓冲器20可以缓冲辅助铝板40前进和后退产生的冲击力，而且在辅助铝板40的底面设有定位传感器60，该定位传感器60可以定位固定调节架b50上压力缓冲器20的距离；

进一步而言：

若工作人员更换不同行程的无杆气缸30时；

工作人员可使得移动板a12在连接板a11上移动，因连接板a11和移动板a12上均开设有具有内螺纹通孔(固定调节架b50调节方式同固定调节架a10)，工作人员通过此方式调节，可沿长固定调节架a10和固定调节架b50之间的距离，进而适配不同行程的无杆气缸30。

在本发明实施例中，还提供一种晶圆传输系统，包括如上所述的利用气缸移动的机构。

应当理解的是，发明的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释发明的原理，而不构成对发明的限制。因此，在不偏离发明的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在发明的保护范围之内。此外，发明所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。