晶粒护膜装置的制作方法

本实用新型涉及一种护膜装置，特别是涉及一种好撕且能维持晶粒平整不倾斜的晶粒护膜装置。

背景技术：

已知晶圆在制造后，为了方便后续加工的运用，会将晶圆切割成一颗颗的晶粒。

参阅图1，目前一种用于保护所述晶粒的护膜，主要包含一承载单元91及一覆盖单元92。该承载单元91包括一第一基层911，及一设置于该第一基层911上且具有一突出结构913的承载层912。该突出结构913具有多个突块914。该覆盖单元92包括一第二基层921，及一设置于该第二基层921上的黏结层922。所述晶粒摆放于该承载层912的突出结构913上，该黏结层922覆盖所述晶粒，并与该突出结构913的部分区域黏合，使得所述晶粒夹设于该承载层912与该黏结层922之间。上述专利利用该黏结层922与该承载层912之间的接触面积小，能方便撕开该覆盖单元92。

然而，由于所述晶粒的尺寸很小，通常仅约100μm，使得所述晶粒位于该突出结构913的所述突块914上时，容易歪斜落入两相邻突块914之间的间隙，而不易维持放置位置的平整，造成在后续加工过程中，所述晶粒难以被夹具夹取出来，或所述晶粒难以利用自动化机台进行相关测试项目等问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种至少能够克服背景技术的缺点的晶粒护膜装置。

本实用新型的晶粒护膜装置，适用于保护多个晶粒，并包含第一护膜单元，及第二护膜单元。该第一护膜单元包括第一基层，以及结合于该第一基层的承载层。该第二护膜单元适用于与该第一护膜单元的承载部共同保护所述晶粒，并包括与该第一基层相对的第二基层，以及结合于该第二基层的黏贴层。该黏贴层能撕离地黏结该第一护膜单元的承载层。该第一护膜单元的承载层包括承载部，以及围绕该承载部且包括远离该第一基层的立体图案结构的围绕部，该承载部具有与该第一基层间隔且呈平面，并适用于供所述晶粒摆放的承载面。

本实用新型所述的晶粒护膜装置，该围绕部的立体图案结构具有多个用于与该第二护膜单元的黏贴层黏结的贴合面，以及多个分别自所述贴合面往该第一基层的方向凹陷的凹陷面。

本实用新型所述的晶粒护膜装置，该围绕部的立体图案结构包括平铺于该第一基层的基底，以及多个自该基底往该第二护膜单元的方向突伸的突部，每一突部具有所述贴合面的其中一个。

本实用新型所述的晶粒护膜装置，所述突部的所述贴合面与该承载部的该承载面齐平。

本实用新型所述的晶粒护膜装置，该立体图案结构的所述凹陷面共同界定连通外界的气流通道。

本实用新型所述的晶粒护膜装置，该立体图案结构的所述突部彼此连接而成网状。

本实用新型所述的晶粒护膜装置，该立体图案结构的所述突部彼此间隔。

本实用新型所述的晶粒护膜装置，该承载部的承载面的面积为该承载层朝向该第二护膜单元的表面的面积的20％～80％。

本实用新型所述的晶粒护膜装置，该第一护膜单元还包括黏结于该第一基层相反于该承载层的表面的表层，该表层由聚合物制成。

本实用新型的有益效果在于：利用所述立体图案结构，该第二护膜单元的黏贴层容易与该第一护膜单元的承载层分离；此外，呈平面的该承载部的承载面，能维持所述晶粒被平整地摆放于该第一护膜单元的承载层与该第二护膜单元的黏贴层之间。

附图说明

本实用新型的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是一立体分解图，说明现有一护膜；

图2是一立体分解图，说明本实用新型晶粒护膜装置的一第一实施例；

图3是沿图2的线II-II的一剖视示意图；及

图4是一立体分解图，说明本实用新型晶粒护膜装置的一第二实施例。

具体实施方式

在本实用新型被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。

参阅图2与图3，本实用新型晶粒护膜装置的一第一实施例，适用于保护多个晶粒9，所述晶粒9为晶圆制造完成后，切割晶圆而形成的。该晶粒护膜装置的第一实施例包含一第一护膜单元1，及一第二护膜单元2。

该第一护膜单元1包括一具有相反的一第一表面111及一第二表面112的第一基层11、一结合于该第一基层11的第一表面111的承载层12，以及一黏结于该第一基层11的第二表面112的表层13。

该第一护膜单元1的该第一基层11为一纸制品，并且例如为一个每边长为20厘米的正方形。该第一护膜单元1的该承载层12及该表层13分别为聚合物制成的薄片，且能由相同或不同的材质制成。该聚合物选自聚烯烃(PO)、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)，及前述的组合。聚烯烃能选自聚乙烯(PE)或聚丙烯(PP)。

该承载层12包括一位于中央的承载部121，以及一自该承载部121的边缘水平向外延伸并围绕该承载部121的围绕部122。该承载部121为每边长为12厘米的正方形，且具有一与该第一护膜单元1的第一基层11间隔且呈平面的承载面123，该承载面123适用于供所述晶粒9摆放于其上。该围绕部122整体呈包围该承载部121的「口」字形，并具有一自该承载部121的周缘至该围绕部122的周缘的宽度(w)。较佳地，该承载部121的承载面123的面积为该承载层12朝向该第二护膜单元的表面的面积(也就是该承载部121与该围绕部122的面积总和)的20％～80％。另一方面，该承载部121不限于为该正方形，也能为其他种类的方形、圆形，或椭圆形，只要被该围绕部122围绕即可。

该围绕部122包括一远离该第一基层11的立体图案结构124。该立体图案结构124包括一平铺于该第一基层11的第一表面111的基底128，以及多个自该基底128往该第二护膜单元2的方向突伸且彼此间隔的突部129。每一突部129为一长方形，且具有一个朝向该第二护膜单元2的贴合面125。所述突部129的所述贴合面125与该承载部121的承载面123在水平方向齐平。又，每一突部129也能为菱形或楕圆形。

因此，以该立体图案结构124整体而言，具有多个朝向该第二护膜单元2的所述贴合面125，以及多个分别自所述贴合面125往该第一护膜单元1的第一基层11的方向凹陷的凹陷面126。所述凹陷面126共同界定一连通外界且成一网状的气流通道127，该气流通道127能供外界空气进入其中。

该表层13用于支撑该第一基层11与该承载层12。需说明的是，当该第一基层11具有一预定的平整度，且即便吸附水气之后仍然能维持其平整度时，该表层13也能被省略。

该第二护膜单元2用于与该第一护膜单元1的承载部121共同保护所述晶粒9，并包括一与该第一基层11相对且面积与该第一基层11相同的第二基层21，以及一结合于该第二基层21的黏贴层22。

该第二基层21为聚合物制成，该聚合物是由选自于聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)，及前述的其中一组合为材料制成。

该黏贴层22以涂布的方式形成于该第二基层21的一朝下的表面211，并具有一能撕离地黏结该承载部121的承载面123与该围绕部122的贴合面125的黏贴面221。该黏贴面221为一平坦的平面。该黏贴层22由一黏着剂(adhesive)制成，该黏着剂的具体例为压克力系或橡胶系的感压胶。

本实用新型该第一实施例在使用时，所述晶粒9放置于该承载层12的承载部121及该黏贴层22之间，该黏贴层22黏贴该承载部121未放置所述晶粒9的区域，而使所述晶粒9被定位于该承载部121的平坦的承载面123及该黏贴层22的平坦的黏贴面221之间。此外，该承载层12的围绕部122也利用所述突部129的所述贴合面125与该黏贴层22黏着固定。

当使用者欲以夹具取出所述晶粒9时，需将该第一护膜单元1与该第二护膜单元2相对地撕开。在撕开的过程中，由于该承载层12的围绕部122设有该立体图案结构124，仅以所述间隔的贴合面125黏贴于该黏贴层22(而非以一连续且大面积的平面黏贴该黏贴层22)，且该围绕部122具有一供外界空气流入的气流通道127，所以该承载层12的围绕部122与该黏贴层22容易撕离，进一步带动摆放有所述晶粒9的该承载部121也容易自该黏贴层22撕离。

参阅图4，为本实用新型晶粒护膜装置的一第二实施例，与该第一实施例的结构大致相同，不同处在于，该第二实施例的该立体图案结构124的凹凸部位相对于该第一实施例为相反设计。因此，本第二实施例的所述突部129彼此连接而成一连续的立体网状。具体地说，该立体图案结构124的所述突部129成条状，且所述突部129的其中几个沿一平行于该第一基层11的第一方向(x1)延伸，其中另外几个沿一平行于该基底128且不同于该第一方向(x1)的第二方向(x2)延伸。沿该第一方向(x1)延伸的突部129及沿该第二方向(x2)延伸的突部129相互交叉而成一网状。

综上所述，本实用新型晶粒护膜装置通过该承载部121的平坦的该承载面123供所述晶粒9摆放，该承载面123能提供一连续且完整的平面，使得所述晶粒9位于该第一、二护膜单元1、2之间时不会歪斜倾倒。再配合该围绕部122的立体图案结构124，使得该第一护膜单元1容易自该第二护膜单元2撕开，所以确实能达成本实用新型的目的。

以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。