一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具的制作方法

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体为一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具。

背景技术：

目前随着社会的不断发展，芯片的使用量越来越大，因此对晶圆的需求也在不断加大，进而需要一种快速腐蚀晶圆的设备来提高晶圆的腐蚀速率，以提高晶圆的产量。

现有的晶圆夹具存在以下不足：

1、容易对晶圆的两侧进行腐蚀，影响晶圆的产品质量。

2、一次只能夹取一片晶圆，工作效率较低。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，解决了晶圆腐蚀效率低的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，包括上夹板和下夹板，所述上夹板的左侧安装有支杆b，所述下夹板的左侧安装有支杆a，且所述支杆a与所述支杆b通过固定销固定，所述支杆a的左侧设置有把手a，所述支杆b的左侧设置有把手b，所述固定销的右侧设置有固定栓，且所述固定栓安装在所述支杆a和所述支杆b上，所述上夹板的上表面设置有孔洞且所述上夹板设置在所述下夹板的正上方，所述上夹板内部的顶端固定有安装块，所述安装块上设置有密封垫，所述安装块的下端设置有柱塞，且所述柱塞的上表面设置有凹槽，所述凹槽中安装有所述晶圆，所述上夹板和所述下夹板之间设置有密封条a和密封条b，且所述密封条a安装在所述上夹板上，所述密封条b安装在所述下夹板上，所述密封条a和所述密封条b中安装有磁铁。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述把手a和所述把手b上安装有橡胶套。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装块上设置有所述收容槽，且所述收容槽中设置有所述密封垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述柱塞的底部安装有拉环。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支杆a和所述支杆b上设置有所述栓孔，且所述固定栓设置在栓孔中。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支杆b与所述支杆a之间的夹角为120度。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，具备以下有益效果：

1、该种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，通过上夹板和下夹板的设计，可使得该种装置一次可蚀刻两片晶圆，提高晶圆蚀刻效率。

2、该种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，通过柱塞和安装块的设计，使得晶圆在蚀刻时只蚀刻晶圆的一侧，避免了晶圆蚀刻过程中发生两侧蚀刻的情况发生，提高良品率。

3、该种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，通过重复使用降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型上夹板剖面结构示意图；

图3为本实用新型密封条a剖面结构示意图。

图中：1、支杆a；2、把手a；3、支杆b；4、把手b；5、固定销；6、固定栓；7、孔洞；8、上夹板；9、下夹板；10、安装块；11、晶圆；12、密封垫；13、柱塞；14、拉环；15、密封条a；16、凹槽；17、密封条b；18、磁铁。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，包括上夹板8和下夹板9，上夹板8的左侧安装有支杆b3，下夹板9的左侧安装有支杆a1，且支杆a1与支杆b3通过固定销5固定，支杆a1的左侧设置有把手a2，支杆b3的左侧设置有把手b4，固定销5的右侧设置有固定栓6，且固定栓6安装在支杆a1和支杆b3上，上夹板8的上表面设置有孔洞7且上夹板8设置在下夹板9的正上方，上夹板8内部的顶端固定有安装块10，安装块10上设置有密封垫12，安装块10的下端设置有柱塞13，且柱塞13的上表面设置有凹槽16，且凹槽16中安装有晶圆11，上夹板8和下夹板9之间设置有密封条a15和密封条b17，且密封条a15安装在上夹板8上，密封条b17安装在下夹板9上，密封条a15和密封条b17中安装有磁铁18。

本实施方案中，下夹板9的下表面设置有孔洞7，支杆b3与上夹板8之间通过焊接连接，密封条a15与密封条b17中的磁铁18互相吸引。

具体的，把手a2和把手b4上安装有橡胶套。

本实施例中，橡胶套上设置有花纹。

具体的，安装块10上设置有收容槽，且收容槽中设置有密封垫12。

本实施例中，密封垫12的高度为收容槽高的二分之一。

具体的，柱塞13的底部安装有拉环14。

本实施例中，拉环14为圆形，且拉环14通过焊接连接在柱塞13上。

具体的，支杆a1和支杆b3上设置有栓孔，且固定栓6设置在栓孔中。

本实施例中，固定栓6上设置有插销。

具体的，支杆b3与支杆a1之间的夹角为120度。

本实施例中，把手a2和把手b4上有一定的凹度。

本实用新型的工作原理及使用流程：首先将该种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具上的固定栓6拔下，然后手按把手a2和把手b4，进而此时支杆a1和支杆b3翘起，使得上夹板8与下夹板9分离，然后手拉拉环14分别取下上夹板8和下夹板9内部的柱塞13，当柱塞13取出后，分别将晶圆11放入到两柱塞13上的凹槽16中，当晶圆11安放好后，将两柱塞13分别塞入上夹板8与下夹板9中，当柱塞13固定好后，此时手提把手a2和把手b4，进而上夹板8和下夹板9贴合，由于密封条a15和密封条b17在磁铁18吸力的作用下实现上夹板8和下夹板9的密封，同时将固定栓6插入支杆a1和所述支杆b3中，然后将该种装置的上夹板8和下夹板9入到腐蚀液中，腐蚀液经孔洞7进入，实现晶圆11的单面刻蚀。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，包括上夹板(8)和下夹板(9)，其特征在于：所述上夹板(8)的左侧安装有支杆b(3)，所述下夹板(9)的左侧安装有支杆a(1)，且所述支杆a(1)与所述支杆b(3)通过固定销(5)固定，所述支杆a(1)的左侧设置有把手a(2)，所述支杆b(3)的左侧设置有把手b(4)，所述固定销(5)的右侧设置有固定栓(6)，且所述固定栓(6)安装在所述支杆a(1)和所述支杆b(3)上，所述上夹板(8)的上表面设置有孔洞(7)且所述上夹板(8)设置在所述下夹板(9)的正上方，所述上夹板(8)内部的顶端固定有安装块(10)，所述安装块(10)上设置有密封垫(12)，所述安装块(10)的下端设置有柱塞(13)，且所述柱塞(13)的上表面设置有凹槽(16)，所述凹槽(16)中安装有所述晶圆(11)，所述上夹板(8)和所述下夹板(9)之间设置有密封条a(15)和密封条b(17)，且所述密封条a(15)安装在所述上夹板(8)上，所述密封条b(17)安装在所述下夹板(9)上，所述密封条a(15)和所述密封条b(17)中安装有磁铁(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述把手a(2)和所述把手b(4)上安装有橡胶套。

3.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述安装块(10)上设置有收容槽，且收容槽中设置有所述密封垫(12)。

4.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述柱塞(13)的底部安装有拉环(14)。

5.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述支杆a(1)和所述支杆b(3)上设置有栓孔，且所述固定栓(6)设置在栓孔中。

6.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述支杆b(3)与所述支杆a(1)之间的夹角为120度。

技术总结
本实用新型属于晶圆加工设备技术领域，尤其为一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，包括上夹板和下夹板，上夹板的左侧安装有支杆B，下夹板的左侧安装有支杆A，且支杆A与支杆B通过固定销固定，支杆A的左侧设置有把手A，支杆B的左侧设置有把手B，固定销的右侧设置有固定栓，且固定栓安装在支杆A和支杆B上，上夹板的上表面设置有孔洞，且上夹板设置在下夹板的正上方，上夹板内部的顶端固定有安装块，安装块上设置有密封垫，安装块的下端设置有柱塞，且柱塞的上表面设置有凹槽，本实用新型具有生产效率高的特点。

技术研发人员：何海洋;胡健峰;彭强
受保护的技术使用者：无锡市查奥微电子科技有限公司
技术研发日：2019.10.17
技术公布日：2020.05.26