基板支撑装置的制作方法

[0001]
本发明涉及一种基板支撑装置及包括它的基板处理设备，更详细而言，涉及一种能够支撑不同种类基板的基板支撑装置及基板处理设备。


背景技术：

[0002]
显示基板制造工艺中使用的基板的种类繁多。近年来使用不同种类基板(作业基板)的情况较多。当在该情况下改变待制作的基板的种类时，因设备更换所需的时间和费用而设备运转率下降，在随之产生的作业费用和作业时间方面上存在损失。


技术实现要素：

[0003]
本发明提供一种基板支撑装置及包括它的基板处理设备，其在不更换设备的情况下能够利用不同种类的(作业)基板来制作各种电子基板。
[0004]
基板支撑装置包括：支撑框架，包括第一支撑部及第二支撑部，所述第二支撑部的至少一部分与所述第一支撑部相隔；销部件，用于支撑基板的下表面，并且包括与所述第一支撑部结合的多个第一支撑销和与所述第二支撑部结合的多个第二支撑销；以及驱动模块，沿所述基板的所述下表面的法线方向选择性地使所述第一支撑部及所述第二支撑部移动。
[0005]
所述基板可包括第一基板及第二基板，所述第一基板和所述第二基板分别包括多个有效区域及在所述多个有效区域之间的边界区域，所述第一基板的所述边界区域和所述第二基板的所述边界区域具有彼此不同的形状。
[0006]
所述第一支撑部可以对应于所述第一基板的所述边界区域上升或下降，所述第二支撑部可以对应于所述第二基板的所述边界区域上升或下降。
[0007]
所述第一支撑销可支撑所述第一基板的所述边界区域，所述第二支撑销可支撑所述第二基板的所述边界区域。
[0008]
所述第二支撑部可包括第一部分及与所述第一部分分离的第二部分。
[0009]
所述第一部分和所述第二部分可以隔着所述第一支撑部彼此相隔。
[0010]
所述驱动模块可包括与所述第一支撑部及所述第二支撑部分别连接的第一驱动模块及第二驱动模块。
[0011]
所述支撑框架可进一步包括第三支撑部，所述销部件进一步包括与所述第三支撑部结合的多个第三支撑销，所述第三支撑部形成为闭合形状且在俯视中包围所述第一支撑部及所述第二支撑部。
[0012]
所述第三支撑部可以与所述第一支撑部或所述第二支撑部同时上升或下降。
[0013]
所述第三支撑部可以与所述第一支撑部及所述第二支撑部相隔。
[0014]
在多个实施例中，基板支撑装置可包括：载体；支撑销，配置在所述载体的下侧，并且能够沿竖直方向移动；以及驱动模块，根据待安放于所述载体的基板的种类来控制所述支撑销的位置，所述支撑销在第一模式下至少一部分向所述载体的上表面的上侧突出而支
撑所述基板，并且在第二模式下向所述载体的下侧移动而将所述基板安放在所述载体的所述上表面上，所述基板包括边界区域的形状彼此不同的第一基板和第二基板，作为所述支撑销中一部分的第一组的支撑销可用于支撑所述第一基板的所述边界区域，作为所述支撑销中一部分的第二组的支撑销可用于支撑所述第二基板的所述边界区域。
[0015]
基板支撑装置可进一步包括与所述支撑销结合的支撑框架，所述支撑框架与所述基板的所述边界区域重叠。
[0016]
所述支撑框架可包括彼此相隔的多个支撑部，所述驱动模块通过使所述多个支撑部移动而控制所述支撑销的位置。
[0017]
所述驱动模块可以对应于所述第一基板及所述第二基板分别使所述第一组及所述第二组的所述支撑销移动。
[0018]
所述支撑销可在第三模式下向所述载体的上侧移动，从而使安放于所述载体的上表面上的所述基板脱离所述载体的上表面。
[0019]
与所述基板的所述边界区域对应的所述支撑销可以贯通所述载体。
[0020]
当所述支撑销中的所述第一组的支撑销在所述第一模式下支撑所述第一基板时，所述支撑销中另一部分的支撑销可以与所述第一基板相隔。
[0021]
所述第一组的所述支撑销可包括所述第二组的所述支撑销中的一部分。
[0022]
所述支撑销可以与支撑框架结合，所述支撑销在所述第一模式下从所述支撑框架上升，并且在所述第二模式下朝向所述支撑框架下降。
[0023]
基板处理设备可包括腔室、基板支撑装置及基板移送装置，所述基板支撑装置包括：载体，配置在所述腔室的内部；支撑销，配置在所述载体的下侧，并且能够沿竖直方向移动；以及驱动模块，根据基板的种类来控制所述支撑销的操作，所述基板移送装置从所述腔室的外部向所述腔室的内部移送所述基板，所述支撑销在第一模式下至少一部分向所述载体的上表面的上侧突出而支撑所述基板，并且在第二模式下向所述载体的下侧移动而将所述基板安放在所述载体的所述上表面上，所述基板包括边界区域的形状彼此不同的第一基板和第二基板，所述支撑销中的第一组可用于支撑所述第一基板的所述边界区域，所述支撑销中的第二组可用于支撑所述第二基板的所述边界区域。
[0024]
本发明的一实施例的基板支撑装置及包括它的基板处理设备在制作不同种类的基板时不需要更换设备，因此能够减少电子基板的制作时间和制作费用方面的损失。
附图说明
[0025]
图1是表示本发明的一实施例的基板处理设备的图。
[0026]
图2a是表示本发明的一实施例的基板支撑装置的上升状态的图。
[0027]
图2b是表示本发明的一实施例的基板支撑装置的下降状态的图。
[0028]
图3a至图3c是表示本发明的一实施例的基板的图。
[0029]
图4a及图4b是表示本发明的一实施例的基板支撑装置的俯视图。
[0030]
图5a至图5c是表示图4a所示一实施例的基板支撑装置的上升及下降状态的俯视图。
[0031]
图6a至图6c是表示图4b所示一实施例的基板支撑装置的模样的i-i
’
向剖视图。
具体实施方式
[0032]
在说明书中，当提到某结构要素(或者区域、层或部分等)“位于”、“连接到”或“结合到”其他结构要素上时，这表示可直接配置/连接/结合到其他结构要素上或者在它们之间也可以配置有第三结构要素。
[0033]
相同的附图标记指相同的结构要素。此外，在附图中，为了有效地说明技术内容，夸大了结构要素的厚度、比率及尺寸。
[0034]“和/或”包含相关联的结构所能够定义的一个以上的所有组合。
[0035]
虽然第一、第二等用语可用于说明多种结构要素，但所述结构要素并不应由所述用语限定。所述用语可以仅为了将一个结构要素与其他结构要素区别的目的使用。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一结构要素可被命名为第二结构要素，类似地第二结构要素也可以被命名为第一结构要素。关于单数的表述，只要在上下文中不是明确地表示其他含义，则该单数的表述包括复数的表述。
[0036]
此外，“在下方”、“在下侧”、“在上方”或“在上侧”等用语为了说明图中所示的结构的相关关系使用。所述用语为相对概念，以图中所示的方向为基准进行说明。
[0037]
如果没有其他定义，则本说明书中使用的所有用语(包含技术用语及科学用语)与本发明所属技术领域的技术人员普遍理解的含义具有相同的含义。此外，如同普遍使用的词典中定义的用语那样的用语，应解释为其含义与在相关技术背景中的含义一致。如果没有解释为理想的或过度形式的含义，则在此明确定义。
[0038]
应理解“包括”或“具有”等用语是为了指定说明书中记载的特征、数字、步骤、操作、结构要素、部件或其组合的存在，并不是用来事先排除一个或其以上的其他特征、数字、步骤、操作、结构要素、部件或其组合的存在或附加的可能性。
[0039]
下面，参照附图对本发明的实施例进行说明。
[0040]
图1是表示本发明的一实施例的基板处理设备的图。
[0041]
参照图1，基板处理设备1包括腔室10、基板支撑装置100、基板移送装置20及闸门gn。
[0042]
基板处理设备1可以是对基板g执行图案形成、蚀刻或切割等的各种工艺的装置。在此，基板g可指显示模块。显示模块可包括用于显示图像的显示面板及用于感测外部输入的输入感测单元中的至少一种。此外，基板g可指包含在显示模块中的单个基底基板。
[0043]
腔室10提供内部空间inp。在内部空间inp中可配置有基板支撑装置100。在腔室10的内部空间inp中除了基板支撑装置100以外，可配置有基板移动装置及处理装置等(未图示)。腔室10的外部可被界定为外部空间。
[0044]
在腔室10的一侧面可界定有可供基板g出入的出入开口部op。闸门gn可覆盖出入开口部op并配置在腔室10的外壁上。基板g可通过闸门gn的打开操作及关闭操作的控制而移送到腔室10的内部或外部。在另一实施例中，在腔室10可进一步界定有可供其他部件进出的开口部。
[0045]
此外，如图1所示，图示了腔室10被界定为四边形状，但并不限于此，腔室10的形状可根据实施例变形为多种形状。此外，腔室10的内部空间inp可根据实施例划分为多个移动空间或多个加工空间，可进一步划分出工艺所需的附加空间。
[0046]
基板移送装置20配置在腔室10的外部空间中，可通过出入开口部op向腔室10的内
部空间移送基板g。在一实施例中，基板移送装置20可向腔室10的内部空间移送不同种类的基板g。
[0047]
本发明的一实施例的基板支撑装置100可支撑移送到腔室10的内部空间中的基板g。例如，基板支撑装置100可在基板处理设备1的工序中将基板g安放在载体cr上或者使基板g脱离载体cr。更具体而言，基板支撑装置100在将基板g安放于载体cr上或使基板g脱离载体cr的过程中能够防止不良。
[0048]
基板g可以是选自不同种类基板中的一个基板。例如，基板g包括第一基板及第二基板。第一基板和第二基板包括彼此不同的边界区域及有效区域。可向基板处理设备1依次投放不同种类的基板。
[0049]
图2a是表示本发明的一实施例的基板支撑装置的上升状态的图。图2b是表示本发明的一实施例的基板支撑装置的下降状态的图。
[0050]
参照图2a及图2b，基板支撑装置100包括多个支撑销sp、支撑框架sf及驱动模块mm。
[0051]
多个支撑销sp可以与支撑框架sf结合。多个支撑销可以支撑基板g的下表面。
[0052]
驱动模块mm可根据基板g的种类来控制支撑销sp的位置。驱动模块mm可以对应于彼此不同的种类的基板g使支撑框架sf移动。驱动模块mm可根据支撑销sp的移动方向而包括第一模式至第三模式。
[0053]
在一实施例中，基板支撑装置100可进一步包括载体cr。载体cr可在腔室1的内部空间inp中运送基板g。载体cr可包括供支撑销sp贯通的多个贯通孔ch。
[0054]
在图2a中，在基板g通过基板移送装置20被移送到腔室10的内部空间inp的情况下，基板支撑装置100可以支撑基板g的下表面。在第一模式下，至少一部分支撑销sp可以贯通载体cr的多个贯通孔ch，并且向载体cr的上表面的上侧突出而支撑基板g。
[0055]
在图2b中，基板支撑装置100为了将支撑的基板g安放于载体cr，可以使支撑框架sf下降。在第二模式下，支撑销sp可以向载体cr的下侧移动而与基板g的下表面分离并将基板g安放在载体cr的上表面。
[0056]
在一实施例中，支撑销sp可在第三模式下向载体cr的上侧移动，从而使安放在载体cr的上表面的基板g脱离载体cr的上表面。在上升过程中，支撑销sp支撑基板g1的下表面。
[0057]
在图2a及图2b中说明了支撑销sp通过支撑框架sf上升/下降，但并不限于此。例如，可以省略支撑框架sf，而多个支撑销sp本身上升/下降。在图6a至图6c中进行详细说明。
[0058]
图3a是表示本发明的一实施例的基板的图。图3b是表示本发明的另一实施例的基板的图。图3c是表示本发明的又一实施例的基板的图。
[0059]
如参照图1所说明那样，第一基板及第二基板具有彼此不同的边界区域及有效区域是指第一基板的有效区域及边界区域与第二基板的有效区域及边界区域具有彼此不同的形状。在此，有效区域相当于液晶显示器(lcd，liquid crystal display)等的显示区域，边界区域为显示区域以外的非显示区域，可相当于无信号区(dead space，d/s)。
[0060]
本发明的一实施例的基板g可根据生产日程确定为不同种类的基板g。以下面举例说明的不同基板g的种类为基础，基板支撑装置100可通过选择性地驱动支撑框架sf和结合在支撑框架sf的支撑销sp而支撑基板g。
[0061]
在图3a至图3c中，基板g可包括彼此不同种类的多个基板g。参照图3a至图3c，基板g包括有效区域及边界区域。例如，图3a可表示第一基板g1，图3b可表示第二基板g2，图3c可表示第三基板g3。第一至第三基板可分别包括多个第一至第三有效区域和多个第一至第三边界区域。第一至第三有效区域可具有彼此不同的形状，第一至第三边界区域也可以具有彼此不同的形状。
[0062]
在图3a中，本实施例的第一基板g1可具有多个第一有效区域aa1及多个第二有效区域aa2。在此，第一有效区域aa1可相当于78英寸大小的显示区域，第二有效区域aa2可相当于30英寸大小的显示区域。第一边界区域ba1可相当于位于第一基板g1的边缘的无信号区，该第一基板g1被在图4a中与第三支撑部sf3结合的第三支撑销sp3所支撑。第二边界区域ba2可相当于与第一支撑部sf1结合的第一支撑销sp1所支撑的无信号区。第二边界区域ba2可相当于划分第一有效区域aa1和第二有效区域aa2的边界。
[0063]
在图3b中，第二基板g2可具有多个第一有效区域aa1及多个第二有效区域aa2。在此，第一有效区域aa1可相当于65英寸大小的显示区域，第二有效区域aa2可相当于55英寸大小的显示区域。第一边界区域ba1可相当于位于第二基板g2的边缘的无信号区，该第二基板g2被在图4a中与第三支撑部sf3结合的第三支撑销sp3所支撑。第二边界区域ba2可相当于第二支撑销sp2所支撑的无信号区。第二边界区域ba2可相当于划分第一有效区域aa1和第二有效区域aa2的边界。
[0064]
在图3c中，第三基板g3可具有多个第一有效区域aa1。在此，第一有效区域aa1可相当于153英寸大小的显示区域。第一边界区域ba1可相当于位于第三基板g3的边缘的无信号区，该第三基板g3被在图4a中与第三支撑部sf3结合的第三支撑销sp3所支撑。第二边界区域ba2可相当于支撑与第四支撑部sf4结合的第四支撑销sp4的无信号区。第二边界区域ba2可相当于划分多个第一有效区域aa1的边界。
[0065]
图4a是本发明的一实施例的基板支撑装置的俯视图。图4b是本发明的另一实施例的基板支撑装置的俯视图。
[0066]
在图4a及图4b中，基板支撑装置100包括支撑框架sf，该支撑框架sf将第一至第四支撑部及第一至第四支撑销全部包括。因此，基板支撑装置100在没有因支撑框架sf的更换产生的运转率的损失的情况下能够高效地支撑第一至第三基板。
[0067]
参照图4a，支撑框架sf可包括彼此相隔的多个支撑部。更具体而言，支撑框架sf可包括第一支撑部sf1、第二支撑部sf2、第三支撑部sf3及第四支撑部sf4。销部件可包括多个支撑销sp。销部件包括分别为多个的第一支撑销sp1、第二支撑销sp2、第三支撑销sp3及第四支撑销sp4。第一至第四支撑销分别与第一至第四支撑部结合。
[0068]
例如，支撑框架sf可包括第一支撑部sf1和第二支撑部sf2，第二支撑部sf2的至少一部分与第一支撑部sf1相隔。多个支撑销sp能够支撑基板g的下表面。在一实施例中，销部件可包括与第一支撑部sf1结合的多个第一支撑销sp1及与第二支撑部sf2结合的多个第二支撑销sp2。
[0069]
在一实施例中，支撑框架sf可进一步包括第三支撑部sf3，第三支撑部sf3与第一支撑部sf1及第二支撑部sf2相隔。销部件可进一步包括与第三支撑部sf3结合的多个第三支撑销sp3。第三支撑部sf3可形成为闭合形状且在俯视中包围第一支撑部sf1及第二支撑部sf2。即，第三支撑部sf3可以是支撑框架sf的边缘部分。支撑框架sf可以与基板g的边界
区域的形状对应，特别是第三支撑部sf3可以与位于第一至第三基板的边缘的边界区域的形状对应。
[0070]
在本实施例中，基板支撑装置100并不限于上述实施例，可进一步包括第四支撑部sf4及第五支撑部(未图示)和第四支撑销sp4及第五支撑销(未图示)，这是显而易见的。
[0071]
第一支撑部sf1、第二支撑部sf2及第四支撑部sf4分别可包括第一部分p1及与第一部分p1分离的第二部分p2。第二支撑部sf2的第一部分p1和第二部分p2可以隔着第一支撑部sf1彼此相隔。即，构成特定支撑部的多个部分可被其他支撑部分离配置。在一实施例中，第一部分p1及第二部分p2可分别包括驱动模块。在一实施例中，第二支撑部sf2可以对应于第二基板g2的边界区域使第一部分p1及第二部分p2移动。虽然在图中只图示第二支撑部sf2包括第一部分p1及第二部分p2，但其他支撑部也可以包括多个部分。
[0072]
第四支撑部sf4可以与第四支撑销sp4结合并与第三基板g3的边界区域对应。例如，第四支撑销sp4支撑第三基板g3的边界区域的下表面。第四支撑部sf4被第三支撑部sf3包围并能够与第三支撑部sf3一同上升或下降。虽然只图示第一至第四支撑部，但并不限于此，基板支撑装置100可根据基板g的种类数量而包括多个支撑部。
[0073]
驱动模块mm能够沿基板g下表面的法线方向选择性地使第一支撑部sf1及第二支撑部sf2移动。即，驱动模块mm可以对应于第一基板g1使第一支撑部sf1移动，并且对应于第二基板g2使第二支撑部sf2移动。驱动模块mm可包括使支撑框架sf上升的第一模式和使支撑框架sf下降的第二模式。在一实施例中，驱动模块mm可包括与第一支撑部sf1及第二支撑部sf2分别连接的第一驱动模块mm1及第二驱动模块mm2。第一驱动模块mm1可以对应于第一基板g1的边界区域使第一支撑部sf1上升及下降，第二驱动模块mm2可以对应于第二基板g2的边界区域使第二支撑部sf2上升及下降。同样，第三驱动模块mm3可以使第三支撑部sf3上升及下降，第四驱动模块mm4可以使第四支撑部sf4上升及下降。
[0074]
参照图4b，基板支撑装置100包括支撑框架sf及多个支撑销sp。多个支撑销sp可包括支撑第一基板g1的边界区域的第一组及支撑第二基板g2的边界区域的第二组。多个支撑销sp并不限于此，可包括分别支撑不同种类的基板g的多个组。
[0075]
在一实施例中，多个支撑销sp可包括支撑基板g的边缘区域的第三组。第三组能够与第一组或第二组同时上升及下降。在一实施例中，第一组支撑销可包括第二组支撑销中的一部分。因此，第二组的一部分可以对应于第一基板g1的边界区域及第二基板g2的边界区域上升。在该情况下，共同包含在第一组和第二组中的支撑销与第一基板g1的边界区域和第二基板g2的边界区域中的重叠部分对应。
[0076]
图5a是表示图4a所示基板支撑装置的一实施例的上升及下降状态的俯视图。图5b是表示图4a所示基板支撑装置的另一实施例的上升及下降状态的俯视图。图5c是表示图4a所示基板支撑装置的又一实施例的上升及下降状态的俯视图。
[0077]
在第一基板g1被移送到腔室10的内部空间inp的情况下，第一支撑销sp1能够支撑第一基板g1的边界区域的下表面。在第二基板g2被移送到腔室10的内部空间inp的情况下，第二支撑销sp2能够支撑第二基板g2的边界区域的下表面。在第一模式下第一支撑销sp1可通过第一驱动模块mm1上升并支撑第一基板g1的边界区域。在第一模式下第二支撑销sp2可通过第二驱动模块mm2上升并支撑第二基板g2的边界区域。在一实施例中，第三支撑销sp3可以与第一支撑销sp1或第二支撑销sp2一同移动。
[0078]
在图5a至图5b中，o及x表示支撑销sp。更具体而言，x可以相当于支撑基板g的下表面的支撑销sp，o可以相当于与基板g相隔的支撑销sp。即，x可以相当于图2a所示状态的支撑销sp，o可以相当于图2b所示状态的支撑销sp。例如，x可以相当于与第一基板g1的边界区域重叠并与第一支撑部sf1结合的第一支撑销sp1及与第三支撑部sf3结合的第三支撑销sp3。在该情况下，o可以相当于与第二支撑部sf2结合的第二支撑销sp2。
[0079]
在图5a中，x表示第一支撑销sp1及第三支撑销sp3，o表示第二支撑销sp2及第四支撑销sp4。第一支撑部sf1对应于第一基板g1并与第三支撑部sf3一同上升。因此，第一支撑销sp1及第三支撑销sp3能够支撑第一基板g1的边界区域。第二支撑部sf2及第四支撑部sf4可以不上升且位于与第一支撑部sf1及第三支撑部sf3相隔的位置。在驱动模块mm中，显示出的第一驱动模块amm1和第三驱动模块amm3可在第一模式下运行并使第一支撑部sf1及第三支撑部sf3上升。此时，未显示的第二驱动模块mm2及第四驱动模块mm4不运行。
[0080]
在图5b中，x表示第二支撑销sp2及第三支撑销sp3，o表示第一支撑销sp1及第四支撑销sp4。第二支撑部sf2对应于第二基板g2并与第三支撑部sf3一同上升。因此，第二支撑销sp2及第三支撑销sp3能够支撑第二基板g2的边界区域。第一支撑部sf1和第四支撑部sf4可以不上升且位于与第二支撑部sf2及第三支撑部sf3相隔的位置。不过，第四支撑部sf4中的与第二支撑部sf2重叠的重叠部分pp包含在第二支撑部sf2中并上升。第二支撑部sf2中的与第四支撑部sf4重叠的重叠部分pp可以与第二基板g2和第三基板g3的边界区域中的重叠的边界区域对应。即，重叠部分pp能够支撑第二基板g2和第三基板g3的重叠的边界区域。在驱动模块mm中，显示出的第二驱动模块amm2和第三驱动模块amm3在第一模式下运行，未显示的第一驱动模块mm1和第四驱动模块mm4不运行。
[0081]
在图5c中，x表示第四支撑销sp4及第三支撑销sp3，o表示第一支撑销sp1及第二支撑销sp2。第四支撑部sf4对应于第三基板g3并与第三支撑部sf3一同上升。因此，第四支撑销sp4及第三支撑销sp3能够支撑第三基板g3的边界区域。第一支撑部sf1和第二支撑部sf2可以不上升且位于与第四支撑部sf4及第三支撑部sf3相隔的位置。不过，在图5c的第二支撑部sf2中，与第四支撑部sf4重叠的重叠部分pp包含在第四支撑部sf4中并上升。在驱动模块mm中，显示出的第四驱动模块amm4和第三驱动模块amm3在第一模式下能够分别使第四支撑部sf4及第三支撑部sf3上升。
[0082]
图6a是表示图4b所示基板支撑装置在第一模式下支撑第一基板的模样的i-i
’
向剖视图。图6b是表示图4b所示基板支撑装置支撑第二基板的模样的i-i
’
向剖视图。图6c是表示图4b所示基板支撑装置支撑第三基板的模样的i-i
’
向剖视图。
[0083]
支撑销sp与支撑框架sf结合，并且在第一模式下可从支撑框架sf独立地上升而支撑基板g且在第二模式下可向支撑框架sf下降而将基板g安放在载体cr上。更详细而言，第一至第三组的支撑销在第一模式下能够分别对应于第一至第三基板而从支撑框架sf向基板方向上升。此时，未上升的支撑销sp维持与支撑框架sf结合的状态。上升的第一至第三组的支撑销可在第二模式下再次下降返回到与支撑框架sf结合的状态。
[0084]
在图6a中，作为多个支撑销sp中的一部分的第一组的支撑销在第一模式下对应于第一基板g1上升并支撑第一基板g1的边界区域。在此，第一组的支撑销可以与图5a的第一支撑销sp1对应。在第一组的支撑销支撑第一基板g1时，其他部分的支撑销可以不上升且与第一基板g1相隔。驱动模块mm可以仅使对应于第一基板g1支撑第一基板g1的边界区域的第
一组的支撑销上升。在一实施例中，第一组的支撑销可包括第二组的支撑销中的一部分。共同包含在第一组和第二组中的一部分支撑销可以对应于第一基板g1及第二基板g2中的重叠的边界区域而均支撑第一基板g1及第二基板g2。
[0085]
在图6b中，多个支撑销sp中的第二组的支撑销在第一模式下对应于第二基板g2上升并支撑第二基板g2的边界区域。在此，第二组的支撑销可以与图5b的第二支撑销sp2对应。在第二组的支撑销支撑第二基板g2时，其他部分的支撑销可以不上升且与第二基板g2相隔。第二组的支撑销可包括第一组的支撑销中的一部分。共同包含在第一组和第二组中的一部分支撑销可以对应于第一基板g1及第二基板g2中的重叠的边界区域而均支撑第一基板g1及第二基板g2。
[0086]
在图6c中，多个支撑销sp中的第三组的支撑销在第一模式下对应于第三基板g3上升并支撑第三基板g3的边界区域。在此，第三组的支撑销可以与图5c的第四支撑销sp4对应。在第三组的支撑销支撑第三基板g3时，其他部分的支撑销可以不上升且与第三基板g3相隔。
[0087]
以上，参照本发明的优选实施例进行了说明，但应该可以理解本技术领域的熟练技术人员或具有本技术领域一般知识的人员在不脱离所附的权利要求书中记载的本发明的思想及技术领域的范围内可用多种方式修改及变更本发明。
[0088]
因此，本发明的技术范围并不由说明书的详细说明中记载的内容来限定，而是应由权利要求书的范围来确定。
[0089]
附图标记说明
[0090]
1：基板处理设备
[0091]
10：腔室
[0092]
100：基板支撑装置
[0093]
sf：支撑框架
[0094]
sp：支撑销
[0095]
cr：载体
[0096]
mm：驱动模块
[0097]
g：基板