一种激光调阻系统的制作方法

1.本发明涉及激光应用领域，特别是涉及一种激光调阻系统。


背景技术：

2.随着电子产品不断追求智能化、多功能化及小型化的要求越来越高，随之要求电子元器件朝着智能化、多功能化及小型化的方向发展，因此可调电阻在各类电子设备中的应用愈加广泛。
3.由于丝网印刷操作固有的误差性，基板表面的不均匀及烧结条件的不重复性，厚膜电阻常出现正负误差，如果阻值超过标称值将无法修正，一般情况下印刷烧成后阻值低于目标值的大约30％，所以要通过激光调整达到目标值，为了提高厚膜电路的精度，必须进行阻值修调。
4.中国专利申请号2017114584717揭示了一种贴片电阻激光调阻系统，该技术方案采用355nm短波长激光加工对热效应比较敏感的贴片的电阻，实现贴片电阻的调阻目的。该方案只能适用于对热效应比较敏感的贴片电阻调阻工艺，并不能应用于各种薄膜电阻或厚膜电阻，更不能应用于电压，电流，时间，频率，压力等参数的调整。
5.因此，有必要开发一种激光调阻系统，克服现有技术的缺陷。


技术实现要素：

6.为了解决现有技术应用范围有限的不足，本发明提出一种激光调阻系统，技术方案如下：
7.一种激光调阻系统，包括：
8.激光源发生单元，用于提供修调电子元件所需的激光；
9.探针及工装单元，用于容置待测电子元件，并调整探针与待测电子元件的对焦位置；
10.振镜扫描单元，用于设置工作区的扫描范围及定位精度；
11.测量单元，用于测量和检测外部的电阻或电压，控制激光源发生单元开关激光，并将测量结果返回至运动控制单元；
12.同轴定位单元，用于将激光源发生单元发射的激光束的焦点定位至加工位置；
13.运动控制单元，用于根据测量单元的测量结果对待测目标进行控制；
14.视频显示单元，用于设置视野范围及视觉定位精度的参数。
15.进一步的，所述的激光波长为532nm或1064nm。
16.进一步的，所述的扫描范围为102mm
×
102mm。
17.进一步的，所述的视野范围为8mm*6mm。
18.进一步的，所述的视觉定位精度为
±
10um。
19.进一步的，所述的测量单元采用二线或四线方式测量电阻。
20.进一步的，所述的调阻还可以为调整电压、电流、时间、频率、压力的任一种。
21.采用本发明激光调阻系统在修调电子元件参数的过程中，可以实时监测待测电阻的阻值，当测量值达到目标值时关断激光，测量精度较高，节省人力，提高效率，还可以对电阻，电压，电流，电信号等物理量的修调。
附图说明
22.图1：本发明激光调阻系统的组成示意图。
具体实施方式
23.以下结合实施例对本发明的激光调阻系统进行说明，应当明确，此处的实施例仅用于解释本发明的最佳实施方式，并不用于限制本发明的保护范围。
24.请参考图1本发明激光调阻系统的组成示意图，该结构调阻系统由激光源发生单元101，探针及工装单元102，振镜扫描单元103，测量单元104，同轴定位单元105，运动控制单元106，视频显示单元107组成，
25.激光源发生单元101，用于提供一定波长的激光，例如可以是532nm或1064nm波长的激光。
26.探针及工装单元102，用于容置待测电子元件，并调整探针与待测电子元件的对焦位置。
27.振镜扫描单元103，用于设置工作区的扫描范围及定位精度，例如扫描范围可以是102mm*102mm。
28.测量单元104采用高速电阻电压测量控制单元，其测量和检测外部的电阻或电压，控制激光源发生单元101开关激光，并将测量结果返回到运动控制单元106，该测量单元104采用开尔文(kelvin)测量法实现电阻的精确测量，测量的方式可以采用二线或四线测量电阻、施加电流或测量电压等方式。
29.同轴定位单元105，用于将激光束的焦点定位至加工位置，便于精确调整阻值、电压、电流及电路信号等参数。
30.运动控制单元106具备控制基本的内置测量系统，还可通过 rs232接口或gpib（general
‑
purpose interface bus，gpib） 接口连接外部的测量仪器，如数字万用表，可编程电源，电子负载，压力控制器，示波器等。
31.视频显示单元107，用于设置视野范围及视觉定位精度的参数，例如视野范围可以是8mm*6mm的区域，视觉定位精度可以是
±
10um。
32.本发明的激光调阻系统将一束聚焦的激光在电脑的控制下定位到待调的电阻基片上，切割电阻基片，使电阻浆料层受激光加热气化，形成一定深度的刻痕，从而改变电阻体的导电截面积和导电长度，进而将低于目标阻值的电阻体修调到阻值允许的偏差范围内的电阻，在修调的过程中，实时监测被调电阻的阻值，当测量值达到目标值时，测量系统关断激光，测量的对象可以是电阻，电压，电流，电信号等参数的修调。
33.以上本发明的实施例用电阻进行了阐述，本领域技术人员可以理解的是，本发明的激光调阻系统在外接外置的测量仪器后还可以对电压、电流、时间、频率、压力等参数进行精密修调，例如，本系统可以外接数字万用表、可编程电源、电子负载、压力控制器及示波器等外部设备，实现不同参数的修调。