一种具有天线安装结构的针塔及测试头的制作方法

本实用新型涉及半导体器件测试技术领域，特别涉及一种具有天线安装结构的针塔及测试头。

背景技术：

集成电路的制作工艺复杂，投入成本也非常高昂，为保证集成电路芯片顺利量产，wat(waferacceptancetest,晶圆允收测试)在集成电路量产中起到至关重要的作用，是集成电路生产中不容忽视的关键环节。wat测试设备包括测试机和探针台，探针台上设置有测试头，测试头通过电缆与测试机稳定连接。此外，所述wat测试设备还包括探针卡，探针卡是测试机与待测晶圆之间的媒介，探针卡上设置有探针，测试头上的弹簧针和探针卡上的探针接触连通，由此实现待测晶圆与测试机的连接并进行wat测试。

在测试时，根据待测晶圆内部结构的不同需要选用不同的探针卡进行测试，为了对所述探针卡进行识别，通常在所述探针卡上设置信号识别装置，为了方便说明，本申请中以rfid为例。rfid等信号识别技术在金属环境中应用时，金属对读写器的反射性及屏蔽性使标签的读取率不稳定，且传统rfid识别wat测试探针卡的方法是将rfid固定在探针卡上，占据了探针卡上方的空间，同时安装不当也会造成探针卡的损坏，限制了rfid技术的探针台上的使用。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的全部或部分不足，提供一种安装方便、可以准确读取、方便用户及时了解探针卡信息的具有天线安装结构的针塔，以及包含所述针塔的测试头。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种具有天线安装结构的针塔，所述针塔与所述天线配合使用，所述天线包括但不限于rfid天线，为了方便说明，本申请中以rfid为例。

所述针塔包括弹簧针、弹簧针固定结构和针座，所述弹簧针通过弹簧针固定结构安装在所述针座中；

所述针座上开设有通槽，所述通槽中安装有固定件，所述固定件将所述天线安装于所述通槽中间，使天线稳固地卡置于针塔中，解决了天线装置在测试头中的安装问题，避免了现有技术中造成探针卡损坏的可能性。

所述针座优选为环形，且采用金属制成，其具有上表面、下表面、内表面和外表面，所述上表面为所述针座远离探针卡的一面，所述下表面为所述针座靠近探针卡的一面，所述内表面为所述针座靠近环形中心的一侧面，所述外表面为所述针座远离环形中心的一侧面。

所述通槽优选为在所述针座上径向设置，进一步地，所述通槽包括相互连通的第一通槽与第二通槽，所述第一通槽位于所述针座的上表面处，所述第二通槽位于所述第一通槽下方。

所述固定件优选为非金属固定件，以降低金属环境对信号探测的影响，进一步地，所述非金属固定件优选为非金属缓冲块或固定胶水。所谓缓冲就是金属固定件具有一定的弹性，可以形成过盈配合。

所述第一通槽两侧壁分别设有固定件，所述固定件为所述非金属缓冲块，所述非金属缓冲块靠近所述针座内表面的一面为斜面，两侧壁所述非金属缓冲块在所述针座内表面处形成喇叭状开口，以使天线能更好、更多地收发信号，进一步地，所述非金属缓冲块上也设置有弹簧针，从而增加了测试通道。

安装时，用粘接剂将所述天线固定在所述非金属缓冲块中间的位置；和/或所述非金属缓冲块的下表面宽度大于所述第一通槽单侧底面的宽度，所述非金属缓冲块与所述天线形成过盈配合，从而使所述天线稳固地卡置于所述非金属缓冲块中间。

所述针座轴向还开有第三通槽，其位于所述第一通槽与所述第二通槽靠近所述针座内表面的一端，如此设定可以更准确地接收/发射来自电子标签的无线信号。进一步的，所述第三通槽靠近所述针座内表面一侧的宽度大于远离所述针座内表面一侧的宽度，形成外宽内窄结构，可以进一步降低信号屏蔽，能更准确地接收/发射来自电子标签的无线信号。

所述第一通槽的高度优选大于所述第二通槽的高度，可以减少金属针座对rfid信号的影响，且所述第一通槽的宽度优选大于所述第二通槽的宽度，可以增加整个针座的牢固度。

此外，所述第一通槽与所述第二通槽的高度之和优选为小于所述针座的厚度，使得所述针座在所述下表面上、对应于所述第二通槽的位置处有连续部，也加强了针座的牢固度。优选地，所述连续部上开设有通孔，所述天线穿过所述通孔垂直被所述非金属固定件固定安装。

所述针座的下表面上开设有凹槽，射频电缆穿过所述凹槽与所述天线相连接，所述凹槽对射频电缆起到固定作用，进一步地，所述凹槽位于所述第三通槽与所述通孔之间。

此外，本实用新型同时提供了一种包含前述针塔的测试头，所述测试头的其他结构已记载于本申请人的在先公开专利（参见cn111060805a）中，此处不再赘述。

本实用新型的有益效果在于：通过在针塔的针座上设置通槽，通槽中安装有固定件，采用固定件将天线安装于所述通槽中间，从而使天线稳固地卡置于针塔中，解决了天线装置在测试头中的安装问题，避免了现有技术中造成探针卡损坏的可能性。优选地，所述固定件为非金属缓冲块，所述通槽包括相互连通的第一通槽与第二通槽，所述第一通槽位于所述针座的上表面处，所述第二通槽位于所述第一通槽下方，在针塔的针座上还设置有第三通槽，通过设置第一通槽的高度大于第二通槽的高度、第三通槽采用外宽内窄结构，且所述非金属缓冲块在针座内表面处形成喇叭状开口，可以减少金属针座对信号的影响，使得天线能更好、更多地接收/发射来自电子标签的无线信号，方便准确地进行探针卡信息的读取，大大提升了设备的可靠性。

附图说明

图1本实用新型一较佳具体实施方式的针塔局部俯视结构示意图。

图2本实用新型一较佳具体实施方式的针塔剖视结构示意图。

图3本实用新型一较佳具体实施方式的针塔局部仰视结构示意图。

图中的附图标记为：1、内表面；2、针座；3、弹簧针；4、外表面；5、通孔；6、弹簧针固定结构；7、上表面；8、下表面；9、第一通槽；10、非金属缓冲块；11、第二通槽；12、凹槽；13、第三通槽；14、螺丝安装孔。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式作进一步地详细说明，为了方便说明，本实用新型中以rfid为例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了方便描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有的特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1-3所示，一种具有rfid天线安装结构的针塔，所述针塔与所述rfid天线配合使用，所述针塔包括弹簧针固定结构6、针座2、弹簧针3和非金属缓冲块10，所述弹簧针3通过所述弹簧针固定结构6安装在所述针座2中，所述弹簧针固定结构6上设置有螺丝安装孔14。

所述针座2采用金属材料制成，且为本领域习知的环形，因此，图1、图3中仅示出针座2的局部结构，所述针座2具有上表面7、下表面8、内表面1和外表面4，所述上表面7为所述针座2远离探针卡的一面，所述下表面8为所述针座2靠近探针卡的一面，所述内表面1为所述针座2靠近环形中心的一侧面，所述外表面4为所述针座2远离环形中心的一侧面。

所述针座2上径向开设有相互连通的第一通槽9与第二通槽11，所述第一通槽9的高度大于所述第二通槽11的高度，所述第一通槽9的宽度大于所述第二通槽11的宽度，且所述第一通槽9位于所述针座2的上表面7处，所述第二通槽11位于所述第一通槽9下方。

所述非金属缓冲块10有两个，且在两个所述非金属缓冲块10的外表面上均设置有弹簧针3，所述rfid天线垂直安装在两个非金属缓冲块中间，单个所述非金属缓冲块10靠近针座内表面1的一面为斜面，两个所述非金属缓冲块10在针座内表面1处形成喇叭状开口。

所述第一通槽9与所述第二通槽11的高度之和小于所述针座2的厚度，使得所述针座2在所述下表面8上、对应于所述第二通槽11的位置处有金属连续部，该金属连续部上开设有通孔5，所述rfid天线穿过所述通孔5垂直安装于两个所述非金属缓冲块10中间。

进一步地，用粘接剂将所述rfid天线固定在两个所述非金属缓冲块10中间；和/或设置单个所述非金属缓冲块10的下表面宽度大于所述第一通槽9单侧底面的宽度，两个所述非金属缓冲块10与所述rfid天线形成过盈配合，从而使所述rfid天线稳固地卡置于两个所述非金属缓冲块10中间。

所述针座2在内表面1处轴向开有第三通槽13，所述第三通槽13为等腰梯形体结构，其位于第一通槽9与第二通槽11靠近针座2内表面1的一端，所述第三通槽13靠近针座2内表面1一侧的宽度大于远离针座2内表面1一侧的宽度，形成外宽内窄结构；所述针座2的下表面8上开设有凹槽12，所述凹槽12位于所述第三通槽13与所述通孔5之间，射频电缆穿过所述凹槽12与所述rfid天线相连接。

此外，本实用新型同时提供了一种包含前述针塔的测试头，所述测试头的其他结构已记载于本申请人的在先公开专利（参见cn111060805a）中，此处不再赘述。

上面阐述的实施例代表允许本领域技术人员实践本实用新型的必要信息，并且示出实践本实用新型的最佳方式。一旦根据附图阅读了以上描述，本领域技术人员就将理解本实用新型的构思并且将认识到此处未特别阐明的这些构思的应用。应当理解，这些构思和应用落入本实用新型公开和所附权利要求书的范围。