一种双工位自动晶圆盒开盖机的制作方法

本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体涉及一种双工位自动晶圆盒开盖机。

背景技术：

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。

对晶圆盒内的半导体进行深加工时，需要将晶圆盒打开，取出里面的晶圆，在现有技术中，通常由人工手动打开晶圆盒，该种打开方式不但操作较为繁琐，还存在在打开过程中导致空气中的灰尘对晶圆造成污染的情况，另一方面，手动操作容易损坏晶圆盒，不利于晶圆盒的再次利用。

因此，发明一种双工位自动晶圆盒开盖机很有必要。

技术实现要素：

为此，本实用新型提供一种双工位自动晶圆盒开盖机，通过设置开盖机构，利用多个电动推杆的配合，以机械的取代人工打开晶圆盒，以解决人工手动打开晶圆盒，操作较为繁琐，打开过程中导致空气中的灰尘对晶圆造成污染的情况的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种双工位自动晶圆盒开盖机，包括两条输送带，还包括：

外壳组件，所述外壳组件包括框架，所述框架的侧壁和顶部均固定连接有透明玻璃，所述框架的下端固定连接有控制柜，所述框架的内壁固定连接有两根滑轨，且滑轨的上表面滑动连接有开盖机构，所述框架的一侧嵌设有控制面板，且控制面板与控制柜电性连接设置；

所述开盖机构包括两个支撑架，两个所述支撑架的一侧侧板固定连接有滑杆，且滑杆与滑轨滑动连接设置，其中一个所述滑轨的一侧固定连接有第一电动推杆，且第一电动推杆与支撑架固定连接，所述支撑架的内壁固定连接有第二电动推杆，且第二电动推杆的下端固定连接有门字形支架，每个所述门字形支架的下端固定连接有两个对称设置的第三电动推杆，且两个第三电动推杆相互靠近的一端均固定连接有拨片。

优选的，所述输送带的上表面开设有两排平行设置的限位槽，且输送带通过导线与控制柜电性连接。

优选的，所述框架的一侧固定连接有接料板，且接料板靠近开盖机构设置。

优选的，所述框架为铝型材材质，所述透明玻璃为钢化玻璃材质。

优选的，所述框架的一侧固定连接有报警灯，且报警灯通过导线与控制柜电性连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置外壳组件，可以利用框架配合透明玻璃，从而对晶圆进行保护，可以避免在打开晶圆盒时及打开晶圆盒后，空气中的灰尘污染晶圆，另一方面，通过设置设置开盖机构，利用多个电动推杆的配合，以机械的取代人工打开晶圆盒，自动化程度较高，可以配合流水线高速生产，提高了生产效率，并且不易损坏晶圆盒，方便晶圆盒的反复利用。

2、本实用新型中，通过设置限位槽，可以对输送带伤的晶圆盒进行限位，从而更好的配合开盖机构进行打开晶圆盒的操作，通过设置接料板，用于承接晶圆盒盒盖，从而对盒盖进行回收，方便再次使用，减少不必要的浪费和降低晶圆包装成本。

附图说明

图1为本实用新型提供的整体结构示意图；

图2为本实用新型提供的局部结构示意图；

图3为本实用新型提供的主视结构示意图；

图4为图3中a处的放大结构示意图；

图中：1、输送带；2、框架；3、透明玻璃；4、滑轨；5、控制面板；6、支撑架；7、滑杆；8、第一电动推杆；9、第二电动推杆；10、门字形支架；11、第三电动推杆；12、拨片；13、接料板；14、报警灯；15、晶圆盒；16、控制柜。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1，参照附图1-4，本实用新型提供的一种双工位自动晶圆盒开盖机，包括两条输送带1，还包括：

外壳组件，所述外壳组件包括框架2，所述框架2的侧壁和顶部均固定连接有透明玻璃3，所述框架2的下端固定连接有控制柜16，所述框架2的内壁固定连接有两根滑轨4，且滑轨4的上表面滑动连接有开盖机构，所述框架2的一侧嵌设有控制面板5，且控制面板5与控制柜16电性连接设置；

所述开盖机构包括两个支撑架6，两个所述支撑架6的一侧侧板固定连接有滑杆7，且滑杆7与滑轨4滑动连接设置，其中一个所述滑轨4的一侧固定连接有第一电动推杆8，且第一电动推杆8与支撑架6固定连接，所述支撑架6的内壁固定连接有第二电动推杆9，且第二电动推杆9的下端固定连接有门字形支架10，每个所述门字形支架10的下端固定连接有两个对称设置的第三电动推杆11，且两个第三电动推杆11相互靠近的一端均固定连接有拨片12。

进一步地，所述输送带1的上表面开设有两排平行设置的限位槽，且输送带1通过导线与控制柜16电性连接，限位槽用于对晶圆盒15进行定位，从而配合开盖机构运行，保证开盖机构可以准确的打开晶圆盒15的盒盖。

进一步地，所述框架2的一侧固定连接有接料板13，且接料板13靠近开盖机构设置，在打开晶圆盒15的盒盖后，开盖机构可以在第一电动推杆8的带动下，将晶圆盒15的盒盖移动到接料板13上，从而对晶圆盒15的盒盖进行收集和再次利用。

进一步地，所述框架2为铝型材材质，所述透明玻璃3为钢化玻璃材质。

进一步地，所述框架2的一侧固定连接有报警灯14，且报警灯14通过导线与控制柜16电性连接，通过设置报警灯14，可以配合控制柜16内的自动化设备运行，在晶圆盒开盖机出现故障时，及时发出警报。

本实用新型的使用过程如下：在使用本实用新型时，首先将晶圆盒15依次放置在两个输送带1上，并启动晶圆盒开盖机，两个输送带1交替运行，其中一个当输送带1将晶圆盒15输送到开盖机构机构下方后，控制柜16控制第一电动推杆8伸缩，带动支撑架6移动到晶圆盒15的上方，然后第二电动推杆9伸长，使两个拨片12移动到晶圆盒15盒盖的下方，然后控制两个第三电动推杆11伸长，使第三电动推杆11移动至晶圆盒15盒盖的位置，再控制第二电动推杆9短距离收缩，使拨片12与晶圆盒15盒盖两侧的卡块相互靠近的一侧相抵，再控制第三电动推杆11收缩，这时候拨片12带动晶圆盒15盒盖两侧的卡块相互脱离，从而将晶圆盒15盒盖与晶圆盒15的盒体分离，然后控制第二电动推杆9收缩，从而完成开盖了流程，随后第一电动推杆8带动支撑架6移动至接料板13上方，再控制第三电动推杆11收缩。这时晶圆盒15盒盖在重力的作用下掉落在接料板13上，与此同时，两个输送带1继续交替运行，将晶圆盒15移动到支撑架6下方的位置，从而提高开盖效率，该种双工位自动晶圆盒开盖机操作简单，自动化程度高，生产效率较高，具有较大的实用性，可以便于半导体企业进行生产。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本实用新型要求保护的范围。

技术特征：

1.一种双工位自动晶圆盒开盖机，包括两条输送带(1)，其特征在于：还包括：

外壳组件，所述外壳组件包括框架(2)，所述框架(2)的侧壁和顶部均固定连接有透明玻璃(3)，所述框架(2)的下端固定连接有控制柜(16)，所述框架(2)的内壁固定连接有两根滑轨(4)，且滑轨(4)的上表面滑动连接有开盖机构，所述框架(2)的一侧嵌设有控制面板(5)，且控制面板(5)与控制柜(16)电性连接设置；

所述开盖机构包括两个支撑架(6)，两个所述支撑架(6)的一侧侧板固定连接有滑杆(7)，且滑杆(7)与滑轨(4)滑动连接设置，其中一个所述滑轨(4)的一侧固定连接有第一电动推杆(8)，且第一电动推杆(8)与支撑架(6)固定连接，所述支撑架(6)的内壁固定连接有第二电动推杆(9)，且第二电动推杆(9)的下端固定连接有门字形支架(10)，每个所述门字形支架(10)的下端固定连接有两个对称设置的第三电动推杆(11)，且两个第三电动推杆(11)相互靠近的一端均固定连接有拨片(12)。

2.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机，其特征在于：所述输送带(1)的上表面开设有两排平行设置的限位槽，且输送带(1)通过导线与控制柜(16)电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机，其特征在于：所述框架(2)的一侧固定连接有接料板(13)，且接料板(13)靠近开盖机构设置。

4.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机，其特征在于：所述框架(2)为铝型材材质，所述透明玻璃(3)为钢化玻璃材质。

5.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机，其特征在于：所述框架(2)的一侧固定连接有报警灯(14)，且报警灯(14)通过导线与控制柜(16)电性连接。

技术总结
本实用新型公开了一种双工位自动晶圆盒开盖机，其技术方案是：包括两条输送带，还包括外壳组件，所述外壳组件包括框架，所述框架的侧壁和顶部均固定连接有透明玻璃，所述框架的下端固定连接有控制柜，所述框架的内壁固定连接有两根滑轨，该种双工位自动晶圆盒开盖机有益效果是：通过设置外壳组件，可以利用框架配合透明玻璃，从而对晶圆进行保护，可以避免在打开晶圆盒时及打开晶圆盒后，空气中的灰尘污染晶圆，另一方面，通过设置设置开盖机构，利用多个电动推杆的配合，以机械的取代人工打开晶圆盒，自动化程度较高，可以配合流水线高速生产，提高了生产效率，并且不易损坏晶圆盒，方便晶圆盒的反复利用。

技术研发人员：曹承余
受保护的技术使用者：苏州英叶达智能设备科技有限公司
技术研发日：2020.11.16
技术公布日：2021.05.07