技术特征：
1.一种载物台，其特征在于，包括：轴；所述轴上的第一支撑板；加热器，其配置于所述第一支撑板内所形成的槽内；以及气体供应管，其配置在所述轴内且构成为向所述第一支撑板吹送气体。2.根据权利要求1所述的载物台，其中，所述第一支撑板具有圆盘形状，平行于所述第一支撑板的表面的所述气体供应管的截面与所述圆盘形状的中心重叠。3.根据权利要求1所述的载物台，其中，所述第一支撑板构成为阻挡所述气体且将所述气体不排放到所述载物台所配置的腔室内。4.根据权利要求1所述的载物台，其中，在所述第一支撑板上还包括第二支撑板。5.根据权利要求1所述的载物台，其中，：在所述第一支撑板下还包括第三支撑板，所述第一支撑板具有用于循环流体的流路。6.根据权利要求1所述的载物台，其中，所述第一支撑板具有与所述轴不重叠的通孔。7.根据权利要求1所述的载物台，其中，还包括：围绕所述气体供应管的多个气体排放管。8.一种基板温度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：将基板配置于具备第一支撑板和所述第一支撑板下的轴的载物台的步骤；使用形成于所述第一支撑板内的槽内所配置的加热器来对所述第一载物台进行加热的步骤；以及从配置于所述轴内的气体供应管向所述第一支撑板吹送气体的步骤。9.根据权利要求8所述的基板温度控制方法，其中，所述第一支撑板具有圆盘形状，所述气体的所述吹送是以使所述第一支撑板的中心的温度变得低于所述第一支撑板的外周部的温度的方式进行。10.根据权利要求8所述的基板温度控制方法，其中，所述第一支撑板具有圆盘形状，所述气体供应管配置为平行于所述第一支撑板的表面的所述气体供应管的截面与所述圆盘形状的中心重叠。11.根据权利要求8所述的基板温度控制方法，其中，还包括：将所述气体排放到所述腔室外，使得所述气体不排放到所述载物台所配置的腔室内的步骤。12.根据权利要求8所述的基板温度控制方法，其中，还包括：使流体流过形成在所述第一支撑板的流路。
技术总结
载物台包括：轴；轴上的第一支撑板；加热器，其配置于第一支撑板内所形成的槽内；以及气体供应管，其配置在轴内且构成为向第一支撑板吹送气体。第一支撑板可以具有圆盘形状，平行于第一支撑板表面的气体供应管的截面可以与圆盘形状的中心重叠。第一支撑板可以构成为阻挡所述气体并且将所述气体不排放到载物台所配置的腔室内。所配置的腔室内。所配置的腔室内。
技术研发人员：木田直哉 巽新 关谷健二 相川尚哉 高梨雅也
受保护的技术使用者：日本发条株式会社
技术研发日：2020.07.28
技术公布日：2022/2/24