引线张力调整方法及引线张力调整装置与流程

本公开涉及一种对打线结合装置的引线(wire)施加的张力的调整方法以及引线张力调整装置的结构。

背景技术：

1、业界正利用打线结合(wire bonding)装置，所述打线结合装置通过金属的引线将半导体芯片的电极与基板的电极连接。打线结合装置中，可使用在结合中对引线给予既定张力的引线张力器(wire tensioner)。引线张力器设有引线从卷盘(spool)侧贯通至瓷嘴侧的引线通路，在所述引线通路向上流动空气，通过向上的空气流将引线向上方抽拉，由此对引线施加张力 (例如参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本专利第6149235号说明书

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、再者，通过引线张力器对引线施加的张力视空气的流量而变化，若流量多则张力变大，若流量少则张力变小。

3、在打线结合中，为了形成既定形状的线弧(wire loop)形状，必须将引线的张力调整为既定的大小。所述调整大多情况下通过下述方式进行：在将引线的一端固定于电子天秤的状态下在引线张力器流动空气，测定空气的流量与对引线施加的张力的关系。

4、然而，在对打线结合装置组入引线张力器后，有时难以在打线结合装置安装电子天秤而测定引线的张力。在所述情形时，需要卸除引线张力器而进行张力的调整，有张力的调整耗费时间及精力等问题。

5、因此，本公开的目的在于，在对打线结合装置组入有引线张力器的状态下，简便地进行对引线施加的张力的调整。

6、解决问题的技术手段

7、本公开的引线张力调整方法调整对打线结合装置的引线施加的张力，所述打线结合装置包括：结合臂，旋转自如地安装于结合头，顶端可在上下方向移动；引线夹，安装于结合臂，进行保持于顶端的结合工具中所穿插的引线的握持、解放；引线张力器，通过空气流对引线施加张力；空气流量检测器，检测对引线张力器供给的空气的流量；高度位置检测器，检测结合臂的顶端的高度位置；以及弹簧构件，产生和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩，且所述引线张力调整方法的特征在于包括：高度检测工序，在以引线夹握持引线的状态下对引线张力器供给空气，通过高度位置检测器来检测由引线的张力所得的结合臂的旋转方向的旋转力矩、与由弹簧构件所得的和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩均衡的、结合臂的顶端的高度位置；以及调整工序，基于所检测的高度位置来调整对引线张力器供给的空气的流量，由此调整对引线施加的张力。

8、如此，本公开的引线张力调整方法检测结合臂的顶端的高度位置，基于所检测的高度位置来调整对引线张力器供给的空气的流量，调整对引线施加的张力，故而可在对打线结合装置组入有引线张力器的状态下，简便地进行对引线施加的张力的调整。

9、在本公开的引线张力调整方法中，高度检测工序也可将对引线张力器供给的空气的流量作为基准空气流量来检测结合臂的顶端的高度位置，调整工序基于所检测的结合臂的顶端的高度位置、与结合臂的顶端的基准高度位置的比率，修正对引线张力器供给的空气的流量，调整对引线施加的张力。

10、由此，可简便地进行引线张力的调整。

11、在本公开的引线张力调整方法中，也可在调整工序之后，将经修正的流量的空气供给于引线张力器并执行高度检测工序，在所检测的结合臂的顶端的高度位置与基准高度位置的差超过阈值范围的情形时，再次执行高度检测工序及调整工序。

12、由此，可更准确地进行对引线施加的张力的调整。

13、在本公开的引线张力调整方法中，高度检测工序也可在对引线张力器供给的空气的多个流量下多次检测结合臂的顶端的高度位置，调整工序算出在各流量下所检测的结合臂的顶端的各高度位置、与各流量下的结合臂的顶端的各基准高度位置的各比率，基于所算出的各比率来修正对引线张力器供给的空气的各流量，生成对相对于经修正的各流量的、结合臂的顶端的各基准高度位置进行规定的近似曲线，基于所生成的近似曲线来调整对引线施加的张力。

14、如此，生成对相对于对引线张力器供给的空气的流量的、结合臂顶端的高度位置进行规定的近似曲线，基于所生成的近似曲线来调整引线的张力，故而可根据引线的线径、材质等来设定结合所需要的引线的张力。

15、在本公开的引线张力调整方法中，也可对引线张力器供给经修正的各流量的空气并检测结合臂的顶端的各高度位置，在各流量下所检测的各高度位置与各流量下的各基准高度位置各自的差超过各阈值范围的情形时，再次执行高度检测工序及调整工序。

16、由此，可更准确地进行对引线施加的张力的调整。

17、本公开的引线张力调整方法调整对打线结合装置的引线施加的张力，所述打线结合装置包括：结合臂，旋转自如地安装于结合头，顶端可在上下方向移动；引线夹，安装于结合臂，进行保持于顶端的结合工具中所穿插的引线的握持、解放；引线张力器，通过空气流对引线施加张力；空气流量检测器，检测对引线张力器供给的空气的流量；高度位置检测器，检测结合臂的顶端的高度位置；以及弹簧构件，产生和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩，且所述引线张力调整方法的特征在于包括：检测工序，在以引线夹握持引线的状态下，一方面使对引线张力器供给的空气的流量变化，一方面通过高度位置检测器来检测由引线的张力所得的结合臂的旋转方向的旋转力矩、与由弹簧构件所得的和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩均衡的、结合臂的顶端的多个高度位置及空气的多个流量；以及调整工序，生成对相对于所检测的各流量的、所检测的结合臂的顶端的各高度位置进行规定的近似曲线，基于所生成的近似曲线来调整对引线施加的张力。

18、如此，同时检测对引线张力器供给的空气的流量与结合臂的顶端的高度位置，生成对相对于对引线张力器供给的空气的流量的、结合臂顶端的高度位置进行规定的近似曲线，故而可简便地生成近似曲线。而且，基于所生成的近似曲线来调整引线的张力，故而可根据引线的线径、材质等来设定结合所需要的引线的张力。

19、在本公开的引线张力调整方法中，弹簧构件也可为使两片弹簧板交叉成十字型而成的十字板弹簧，结合臂绕沿着两片弹簧板交叉的线的轴旋转自如地安装于结合头。

20、由此，可利用简便的结构来构成产生和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩的、弹簧构件。

21、本公开的引线张力调整装置用于打线结合装置，所述打线结合装置包括：结合臂，旋转自如地安装于结合头，顶端可在上下方向移动；引线夹，安装于结合臂，进行保持于顶端的结合工具中所穿插的引线的握持、解放；引线张力器，通过空气流对引线施加张力；空气流量检测器，检测对引线张力器供给的空气的流量；高度位置检测器，检测结合臂的顶端的高度位置；以及弹簧构件，产生和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩，且所述引线张力调整装置调整对引线施加的张力，其特征在于，在以引线夹握持引线的状态下对引线张力器供给空气，通过高度位置检测器来检测由引线的张力所得的结合臂的旋转方向的旋转力矩、与由弹簧构件所得的和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩均衡的、结合臂的顶端的高度位置，基于所检测的高度位置来调整对引线张力器供给的空气的流量，由此调整对引线施加的张力。

22、在本公开的引线张力调整装置中，也可将对引线张力器供给的空气的流量作为基准空气流量并通过高度位置检测器来检测结合臂的顶端的高度位置，基于所检测的结合臂的顶端的高度位置、与结合臂的顶端的基准高度位置的比率，修正对引线张力器供给的空气的流量，调整对引线施加的张力。

23、在本公开的引线张力调整装置中，也可在由空气流量检测器所检测的、对引线张力器供给的空气的多个流量下，利用高度位置检测器多次检测结合臂的顶端的高度位置，算出在各流量下检测的结合臂的顶端的各高度位置、与各流量下的结合臂的顶端的各基准高度位置的各比率，基于所算出的各比率来修正对引线张力器供给的空气的各流量，生成对相对于经修正的各流量的、结合臂的顶端的各基准高度位置进行规定的近似曲线，基于所生成的近似曲线来调整对引线施加的张力。

24、本公开的引线张力调整装置用于打线结合装置，所述打线结合装置包括：结合臂，旋转自如地安装于结合头，顶端可在上下方向移动；引线夹，安装于结合臂，进行保持于顶端的结合工具中所穿插的引线的握持、解放；引线张力器，通过空气流对引线施加张力；空气流量检测器，检测对引线张力器供给的空气的流量；高度位置检测器，检测结合臂的顶端的高度位置；以及弹簧构件，产生和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩，且所述引线张力调整装置调整对引线施加的张力，其特征在于，在以引线夹握持引线的状态下，一方面使对引线张力器供给的空气的流量变化，一方面通过高度位置检测器来检测由引线的张力所得的结合臂的旋转方向的旋转力矩、与由弹簧构件所得的和结合臂的旋转方向为相反方向的旋转力矩均衡的、结合臂的顶端的多个高度位置，并且通过空气流量检测器来检测对引线张力器供给的空气的多个流量，生成对相对于所检测的各流量的、所检测的结合臂的顶端的各高度位置进行规定的近似曲线，基于所生成的近似曲线来调整对引线施加的张力。

25、在本公开的引线张力调整装置中，打线结合装置的弹簧构件也可为使两片弹簧板交叉成十字型而成的十字板弹簧，结合臂绕沿着两片弹簧板交叉的线的轴旋转自如地安装于结合头。

26、发明的效果

27、本公开可在对打线结合装置组入有引线张力器的状态下，简便地进行对引线施加的张力的调整。