技术特征：
1.一种多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，包括中央处理器、主控单元、称重单元、图像捕获单元、阅读器和电子标签；所述主控单元、称重单元和阅读器设置在集成底座上；电子标签固定在运送晶圆的载具上，用于记录物料传输数据；载具与集成底座可拆卸连接，且载具与集成底座同步运输；称重单元用于测量载具内物料的重量并得到重量数据；图像捕获单元固定在运送晶圆的载具上，用于拍摄载具内部及周边的影像，得到影像数据；主控单元通过阅读器对电子标签进行读写，主控单元对重量数据及影像数据进行处理并判断传输状态，主控单元与中央处理器信息交互并上传。2.如权利要求1所述的多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，主控单元还与暂存存储单元连接，所述主控单元将重量数据和影像数据存储在暂存存储单元内。3.如权利要求2所述的多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，所述主控单元将暂存存储单元内的数据与中央处理器交互并上传、且物料结束传输后，暂存存储单元内的数据进行删除。4.如权利要求1所述的多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，在物料传输过程中，称重单元实时测量物料重量并生成称重曲线，并通过主控单元判断物料在传输过程中的平稳状态，当重量数据出现波动时，进行记录触发，标记重量数据对应的时间节点并记录该时间节点下天车当前移动所在位置或者小车当前移动所在位置；对重量数据进行波动范围设定，超过波动范围时，进行记录触发。5.如权利要求4所述的多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，当重量数据出现较大波动时，主控单元对应时间节点前后一段时间内的影像数据进行截取并存储。6.如权利要求4所述的多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，当天车或者小车停止与加工设备前，且重量数据出现波动时，不进行记录触发。7.如权利要求1所述的多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，在天车和小车的行驶路径中标记波动干扰节点，重量数据出现波动且天车和小车位置位于波动干扰节点时，不进行记录触发。8.如权利要求1所述的多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，图像捕获单元包括多个摄像头，且至少一个摄像头用于人像识别。9.如权利要求1所述的多维度监控的物料传输控制方法，其特征在于，电子标签内设置有与当前物料对应的唯一身份识别码，小车和天车上的阅读器无权限修改唯一身份识别码。
技术总结
本发明公开了一种多维度监控的物料传输控制方法，包括中央处理器、主控单元、称重单元、图像捕获单元、阅读器和电子标签；所述主控单元、称重单元和阅读器设置在集成底座上；电子标签固定在运送晶圆的载具上，用于记录物料传输数据；载具与集成底座可拆卸连接，且载具与集成底座同步运输；称重单元用于测量载具内物料的重量并得到重量数据；图像捕获单元固定在运送晶圆的载具上，用于拍摄载具内部及周边的影像，得到影像数据；主控单元通过阅读器对电子标签进行读写，主控单元还对重量数据及影像数据进行处理并与中央处理器信息交互并上传。本发明能够对物料的整个传输过程进行监控和警示，便于快速处理。便于快速处理。便于快速处理。
技术研发人员：孙俊杰 付斌
受保护的技术使用者：江苏道达智能科技有限公司
技术研发日：2022.04.06
技术公布日：2022/7/21