一种多维度监控的物料传输控制方法与流程

1.本发明涉及半导体制备技术领域，具体涉及一种多维度监控的物料传输控制方法。


背景技术：

2.半导体制备首先是芯片设计，根据设计的需求，生成的“图样”，然后制作晶圆、晶圆涂膜、晶圆光刻显影、蚀刻、离子注入、晶圆测试和封装。将制造完成的晶圆固定，绑定引脚，然后根据用户的应用习惯、应用环境、市场形式等外在因素采用各种不同的封装形式；同种芯片内核可以有不同的封装形式。
3.这些高端精细的制备过程对芯片的生产环境和设备要求是极高的，需要进行超强真空处理、浸泡、高能等离子体加工、紫外光照射等一系列步骤，同时还要经过数百个制造阶段，并且还需要在无尘空间内进行，技术人员在进入以前，必须穿上防护服，戴上面具、护目镜、两幅手套以及将鞋完全套住的塑胶袋，以保证制备环境的洁净度。
4.基于自动化生产的需求，物料自动传输流转是高效生产的前提，但是由于需要经过较多的工序，在传输流转过程中，容易出现因信息传递不良导致无法进行下一步动作，需要人工介入，极大影响物料传输效率。


技术实现要素：

5.本发明要解决的技术问题是提供一种多维度监控的物料传输控制方法，能够对物料的整个传输过程进行监控和警示，便于快速处理。
6.为了解决上述技术问题，本发明提供了一种多维度监控的物料传输控制方法，包括中央处理器、主控单元、称重单元、图像捕获单元、阅读器和电子标签；所述主控单元、称重单元和阅读器设置在集成底座上；
7.电子标签固定在运送晶圆的载具上，用于记录物料传输数据；载具与集成底座可拆卸连接，且载具与集成底座同步运输；称重单元用于测量载具内物料的重量并得到重量数据；图像捕获单元固定在运送晶圆的载具上，用于拍摄载具内部及周边的影像，得到影像数据；主控单元通过阅读器对电子标签进行读写，主控单元还对重量数据及影像数据进行处理并判断传输状态，主控单元与中央处理器信息交互并上传。
8.进一步的，主控单元还与暂存存储单元连接，所述主控单元将重量数据和影像数据存储在暂存存储单元内。
9.进一步的，所述主控单元将暂存存储单元内的数据与中央处理器交互并上传、且物料结束传输后，暂存存储单元内的数据进行删除。
10.进一步的，在物料传输过程中，称重单元实时测量物料重量并生成称重曲线，并通过主控单元判断物料在传输过程中的平稳状态，当重量数据出现波动时，进行记录触发，标记重量数据对应的时间节点并记录该时间节点下天车当前移动所在位置或者小车当前移动所在位置；对重量数据进行波动范围设定，超过波动范围时，进行记录触发。
11.进一步的，当重量数据出现较大波动时，主控单元对应时间节点前后一段时间内的影像数据进行截取并存储。
12.进一步的，当天车或者小车停止与加工设备前，且重量数据出现波动时，不进行记录触发。
13.进一步的，在天车和小车的行驶路径中标记波动干扰节点，重量数据出现波动且天车和小车位置位于波动干扰节点时，不进行记录触发。
14.进一步的，图像捕获单元包括多个摄像头，且至少一个摄像头用于人像识别。
15.进一步的，电子标签内设置有与当前物料对应的唯一身份识别码，小车和天车上的阅读器无权限修改唯一身份识别码。
16.本发明的有益效果：
17.通过称重单元能够实时掌控载具内晶圆的数量，从而在出现掉落、碰撞以及少数量时，能够及时发现问题，检测成本低。
18.图像捕获单元能够在传输时实时抓取环境图像，根据图像可以快速的确定传输问题的原因，起到快速直达问题症结所在，直观有效。
附图说明
19.图1是本发明多维度监控的物料传输控制方法的控制框图。
具体实施方式
20.下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
21.参照图1所示，本发明的多维度监控的物料传输控制方法的一实施例，包括中央处理器、主控单元、称重单元、图像捕获单元、阅读器和电子标签；所述主控单元、称重单元和阅读器设置在集成底座上；电子标签固定在运送晶圆的载具上，用于记录物料传输数据；
22.载具与集成底座可拆卸连接，载具放置在集成底座上后与集成底座形成一体结构，能够被小车运载，也可以被天车运载，当需要进行更换不同尺寸的载具时，将载具拆卸下，然后换上不同尺寸的载具即可；
23.称重单元用于测量载具内物料的重量并得到重量数据，测量时为载具与物料的总重量，通过减去载具重量获得物料的重量；图像捕获单元固定在运送晶圆的载具上，用于拍摄载具内部及周边的影像，得到影像数据，由于需要减少拍摄阻挡，设置在载具上后拍摄位置和角度调节灵活可靠，具体的，图像捕获单元包括多个摄像头，且至少一个摄像头用于人像识别；
24.主控单元控制阅读器对电子标签进行读写，将物料传输过程中的信息写入电子标签内，主控单元还对重量数据及影像数据进行处理并与中央处理器信息交互并上传，通过对重量数据和影响数据的监控分析，能够实现从多维度信息入手将物料传输过程牢牢把控，信息精准，整体成本低。
25.上述主控单元还与暂存存储单元连接，主控单元将重量数据和影像数据存储在暂存存储单元内，数据无需直接上传，可以在网络空闲时间进行，降低网络压力。主控单元可以与无线传输单元连接，用于数据传输。主控单元将暂存存储单元内的数据与中央处理器
交互并上传、且物料结束传输后，暂存存储单元内的数据进行删除，传输结束后，删除的时间可以在下一批次物料加工结束后，空余一段时间，以作为备份。
26.在物料传输过程中，称重单元实时测量物料重量并生成称重曲线，并通过主控单元判断物料在传输过程中的平稳状态，通过小车传输时，存在碰撞等问题，通过天车运输时，则比较平稳，称重波动不大，还有当存在人为介入拿取物料时，也会存在波动，因此当重量数据出现波动时，进行记录触发，标记重量数据对应的时间节点并记录该时间节点下天车当前移动所在位置或者小车当前移动所在位置，便于查看发生波动前后的状况，便于快速判断；为了避免运送过程中的轻微抖动触发，对重量数据进行波动范围设定，超过波动范围时，进行记录触发，避免误判。
27.并且当重量数据出现较大波动时，主控单元对应时间节点前后一段时间内的影像数据进行截取并存储，追溯时配合影响，能够更准确的进行定性判断。当天车或者小车停止与加工设备前，且重量数据出现波动时，不进行记录触发，视为取下物料进行加工。
28.当小车出现碰撞或者其他情况，需要由人工介入将物料取下或者检查时，重量数据会发生波动，在进行记录触发的同时，图像捕获单元还可以抓取操作者的人像信息，识别是由谁进行处理解决的，便于后续追踪追责等。
29.为了提高判断波动的精度，在天车和小车的行驶路径中标记波动干扰节点，例如天车在拐弯、小车在过坎时，均可能出现较大波动，因此当重量数据出现波动且天车和小车位置位于波动干扰节点时，不进行记录触发。
30.上述的电子标签内设置有与当前物料对应的唯一身份识别码，小车和天车上的阅读器无权限修改唯一身份识别码，物料的加工工艺与唯一身份识别码绑定并形成物料加工信息，物料加工信息用于设备读取并根据物料加工信息进行自动制备。
31.与现有技术相比，本发明能够通过称重单元能够实时掌控载具内晶圆的数量，从而在出现掉落、碰撞以及少数量时，能够及时发现问题，检测成本低。通过图像捕获单元能够在传输时实时抓取环境图像，根据图像可以快速的确定传输问题的原因，起到快速直达问题症结所在，直观有效。
32.以上实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。