技术特征：
1.一种基板移送装置，包括：下部绝缘层；上部绝缘层，布置在所述下部绝缘层上；多个导电层，布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，并且彼此间隔开；以及多个孔，从所述上部绝缘层的上表面限定到所述下部绝缘层的预定的部分，并且不与所述导电层重叠。2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其中，所述孔不贯通所述下部绝缘层。3.根据权利要求1所述的基板移送装置，其中，当在平面上观察时，所述孔中的每个的截面的圆周被设定为1πmm至30πmm。4.根据权利要求1所述的基板移送装置，其中，所述导电层包括：多个第一电极，具有第一极性；以及多个第二电极，具有与所述第一电极的极性相反的第二极性。5.根据权利要求4所述的基板移送装置，还包括：腔室，所述腔室的内部布置有所述下部绝缘层、所述上部绝缘层和所述导电层。6.根据权利要求5所述的基板移送装置，还包括：基板，布置在所述上部绝缘层上，其中，当所述腔室的内部保持为真空状态时，所述基板通过由所述第一电极和所述第二电极产生的静电力而接触所述上部绝缘层的所述上表面。7.根据权利要求6所述的基板移送装置，其中，当所述腔室的所述内部保持为大气压状态时，所述基板通过所述孔被真空吸附到所述上部绝缘层的所述上表面。8.根据权利要求1所述的基板移送装置，其中，当在平面上观察时，所述孔限定在与所述上部绝缘层的所述上表面的边缘相邻的部分，以及所述孔在所述下部绝缘层中形成为一体的通道。9.根据权利要求8所述的基板移送装置，还包括：孔门，布置在所述下部绝缘层的一个侧面，并且连接到所述孔中的任意一个孔，其中，所述孔门敞开或关闭限定于所述下部绝缘层的内部的所述孔与所述下部绝缘层的外部的连接。10.一种基板移送装置的水分流入防止方法：包括：在布置于真空状态的腔室中的静电卡盘上布置基板的步骤；关闭所述静电卡盘的电源的步骤；将所述腔室的内部转换为大气压状态的步骤；以及通过限定于所述静电卡盘的上表面的多个孔将所述基板真空吸附到所述静电卡盘的所述上表面的步骤，其中，所述静电卡盘包括：下部绝缘层；
上部绝缘层，布置在所述下部绝缘层上；以及多个导电层，布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，其中，所述孔不与所述导电层重叠。
技术总结
本发明公开了一种基板移送装置，其可以包括：下部绝缘层；上部绝缘层，布置在所述下部绝缘层上；多个导电层，布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，并且彼此间隔开；以及多个孔，从所述上部绝缘层的上表面限定到所述下部绝缘层的预定的部分，并且不与所述导电层重叠。叠。叠。
技术研发人员：金钟协
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2022.03.29
技术公布日：2022/10/17