半导体制程的空中轨道系统的制作方法

本发明与轨道传输系统有关，特别是指半导体制程的空中轨道系统。

背景技术：

1、空中运行无人搬运车(oht,overhead hoist transfer)已广泛应用于半导体厂，其可善用环境的立体空间，来优化环境使用率，进而达到较佳的输送效果。

2、如图1及图2所示，oht通过车轮运行在空中轨道系统，并在预定位置拾取半导体传送盒或其他物品，一般来说，预定位置是个制程的半导体传送盒进出端口，通常位在对称的二轨道之间的正下方，以让行走到预定位置上方的oht能降下夹爪来拾取半导体传送盒。

3、但在部分情况中，半导体传送盒没有确实放在预定位置或有错位，例如，位在轨道下方，导致oht的夹爪与轨道相互干涉，而不能拾取半导体传送盒。

技术实现思路

1、有鉴于上述缺失，本发明的半导体制程的空中轨道系统可以解决夹爪与轨道相互干涉问题，以有效地拾取半导体传送盒。

2、为了达成上述目的，本发明的半导体制程的空中轨道系统用以供一运输车移动，包括一第一横向轨道、一第二横向轨道、一第一纵向轨道、一第二纵向轨道、一第三纵向轨道、一驱动装置及一第四纵向轨道。第二横向轨道与第一横向轨道平行且间隔排列。第一纵向轨道连接第一横向轨道及第二横向轨道。第二纵向轨道连接第一横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。第三纵向轨道连接第二横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。驱动装置连接第一横向轨道。第四纵向轨道连接驱动装置，且位在第一横向轨道及第二横向轨道之间。驱动装置用以驱动第四纵向轨道横向移动。

3、上述的空中半导体制程的轨道系统，其中，第一横向轨道包括一第一路面及一第一护栏，第一路面位在第一横向轨道的顶部，且自第一纵向轨道延伸至第一横向轨道的一远端，第一护栏连接第一路面，且自第二纵向轨道的外侧边延伸至第一横向轨道的远端，第二横向轨道包括一第二路面及一第二护栏，第二路面位在第二横向轨道的顶部，且自第一纵向轨道延伸至第二横向轨道的一远端，第二护栏连接第二路面，且自第三纵向轨道的外侧边延伸至第一横向轨道的远端。

4、上述的半导体制程的空中轨道系统，包括一止挡部，连接第一横向轨道的远端及第二横向轨道的远端。

5、上述的半导体制程的空中轨道系统，其中，驱动装置包括一第一线性滑轨、一第一滑块及一第一气压缸，第一线性滑轨连接第一横向轨道，第一滑块连接第一线性滑轨及第四纵向轨道，第一气压缸连接第四纵向轨道，以推动第四纵向轨道沿第一线性滑轨移动。

6、上述的半导体制程的空中轨道系统，其中，驱动装置包括一第二线性滑轨、一第二滑块及一第二气压缸，第二线性滑轨连接第二横向轨道，第二滑块连接第二线性滑轨及第四纵向轨道，第二气压缸连接第四纵向轨道，以推动第四纵向轨道沿第二线性滑轨移动。

7、上述的半导体制程的空中轨道系统，其中，第四纵向轨道包括一第四路面、一底面及一侧面，第四路面与第一横向轨道及第二横向轨道的顶面齐平，第一滑块位在底面，第二滑块位在底面，第一气压缸及第二气压缸位在侧面。

8、如此，本发明的半导体制程的空中轨道系统是允许运输车在纵向轨道上纵向移动，第一横向轨道、第二横向轨道、驱动装置及第四纵向轨道是设置在预定位置。当要拾取的物件(例如半导体传送盒)被纵向轨道干涉时，本发明可通过驱动装置驱动第四纵向轨道横向移动，来允许运输车在横向轨道上横向移动，而拾取被轨道干涉的物件，以解决预定位置上被轨道干涉的物件取放问题。

9、以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

技术特征：

1.一种半导体制程的空中轨道系统，用以供一运输车移动，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的空中半导体制程的轨道系统，其特征在于，其中，该第一横向轨道包括一第一路面及一第一护栏，该第一路面位在该第一横向轨道的顶部，且自该第一纵向轨道延伸至该第一横向轨道的一远端，该第一护栏连接该第一路面，且自该第二纵向轨道的外侧边延伸至该第一横向轨道的远端，该第二横向轨道包括一第二路面及一第二护栏，该第二路面位在该第二横向轨道的顶部，且自该第一纵向轨道延伸至该第二横向轨道的一远端，该第二护栏连接该第二路面，且自该第三纵向轨道的外侧边延伸至该第一横向轨道的远端。

3.如权利要求2所述的半导体制程的空中轨道系统，其特征在于，包括一止挡部，连接该第一横向轨道的远端及该第二横向轨道的远端。

4.如权利要求1所述的半导体制程的空中轨道系统，其特征在于，其中，该驱动装置包括一第一线性滑轨、一第一滑块及一第一气压缸，该第一线性滑轨连接该第一横向轨道，该第一滑块连接该第一线性滑轨及该第四纵向轨道，该第一气压缸连接该第四纵向轨道，以推动该第四纵向轨道沿该第一线性滑轨移动。

5.如权利要求4所述的半导体制程的空中轨道系统，其特征在于，其中，该驱动装置包括一第二线性滑轨、一第二滑块及一第二气压缸，该第二线性滑轨连接该第二横向轨道，该第二滑块连接该第二线性滑轨及该第四纵向轨道，该第二气压缸连接该第四纵向轨道，以推动该第四纵向轨道沿该第二线性滑轨移动。

6.如权利要求4或5所述的半导体制程的空中轨道系统，其特征在于，其中，该第四纵向轨道包括一第四路面、一底面及一侧面，该第四路面与该第一横向轨道及该第二横向轨道的顶面齐平，该第一滑块位在该底面，该第二滑块位在该底面，该第一气压缸及该第二气压缸位在该侧面。

技术总结
本发明的半导体制程的空中轨道系统用以供一运输车移动，包括一第一横向轨道、一第二横向轨道、一第一纵向轨道、一第二纵向轨道、一第三纵向轨道、一驱动装置及一第四纵向轨道。第二横向轨道与第一横向轨道平行且间隔排列。第一纵向轨道连接第一横向轨道及第二横向轨道。第二纵向轨道连接第一横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。第三纵向轨道连接第二横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。第四纵向轨道连接驱动装置，且位在第一横向轨道及第二横向轨道之间。驱动装置用以驱动第四纵向轨道横向移动。

技术研发人员：张志逢,李俊億,方秀博
受保护的技术使用者：东捷科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15