一种发光二极管外延片及其制备方法与流程

1.本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种发光二极管外延片及其制备方法。


背景技术：

2.随着gan基发光二极管大量应用于固态照明领域以及显示领域，gan基发光二极管吸引着越来越多的人关注。目前，gan 基发光二极管已经实现工业化生产、在背光源、照明、景观灯等方面都有应用。
3.在发光二极管中，p型层提供空穴，n型层是提供电子，n型层为高掺si的gan层，而高掺杂si会导致应力变大，晶格质量变差，翘曲变大，所以需要高温高转速保证n型层的晶格质量。
4.但高温会导致外延片翘曲变大，使得外延片边缘容易出现雾片黑点等外观问题。并且在后续量子阱生长过程中，缺陷会导致非辐射复合增多，发光效率下降；另一方面p型层的空穴移动速度慢，n型层电子移动速度快，导致前面几个阱发光效率较低。


技术实现要素：

5.基于此，本发明的目的是提供一种发光二极管外延片及其制备方法，用于解决现有技术中高温高转速生长的高掺杂si的n型gan层，会导致底层翘曲很大，表面平整度差，发光效率较低的技术问题。
6.本技术一方面提供一种发光二极管外延片，包括衬底、以及在所述衬底上依次生长的低温成核层、不掺杂的u-gan层、n型层、多量子阱层、电子阻挡层以及掺杂mg的p型gan层，所述n型层包括依次生长的第一子层、第二子层以及第三子层，所述第一子层层叠于所述不掺杂的u-gan层的上方，所述多量子阱层层叠于所述第三子层的上方；所述第一子层包括周期性层叠的高掺si的gan层和inn层；所述第二子层包括周期性层叠的低掺si的gan层和inn层；所述第三子层包括周期性层叠的sin层和低掺si的algan层。
7.另外，根据本发明上述的发光二极管外延片，还可以具有如下附加的技术特征：进一步地，在所述第一子层及所述第二子层中，inn层中的in组分均为0.05-0.15；在所述第三子层中，所述sin层中的si组分为0.1-0.3，所述低掺si的algan层中的al组分为0.1-0.2。
8.进一步地，在所述第一子层中，所述高掺si的gan层的厚度为100-200nm，所述inn层的厚度为3-10nm，周期数为1-8。
9.进一步地，在所述第二子层中，低掺si的gan层的厚度为30-50nm，inn层的厚度为3-10nm，周期数为1-8。
10.进一步地，在所述第三子层中，sin层的厚度为3-10nm；所述低掺si的algan层的厚度为20-30nm，周期数为1-8。
11.本技术另一方面提供一种发光二极管外延片制备方法，用于制备上述的发光二极
管外延片，所述方法包括：获取一衬底；在所述衬底上依次生长低温成核层、不掺杂的u-gan层、n型层、多量子阱层、电子阻挡层以及掺杂mg的p型gan层；生长所述n型层的方法包括：在所述不掺杂的u-gan层上依次生长的第一子层、第二子层以及第三子层以形成所述n型层；其中，所述第一子层包括周期性层叠的高掺si的gan层和inn层；所述第二子层包括周期性层叠的低掺si的gan层和inn层；所述第三子层包括周期性层叠的sin层和低掺si的algan层。
12.另外，根据本发明上述的发光二极管外延片制备方法，还可以具有如下附加的技术特征：进一步地，在所述第一子层中：高掺si的gan层的生长温度为1100～1150℃，转速为800～1200r/min；inn层生长温度为700～900℃，转速为500～600r/min。
13.进一步地，在所述第二子层中：低掺si的gan层的生长温度为1100～1150℃，转速为800～1200r/min；inn层生长温度为700～900℃，转速为500～600r/min。
14.进一步地，所述第三子层的生长温度为800-1000℃，转速为600-800 r/min。
15.进一步地，在所述第一子层中，高掺si的gan层中的si的掺杂浓度为5
×
10
18-1
×
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19 cm-3
；在所述第二子层中，低掺si的gan层中的si的掺杂浓度为1
×
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15-1
×
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；在所述第三子层中，低掺si的algan层中的si掺杂浓度为1
×
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×
10
15 cm-3
。
16.上述发光二极管外延片及其制备方法，通过将n型层设置周期性复合结构，用以解决现有技术中高温高转速生长的高掺杂si的n型gan层，会导致底层翘曲很大，表面平整度差，发光效率较低的技术问题。具体的，n型层包括第一子层、第二子层以及第三子层；其中，第一子层中，高掺si的n型gan层为高温高转速生长，inn层为低温低转速生长。首先，在提供电子的高掺si的gan层后生长inn薄层，是由于inn层的势垒较低，会形成电子“陷阱”，减缓电子的移动速度，有利于电子空穴对在量子阱的复合，增加发光效率；第二，高掺si会导致晶格质量变差，所以高掺si必须在高温较高转速的条件下生长，晶格质量才能更好，有利于si元素的并入。但是高温高转速会导致很大的应力产生和翘曲变大，导致边缘容易发生雾化，黑点，边缘si难以并入现象。所以在高温高掺si的gan层后生长的inn层选择低温低转速生长，主要是为了释放n型层的应力，缓解翘曲，有利于si的并入，并且in原子在高温下容易发生分解，所以低温也有利于in原子的并入。所以第一子层这样周期性生长的设计，减慢了电子的移动速度，又有利于释放应力，缓解翘曲，提升表面平整度。
17.其中，第二子层中，低掺si的gan层为高温转速生长，inn层为低温低转速生长。第二子层生长材料与第一子层一致，但是gan层的si掺杂浓度较低，有利于电子更好的扩展，从而提升发光二极管的发光效率；其中，第三子层为sin层和低掺si的algan层，第一，由于si原子和al原子较小，所以sin层和algan层都有比较好的晶格质量。底层延伸的位错会在这一层发生扭曲和湮灭，
可以阻断缺陷的延升，为量子阱的生长做准备，防止缺陷延伸至量子阱层，产生非辐射复合；第二，sin层和低掺杂的algan层也有利于电子的扩展，提升发光二极管的发光效率；本层转速和温度处于第一第二子层中间，主要是为了不引入过大的应力，导致翘曲过大，影响表面平整度；故本发明中的发光二极管外延片，可以降低电子的移动速度，并增加电子的扩展能力，释放底层应力，提升晶格质量，增加了表面平整度，又提升了发光二极管的发光效率。
附图说明
18.图1为本发明中发光二极管外延片的结构示意图；主要结构符号说明：如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
19.为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的若干实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。
20.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
21.本技术一方面提供一种发光二极管外延片，包括衬底、以及在所述衬底上依次生长的低温成核层、不掺杂的u-gan层、n型层、多量子阱层、电子阻挡层以及掺杂mg的p型gan层，所述n型层包括依次生长的第一子层、第二子层以及第三子层，所述第一子层层叠于所述不掺杂的u-gan层的上方，所述多量子阱层层叠于所述第三子层的上方；所述第一子层包括周期性层叠的高掺si的gan层和inn层；所述第二子层包括周期性层叠的低掺si的gan层和inn层；所述第三子层包括周期性层叠的sin层和低掺si的algan层。
22.具体的，第一子层中，高掺si的gan层为高温高转速生长，inn层为低温低转速生长；第二子层中，低掺si的gan层为高温高转速生长，inn层为低温低转速生长。
23.在本发明一些实施例当中，在所述第一子层及所述第二子层中，inn层中的in组分均为0.05-0.15；in组分掺杂过高容易导致晶格质量变差。在所述第三子层中，所述sin层中的si组分为0.1-0.3，si组分在这个范围内，有利于提高晶格质量，使得晶格质量相对较优；所述低掺si的algan层中的al组分为0.1-0.2，al组分在这个范围内，有利于提高晶格质量，使得晶格质量相对较优。
24.在本发明一些实施例当中，在所述第一子层中，所述高掺si的gan层的厚度为100-200nm，所述inn层的厚度为3-10nm，周期数为1-8。具体的，inn层为薄层，若太厚，则会导致晶格质量变差。
25.在本发明一些实施例当中，在所述第二子层中，低掺si的gan层的厚度为30-50nm，inn层的厚度为3-10nm，周期数为1-8。
26.在本发明一些实施例当中，在所述第三子层中，sin层的厚度为3-10nm；所述低掺si的algan层的厚度为20-30nm，周期数为1-8。具体的，sin层为薄层，sin层的晶格质量较好，但若sin层的厚度太厚，则会造成裂纹，影响表面平整度。
27.本技术另一方面提供一种发光二极管外延片制备方法，用于制备上述的发光二极管外延片，所述方法包括：获取一衬底；在所述衬底上依次生长低温成核层、不掺杂的u-gan层、n型层、多量子阱层、电子阻挡层以及掺杂mg的p型gan层；生长所述n型层的方法包括：在所述不掺杂的u-gan层上依次生长的第一子层、第二子层以及第三子层以形成所述n型层；其中，所述第一子层包括周期性层叠的高掺si的gan层和inn层；所述第二子层包括周期性层叠的低掺si的gan层和inn层；所述第三子层包括周期性层叠的sin层和低掺si的algan层。
28.在本发明一些实施例当中，在所述第一子层中：高掺si的gan层的生长温度为1100～1150℃，转速为800～1200r/min；inn层生长温度为700～900℃，转速为500～600r/min。
29.在本发明一些实施例当中，在所述第二子层中：低掺si的gan层的生长温度为1100～1150℃，转速为800～1200r/min；inn层生长温度为700～900℃，转速为500～600r/min。
30.在本发明一些实施例当中，所述第三子层的生长温度为800-1000℃，转速为600-800 r/min。
31.在本发明一些实施例当中，在所述第一子层中，高掺si的gan层中的si的掺杂浓度为5
×
10
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19 cm-3
；在所述第二子层中，低掺si的gan层中的si的掺杂浓度为1
×
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15-1
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16 cm-3
；在所述第三子层中，低掺si的algan层中的si掺杂浓度为1
×
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14-1
×
10
15 cm-3
。
32.为了便于理解本发明，下面将给出了本发明的若干实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。
33.实施例1请参阅图1，所示为本发明第一实施例中的发光二极管外延片，如图1所示，该发光二极管外延片包括衬底1、以及在所述衬底上依次生长的低温成核层2、不掺杂的u-gan层3、n型层4、多量子阱层5、电子阻挡层6和掺杂mg的p型gan层7。
34.本实施例采用金属化学气相沉积法mocvd在基底上生长led外延结构，采用高纯氢
气作为载气、高纯氨气作为氮源、三甲基镓和三乙基镓作为镓源、三甲基铟作为铟源、硅烷作为n型掺杂剂、三甲基铝作为铝源以及二茂镁作为p型掺杂剂。
35.具体的，该发光二极管外延片的制备方法包括：提供一种衬底，优选为蓝宝石衬底；具体地，控制温度为1000℃～1200℃，在h2气氛下对衬底进行约5min的高温退火处理。
36.在衬底上生长低温成核层，所述低温成核层的材料可以为algan，反应腔温度为500℃～700℃，压力为200～400torr。具体地，所述低温成核层的厚度约为30-100nm。
37.在低温成核层上生长不掺杂的u-gan层，所述不掺杂的u-gan层反应室温度为1100℃～1150℃，压力为100～500torr。优选地，所述u-gan层的厚度约为300-800nm。
38.在不掺杂的u-gan层上生长n型层，优选地，所述n型层的厚度为1-4μm。具体的，n型层的生长方法如下：控制反应腔压力为100-500torr，转速为800-1200r/min，温度升至1100～1150℃，打开si烷，通入生长gan层所需要的mo源，生长厚度约为100-200nm的高掺si的gan层，然后控制反应室温度降低至700～900℃，转速降低至500～600r/min，关闭si源和ga源，打开in源，生长3-10nm厚度的inn层；如此循环层叠周期性生长，周期为1-8，生长n型层第一子层；保持反应腔压力为100-500torr，转速设置为800-1200r/min，温度升至1100～1150℃，关闭in源，打开si烷，通入生长gan层所需要的mo源，生长厚度约为30-50nm的低掺si的gan层，然后控制反应室温度降低至700～900℃，转速降低至500～600r/min，关闭si源和ga源，打开in源，生长3-10nm厚度的inn层。如此循环层叠周期性生长，周期为1-8，生长n型层第二子层；保持反应腔压力不变，控制生长温度为800-1000℃，转速为600-800 r/min，关闭in源，通入si烷，生长厚度约3-10nm的sin层；打开al源和ga源，生长厚度为20-30nm掺杂si的algan层。如此循环层叠周期性生长，周期为1-8，生长n型层第三子层。
39.在n型层上生长多量子阱层，所述多量子阱层的生长压力为100～500torr；所述多量子阱层是由量子垒层和量子阱层交替层叠的周期性结构；控制反应室温度为720～800℃，生长ingan量子阱层；控制反应室温度为830～950℃，生长量子垒层。优选地，所述量子阱层中in组分所占摩尔比例为10％-35％；所述单个量子阱层的厚度为2-5nm；所述单个量子垒层的厚度为3-15nm。
40.在多量子阱层上生长电子阻挡层，所述电子阻挡层反应室温度为900～1000℃，生长压力为100～300torr。优选地，所述电子阻挡层为alaga
1-a
n和inbga
1-b
n交替生长的周期性结构，其中，a的取值范围为0.05-0.2，b的取值范围为0.1-0.5，厚度为20-50nm。
41.在电子阻挡层上生长掺杂mg的p型gan层。所述掺杂mg的p型gan层生长温度约为800～1000℃，生长压力为100～300torr。优选地，掺杂mg的p型gan层的厚度为200-300nm，mg的掺杂浓度为5
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10
17-1
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42.请参阅下表 1，所示为通过本发明上述实施例 1的制备方法制备3组外延片时的工艺参数及对比例a对应的参数。
43.表2表面粗糙度（rms）和发光亮度测试的测试数据在实际应用当中，分别采用本发明上述实施例1、及对比例a所对应的制备方法及参数制备得到对应的发光二极管外延片，并对实施例1的制备方法制备得到的3组发光二极管外延片进行表面粗糙度（rms）和发光亮度测试，测试数据如表2所示。需要说明的是，为了保证验证结果的可靠性，采用本发明上述实施例1的制备方法制备外延片、及对比例a对应制备外延片时，除上述参数不同以外、其它均相同。
44.结合上述表1和表2的数据可以明显看出，本发明提出的n型层，明显提升了所制备得到的发光二极管外延片的发光亮度，表面粗糙度明显下降，表面平整度得到了极大改善。
45.综上，本发明上述实施例当中的发光二极管外延片及其制备方法，通过将n型层设置周期性复合结构，用以解决现有技术中高温高转速生长的高掺杂si的n型gan层，会导致底层翘曲很大，表面平整度差，发光效率较低的技术问题。具体的，n型层包括第一子层、第二子层以及第三子层；其中，第一子层中，高掺si的n型gan层为高温高转速生长，inn层为低温低转速生长。首先，在提供电子的高掺si的gan层后生长inn薄层，是由于inn层的势垒较低，会形成电子“陷阱”，减缓电子的移动速度，有利于电子空穴对在量子阱的复合，增加发光效率；第二，高掺si会导致晶格质量变差，所以高掺si必须在高温较高转速的条件下生长，晶格质量才能更好，有利于si元素的并入。但是高温高转速会导致很大的应力产生和翘曲变大，导致边
缘容易发生雾化，黑点，边缘si难以并入现象。所以在高温高掺si的gan层后生长的inn层选择低温低转速生长，主要是为了释放n型层的应力，缓解翘曲，有利于si的并入，并且in原子在高温下容易发生分解，所以低温也有利于in原子的并入。所以第一子层这样周期性生长的设计，减慢了电子的移动速度，又有利于释放应力，缓解翘曲，提升表面平整度。
46.其中，第二子层中，低掺si的gan层为高温转速生长，inn层为低温低转速生长。第二子层生长材料与第一子层一致，但是gan层的si掺杂浓度较低，有利于电子更好的扩展，从而提升发光二极管的发光效率；其中，第三子层为sin层和低掺si的algan层，第一，由于si原子和al原子较小，所以sin层和algan层都有比较好的晶格质量。底层延伸的位错会在这一层发生扭曲和湮灭，可以阻断缺陷的延升，为量子阱的生长做准备，防止缺陷延伸至量子阱层，产生非辐射复合；第二，sin层和低掺杂的algan层也有利于电子的扩展，提升发光二极管的发光效率；本层转速和温度处于第一第二子层中间，主要是为了不引入过大的应力，导致翘曲过大，影响表面平整度；故本发明中的发光二极管外延片，可以降低电子的移动速度，并增加电子的扩展能力，释放底层应力，提升晶格质量，增加了表面平整度，又提升了发光二极管的发光效率。
47.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
48.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。