驱动背板及其制作方法、显示面板与流程

本发明涉及显示，尤其涉及一种驱动背板及其制作方法、显示面板。

背景技术：

1、微发光二极管(micro light emitting diode，micro led)显示面板是一项新兴的显示技术，其具有良好的稳定性、长寿命、低功耗、更快的响应速度等诸多优点。

2、一般微发光二极管显示面板的制作，需要将微发光二极管芯片与驱动背板进行键合。相关技术中，微发光二极管显示面板的微发光二极管芯片与驱动背板键合的可靠性偏低，致使显示面板的显示效果不佳。

技术实现思路

1、本发明提供了一种驱动背板及其制作方法、显示面板，以提高微发光二极管芯片与驱动背板键合的可靠性，从而提升显示面板的显示效果。

2、根据本发明的一方面，提供了一种驱动背板，包括：

3、基板；

4、电极层，位于所述基板的一侧，所述电极层包括多个第一电极；

5、绝缘层，位于所述电极层远离所述基板的一侧，所述绝缘层包括多个第一开口，所述第一开口与所述第一电极一一对应，所述第一开口暴露对应的所述第一电极；

6、键合层，包括多个导电柱，所述导电柱与所述第一开口一一对应，所述导电柱包括底部和顶部，所述导电柱的底部位于对应的所述第一开口内且与所述第一电极接触，所述导电柱的底部的表面为平面。

7、可选地，所述导电柱的顶部的表面为平面。

8、可选地，沿垂直于所述基板的方向，所述导电柱的截面的形状为矩形或者梯形。

9、可选地，所述导电柱的底部包括所述梯形的下底。

10、可选地，所述导电柱在所述基板上的垂直投影与所述绝缘层在所述基板上的垂直投影不交叠。

11、根据本发明的另一方面，提供了一种显示面板，显示面板包括如上一方面提供的驱动背板，显示面板还包括多个微发光二极管芯片，所述微发光二极管芯片包括第二电极；所述微发光二极管芯片的第二电极与所述驱动背板上的对应的所述导电柱电连接，以与所述驱动背板上的对应的所述第一电极电连接。

12、根据本发明的另一方面，提供了一种驱动背板的制作方法，包括：

13、提供基板；

14、在所述基板的一侧形成电极层，所述电极层包括多个第一电极；

15、在所述电极层远离所述基板的一侧形成绝缘层，所述绝缘层包括多个第一开口，所述第一开口与所述第一电极一一对应，所述第一开口暴露对应的所述第一电极；

16、形成键合层，所述键合层包括多个导电柱，所述导电柱与所述第一开口一一对应，所述导电柱包括底部和顶部，所述导电柱的底部位于对应的所述第一开口内且与所述第一电极接触，所述导电柱的底部的表面为平面。

17、可选地，所述形成键合层包括：

18、在所述绝缘层远离所述电极层的一侧形成第一图案化光刻胶层，所述第一图案化光刻胶层包括多个第二开口，所述第二开口与所述第一开口一一对应，所述第二开口暴露对应的所述第一开口与其周围的部分所述绝缘层；

19、去除所述第二开口所暴露的所述绝缘层；

20、在所述第二开口内形成所述导电柱；

21、去除所述第一图案化光刻胶层。

22、可选地，所述形成键合层包括：

23、在所述绝缘层远离所述电极层的一侧形成第二图案化光刻胶层，所述第二图案化光刻胶层包括多个第三开口，所述第三开口与所述第一开口一一对应，所述第三开口周围的部分所述第二图案化光刻胶层位于所述第一开口内；

24、在所述第三开口内形成所述导电柱；

25、去除所述第二图案化光刻胶层。

26、可选地，所述去除所述第二图案化光刻胶层包括：

27、去除位于所述绝缘层上的所述第二图案化光刻胶层；

28、去除位于所述第一开口内的所述第二图案化光刻胶层。

29、可选地，所述去除位于所述第一开口内的所述第二图案化光刻胶层包括：

30、采用干法刻蚀工艺，通过氧气轰击所述第一开口内的所述第二图案化光刻胶层以将其去除。

31、本发明实施例的技术方案，驱动背板包括基板、电极层和绝缘层，电极层位于基板的一侧，电极层包括多个第一电极，绝缘层位于电极层远离基板的一侧，绝缘层包括多个第一开口，第一开口与第一电极一一对应，第一开口暴露对应的第一电极。

32、在此基础之上，通过设置驱动背板包括键合层，键合层包括多个导电柱，导电柱与第一开口一一对应，导电柱包括底部和顶部，导电柱的底部位于对应的第一开口内且与第一电极接触，从而使得驱动背板上的第一电极可以通过导电柱与微发光二极管芯片上的电极进行键合。继而，通过设置导电柱的底部的表面为平整的平面，从而使得导电柱与第一电极可靠接触，第一电极与导电柱建立可靠的电连接，由此提高了第一电极通过导电柱与微发光二极管芯片上电极键合的可靠性，进而提升了显示面板的显示效果。以及，将导电柱的底部的表面设置为平整平面的同时，也有利于导电柱的顶部的表面也形成平整的平面，从而使得导电柱与微发光二极管芯片上的电极能够建立可靠的电连接，由此进一步提高了第一电极通过导电柱与微发光二极管芯片上电极键合的可靠性，进而进一步提升了显示面板的显示效果。

33、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种驱动背板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述导电柱的顶部的表面为平面。

3.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，沿垂直于所述基板的方向，所述导电柱的截面的形状为矩形或者梯形；

4.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述导电柱在所述基板上的垂直投影与所述绝缘层在所述基板上的垂直投影不交叠。

5.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的驱动背板；所述显示面板还包括多个微发光二极管芯片，所述微发光二极管芯片包括第二电极；所述微发光二极管芯片的第二电极与所述驱动背板上的对应的所述导电柱电连接，以与所述驱动背板上的对应的所述第一电极电连接。

6.一种驱动背板的制作方法，其特征在于，包括：

7.根据权利要求6所述的驱动背板的制作方法，其特征在于，所述形成键合层包括：

8.根据权利要求6所述的驱动背板的制作方法，其特征在于，所述形成键合层包括：

9.根据权利要求8所述的驱动背板的制作方法，其特征在于，所述去除所述第二图案化光刻胶层包括：

10.根据权利要求7所述的驱动背板的制作方法，其特征在于，所述去除位于所述第一开口内的所述第二图案化光刻胶层包括：采用干法刻蚀工艺，通过氧气轰击所述第一开口内的所述第二图案化光刻胶层以将其去除。

技术总结
本发明公开了一种驱动背板及其制作方法、显示面板。驱动背板包括：基板、电极层、绝缘层和键合层；电极层位于基板的一侧，电极层包括多个第一电极；绝缘层位于电极层远离基板的一侧，绝缘层包括多个第一开口，第一开口与第一电极一一对应，第一开口暴露对应的第一电极；键合层包括多个导电柱，导电柱与第一开口一一对应，导电柱包括底部和顶部，导电柱的底部位于对应的第一开口内且与第一电极接触，导电柱的底部的表面为平面。本发明实施例的技术方案，提高了微发光二极管芯片与驱动背板键合的可靠性，从而提升了显示面板的显示效果。

技术研发人员：高山
受保护的技术使用者：成都辰显光电有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11