激光器和激光器的制备方法与流程

技术特征：

1.一种激光器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述光栅波导结构包括：

3.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述无源波导结构包括：

5.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述dfb结构包括：

6.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，还包括：

7.一种激光器的制备方法，其特征在于，用于制备权利要求1至6中任一项所述的激光器，所述制备方法包括：

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述在衬底上制备光栅波导结构的步骤包括：

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述在所述衬底上，且位于所述光栅波导结构的一侧制备无源波导结构的步骤包括：

10.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述在所述衬底上，且位于所述光栅波导结构的另一侧制备dfb结构的步骤包括：

技术总结
本申请实施例公开了一种激光器和激光器的制备方法，其中本激光器包括了衬底和共用一个衬底的光栅波导结构、无源波导结构和DFB激光器结构，在使用过程中，激光器加正向电压激射产生激光，激光的一部分从光栅波导结构中进入无源波导结构中，无源波导结构的FP腔两端都为高反射率，FP腔除了能提升腔长，还会给DFB结构一个负反馈稳定激光器的波长，进而压缩了线宽。光在无源波导结构几乎没有损耗。本申请实施例提供的激光器真正实现了激光器和FP反馈腔的高效耦合，并且其可给FP腔无法镀膜的一个端面提供高反射率，提升了FP腔的反馈作用。

技术研发人员：姚齐,魏思航,周志强,刘永康
受保护的技术使用者：武汉敏芯半导体股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12