1.一种喷淋盘控温装置，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
3.如权利要求1所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
4.如权利要求1所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
5.如权利要求4所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
6.如权利要求1所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
7.如权利要求6所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
8.如权利要求7所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
9.如权利要求6或7所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
10.如权利要求1所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
11.如权利要求10所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
12.如权利要求10所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
13.如权利要求10或11或12所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，所述温差调节装置包含多个热循环器，各个热循环器呈圆周状布置。
14.如权利要求13所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
15.如权利要求10所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
16.如权利要求1所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
17.如权利要求1所述的喷淋盘控温装置，其特征在于，
18.一种薄膜处理装置，其特征在于，包含：
19.如权利要求18所述的薄膜处理装置，其特征在于，
20.一种如权利要求1～17任一项所述的喷淋盘控温装置的温度调节方法，其特征在于，包含：
21.如权利要求20所述的喷淋盘控温装置的温度调节方法，其特征在于，还包含：
22.如权利要求20所述的喷淋盘控温装置的温度调节方法，其特征在于，