一种带有暂存功能的晶圆传输系统的制作方法

本发明涉及晶圆生产，具体涉及一种带有暂存功能的晶圆传输系统。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。

2、在晶圆的生产过程中，需要在多个设备工位中进行加工，例如裂片机、划片机、探针检测机等等，故需要将晶圆在多个设备工位中进行传输。

3、目前晶圆在多个设备工位中进行传输的方式主要有两种：第一种是通过人工的方式，将晶圆在多个设备工位中进行转移，但是该方式需要人力不断地进行工作，存在浪费人力成本以及工作效率低下的问题；第二种是通过在相邻的两个设备工位中设置机械手，但是该方式需要多个机械手，大大地增加了成本。

4、除此以外，在晶圆的生产过程中，若其中一个环节出现问题的时候，需要及时地对不良品进行下料操作，或者在下一个设备工位忙于作业的时候，需要停止上一个设备工位的晶圆传输。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种带有暂存功能的晶圆传输系统，实现多个工位之间的自动化传输，并且具有暂存的功能。

2、本发明的目的通过以下技术方案实现：一种带有暂存功能的晶圆传输系统，包括传输座、上料机构、下料机构以及若干个暂存台；所述上料机构以及下料机构分别设于传输座的两侧；所述暂存台设于相邻两个工位之间；

3、所述传输座设有移动座以及用于驱动移动座移动的传输组件；所述移动座设有取料板以及用于驱动取料板升降的取料驱动件；

4、所述上料机构包括上料座；所述上料座设有多个上料放置板；所述下料机构包括下料座；所述下料座设有多个下料放置板；

5、带有暂存功能的晶圆传输系统还包括若干个定位支撑组件；所述定位支撑组件设于每个暂存台以及每个工位；所述定位支撑组件包括左夹板、右夹板以及用于驱动左夹板与右夹板靠近或者远离的夹持驱动组件；

6、所述传输组件用于驱动移动座在上料放置板、左夹板与右夹板之间以及下料放置板移动。

7、本发明进一步设置为，所述暂存台设有让位通道；所述传输座穿设于让位通道；所述暂存台在左夹板与右夹板之间设有与让位通道连通的送料开槽。

8、本发明进一步设置为，所述传输组件包括设于传输座一侧的第一同步轮、设于传输座另一侧的第二同步轮、设于第一同步轮与第二同步轮之间的同步带以及用于驱动第二同步轮转动的步进电机；所述移动座设有与同步带连接的连接块；

9、所述传输组件还包括设于传输座的导向轨道以及与导向轨道滑动连接的导向滑块；所述导向滑块设于移动座。

10、本发明进一步设置为，所述取料驱动件包括设于移动座的电缸；所述电缸的输出端与取料板连接；

11、所述取料驱动件还包括设于移动座的导向套以及滑动设于导向套内的滑动柱；所述滑动柱与取料板连接。

12、本发明进一步设置为，所述取料板的顶部设有第一固定块；

13、所述取料板设于移动座的顶部；所述电缸设于移动座的底部。

14、本发明进一步设置为，所述上料座升降设有上料升降板；所述上料座设有用于驱动上料升降板升降的上料升降件；多个上料放置板沿上料升降板高度方向间隔设置；所述上料升降板的一侧设有上料开口。

15、本发明进一步设置为，所述下料座升降设有下料升降板；所述下料座设有用于驱动下料升降板升降的下料升降件；多个下料放置板沿下料升降板高度方向间隔设置；所述下料升降板的一侧设有下料开口。

16、本发明进一步设置为，所述上料放置板的顶部以及下料放置板的顶部均设有第二固定块。

17、本发明进一步设置为，所述夹持驱动组件包括左气缸以及右气缸；所述左气缸的输出端与左夹板连接；所述右气缸的输出端与右夹板连接；

18、所述夹持驱动组件还包括夹持滑轨；所述左夹板的底部以及右夹板的底部均设有与夹持滑轨滑动连接的夹持滑块。

19、本发明进一步设置为，所述左夹板的顶部以及右夹板的顶部均设有第三固定块。

20、本发明的有益效果：本发明通设置传输座、上料机构、下料机构以及定位支撑组件，能够驱动晶圆在上料机构、多个工位、暂存台以及下料机构之间实现自动化传输，提高了工作效率，并且能够节省成本；同时通过在相邻两个工位之间设置暂存台，能够将不良品进行区分放置；同时能够在下一个设备工位忙于作业的时候，将晶圆放置在暂存台上进行暂存。

技术特征：

1.一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：包括传输座(1)、上料机构、下料机构以及若干个暂存台(7)；所述上料机构以及下料机构分别设于传输座(1)的两侧；所述暂存台(7)设于相邻两个工位(5)之间；

2.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述暂存台(7)设有让位通道(71)；所述传输座(1)穿设于让位通道(71)；所述暂存台(7)在左夹板(51)与右夹板(52)之间设有与让位通道(71)连通的送料开槽(72)。

3.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述传输组件包括设于传输座(1)一侧的第一同步轮(11)、设于传输座(1)另一侧的第二同步轮(12)、设于第一同步轮(11)与第二同步轮(12)之间的同步带(13)以及用于驱动第二同步轮(12)转动的步进电机(14)；所述移动座(2)设有与同步带(13)连接的连接块(21)；

4.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述取料驱动件包括设于移动座(2)的电缸(23)；所述电缸(23)的输出端与取料板(22)连接；

5.根据权利要求4所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述取料板(22)的顶部设有第一固定块(26)；

6.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述上料座(3)升降设有上料升降板(32)；所述上料座(3)设有用于驱动上料升降板(32)升降的上料升降件(33)；多个上料放置板(31)沿上料升降板(32)高度方向间隔设置；所述上料升降板(32)的一侧设有上料开口(34)。

7.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述下料座(4)升降设有下料升降板(42)；所述下料座(4)设有用于驱动下料升降板(42)升降的下料升降件(43)；多个下料放置板(41)沿下料升降板(42)高度方向间隔设置；所述下料升降板(42)的一侧设有下料开口(44)。

8.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述上料放置板(31)的顶部以及下料放置板(41)的顶部均设有第二固定块(45)。

9.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述夹持驱动组件包括左气缸(53)以及右气缸(54)；所述左气缸(53)的输出端与左夹板(51)连接；所述右气缸(54)的输出端与右夹板(52)连接；

10.根据权利要求1所述的一种带有暂存功能的晶圆传输系统，其特征在于：所述左夹板(51)的顶部以及右夹板(52)的顶部均设有第三固定块(57)。

技术总结
本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种带有暂存功能的晶圆传输系统，包括传输座、上料机构、下料机构以及若干个暂存台；所述传输座设有移动座以及传输组件；所述移动座设有取料板以及取料驱动件；所述上料机构包括上料座以及上料放置板；所述下料机构包括下料座、下料放置板；还包括定位支撑组件。本发明通设置传输座、上料机构、下料机构以及定位支撑组件，能够驱动晶圆在上料机构、多个工位、暂存台以及下料机构之间实现自动化传输，提高了工作效率，并且能够节省成本；同时通过在相邻两个工位之间设置暂存台，能够将不良品进行区分放置；同时能够在下一个设备工位忙于作业的时候，将晶圆放置在暂存台上进行暂存。

技术研发人员：令龙军,钟国华,周军,李雄,廖大军
受保护的技术使用者：纳美半导体设备（东莞）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12