一种图像传感器及其制造方法与流程

文档序号:33806805发布日期:2023-04-19 12:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种图像传感器,其特征在于,所述图像传感器包括:相互键合的第一半导体结构和第二半导体结构;其中,

2.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,所述第一半导体结构的相邻所述像素单元之间设有第一隔离结构;所述第二半导体结构的相邻所述晶体管之间设有第二隔离结构;其中,所述第一隔离结构和所述第二隔离结构不同。

3.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,每个所述像素单元还包括传输晶体管和浮置扩散区,所述传输晶体管和所述光电二极管连接,用于将所述电信号传输至所述浮置扩散区。

4.根据权利要求3所述的图像传感器,其特征在于,所述光电二极管包括:

5.根据权利要求4所述的图像传感器,其特征在于,所述晶体管包括:

6.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,

7.根据权利要求6所述的图像传感器,其特征在于,所述图像传感器还包括:

8.一种图像传感器的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括:

9.根据权利要求8所述的图像传感器的制造方法,其特征在于,

10.根据权利要求9所述的图像传感器的制造方法,其特征在于,每个所述像素单元还包括:传输晶体管和浮置扩散区,所述传输晶体管和所述光电二极管连接,用于将所述电信号传输至所述浮置扩散区。

11.根据权利要求10所述的图像传感器的制造方法,其特征在于,任意相邻两个所述第一隔离结构之间设有第一有源区;所述形成第一半导体结构,还包括:

12.根据权利要求11所述的图像传感器的制造方法,其特征在于,任意相邻两个所述第二隔离结构之间设有第二有源区;所述形成第二半导体结构,还包括:

13.根据权利要求8所述的图像传感器的制造方法,其特征在于,

14.根据权利要求13所述的图像传感器的制造方法,其特征在于,所述将所述第一半导体结构和所述第二半导体结构进行键合,包括:

15.根据权利要求14所述的图像传感器的制造方法,其特征在于,所述对所述第一半导体结构和所述第二半导体结构进行预处理,包括:


技术总结
本公开实施例提供一种图像传感器及其制造方法。所述图像传感器包括:相互键合的第一半导体结构和第二半导体结构;其中,所述第一半导体结构包括像素阵列,所述像素阵列包括多个呈阵列排布的像素单元;其中,每个所述像素单元包括光电二极管,所述光电二极管用于将光信号转换为电信号;所述第二半导体结构包括逻辑电路,所述逻辑电路包括多个晶体管;所述晶体管包括复位晶体管、源极跟随晶体管和行选择晶体管;其中,所述复位晶体管用于对所述像素单元进行复位,所述源极跟随晶体管用于输出所述电信号,所述行选择晶体管用于将所述源极跟随晶体管输出的所述电信号选择输出。

技术研发人员:余兴,沈茜,朱振华
受保护的技术使用者:芯盟科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1