分流装置的制作方法

1.本技术与晶圆的湿制程有关，特别是指一种分流装置，能用于分流化学药液和清洁液。


背景技术：

2.关于晶圆的湿制程，由于必须对晶圆分别喷洒化学药液和清洁液，因此必须防止化学药液和清洁液彼此混渗。
3.现有分流结构虽能借由分流化学药液和清洁液而彼此防止混渗，但却仍然存在以下缺陷：
4.一、分流不够彻底，导致仍有些许混渗。
5.二、现有分流结构具有用于进行分流的作业空间，作业空间由上盖和下盖彼此组合而成，且上盖会受动上升和下降，导致结构趋于复杂，有不易维修的缺点。
6.三、现有分流结构具有用以分别收容化学药液和清洁液的第一容槽和第二容槽，第一容槽和第二容槽彼此存在高低落差，使化学药液和清洁液易于从较高的其中一容槽流入较低的其中另一容槽内而混渗。
7.因此，如何设计出一种可改善上述现有缺陷的本技术，乃为本技术发明人所亟欲解决的一大课题。


技术实现要素：

8.本技术的目的在于提供一种分流装置，能确保化学药液和清洁液不混渗，并让用以构成作业容室的罩盖静置不动，因此结构简单而易于维修。
9.为了达成上述目的，本技术提供一种分流装置，用于分流化学药液和清洁液且包括：座体结构；壳体，包含彼此组合的罩盖和槽体，该槽体具有内围流道和外围流道；中柱结构，立设于该座体结构且具有内段，该内段伸入该壳体内，所述化学药液和清洁液皆朝该内段喷洒；升降板，受动于该座体结构而升降；内分流罩，在该壳体内环绕固定于该中柱结构且具有对应于该内围流道的第一外周缘；以及外分流罩，在该壳体内同轴环绕该内分流罩且具有对应于该外围流道的第二外周缘，该外分流罩受动于该升降板而能相对于该内分流罩上升至靠近该罩盖和下降至远离该罩盖；其中，该外分流罩经由受动上升而与该内分流罩错开，所述清洁液经由该第一外周缘而落入该内围流道；该外分流罩经由受动下降而与该内分流罩共同组合成遮罩，所述化学药液经由该第二外周缘而落入该外围流道。
10.在一种实施方式中，该座体结构包含固定座和设置于该固定座的至少一个驱动器，该中柱结构立设于该固定座，该至少一个驱动器驱动该升降板升降。
11.在一种实施方式中，该固定座设有至少一个导杆，该至少一个导杆可活动地穿插该升降板，该至少一个导杆导引该升降板升降。
12.在一种实施方式中，该内段具有顶部，该顶部高出于该内分流罩和该外分流罩，该化学药液和该清洁液皆先朝该顶部喷洒再流过该内分流罩。
13.在一种实施方式中，该升降板设有至少两个连杆，该至少两个连杆可活动地穿过该槽体并固定于该外分流罩。
14.在一种实施方式中，该槽体设有至少两个穿孔，各连杆分别可活动地穿插于各穿孔。
15.在一种实施方式中，该壳体静置不动地与该座体结构彼此相对配置。
16.在一种实施方式中，该罩盖为静置不动的罩盖。
17.在一种实施方式中，分流装置还包括至少一个喷液器，该至少一个喷液器设置于该壳体之外，该壳体开设有上开口，该至少一个喷液器经由该上开口将该化学药液和清洁液喷洒到该壳体内。
18.在一种实施方式中，该内围流道的内底面与该外围流道的内底面彼此等高。
19.在一种实施方式中，该槽体具有至少三个上凸环墙，该遮罩具有至少两个下凸环墙，各上凸环墙分别与各下凸环墙彼此相向且彼此间隔并排，该至少三个上凸环墙和该至少两个下凸环墙彼此交错，该槽体在该至少三个上凸环墙之间形成有该内围流道和该外围流道。
20.相较于现有技术，本技术具有以下功效：能确保化学药液和清洁液不混渗，并让用以构成作业容室的罩盖静置不动，因此结构简单而易于维修。
附图说明
21.图1为本技术分流装置的俯视立体示意图。
22.图2为本技术分流装置的仰视立体示意图。
23.图3为本技术分流装置的剖面示意图，显示外分流罩上升前。
24.图4为本技术分流装置于喷液时的剖面示意图，显示外分流罩还未上升。
25.图5为本技术分流装置于喷液时的剖面示意图，显示外分流罩已上升。
26.附图标记说明：
27.1：座体结构；
28.11：固定座；
29.111：导杆；
30.12：驱动器；
31.2：升降板；
32.21：连杆；
33.3：中柱结构；
34.31：内段；
35.311：顶部；
36.4：壳体；
37.41：罩盖；
38.411：上开口；
39.42：槽体；
40.421：内围流道；
41.422：外围流道；
42.423：穿孔；
43.43：作业容室；
44.425：上凸环墙；
45.5：遮罩；
46.51：内分流罩；
47.511：第一外周缘；
48.52：外分流罩；
49.521：第二外周缘；
50.522：内周缘；
51.53：下凸环墙；
52.6：喷液器；
53.9：晶圆；
54.w1：清洁液；
55.w2：化学药液。
具体实施方式
56.有关本技术的详细说明和技术内容，配合附图说明如下，然而附图仅提供参考与说明用，非用以限制本技术。
57.如图1至图3所示，本技术提供一种分流装置，主要在进行湿制程时能将清洁液和化学药液予以分流。本技术分流装置包括：座体结构1、升降板2、中柱结构3、壳体4、遮罩5以及至少两个喷液器6。
58.座体结构1可为单纯的座体(图中未示)，也可为如图所示包含有固定座11和至少一个驱动器12，于本实施例中则以后者为例进行说明。驱动器12的数量可为两个，且各驱动器12设置于固定座11上。具体而言，固定座11还可立设(直立设置)有至少一个导杆111，导杆111的数量本技术并未限定，于本实施例中则以两支导杆111为例进行说明。
59.升降板2受动于座体结构1的各驱动器12，因此，各驱动器12能够驱动升降板2相对于固定结构1沿纵向升降。各导杆111可活动地穿插于升降板2，使升降板2的升降受到导杆111的导引。具体而言，升降板2还可立设有至少两个连杆21，使各连杆21能跟随升降板2一起升降。
60.中柱结构3立设于固定座11上且具有内段31，内段31具有顶部311。顶部311上则可吸附定位有晶圆9。
61.壳体4固定于中柱结构3。详细而言，壳体4包含彼此组合的罩盖41和槽体42，并于组合后的罩盖41与槽体42之间形成作业容室43，中柱结构3的内段31伸入作业容室43内(即伸入壳体4内)。须说明的是，壳体4静置不动地与座体结构1彼此相对配置，所以其中的罩盖41为静置不动的罩盖。本技术的分流作业即是在作业容室43内进行。其中，罩盖41开设有上开口411；槽体42围绕固定于中柱结构3且具有内围流道421和外围流道422，外围流道422围绕内围流道421，内围流道421围绕中柱结构3。
62.遮罩5配置于作业容室43内。遮罩5包含内分流罩51和外分流罩52；换言之，内分流罩51和外分流罩52能共同组合成遮罩5。需说明的是，前述顶部311在前述纵向上高出于内
分流罩51和外分流罩52。
63.内分流罩51环绕固定于中柱结构3的内段31，且内分流罩51具有第一外周缘511，第一外周缘511与内围流道421沿前述纵向直线对应。
64.外分流罩52则同轴环绕内分流罩51且受动于升降板2，且外分流罩52具有第二外周缘521和内周缘522，内周缘522和第二外周缘521彼此内外相对，第二外周缘521与外围流道422沿前述纵向直线对应。详细而言，槽体42还可开设有至少两个穿孔423，升降板2的各连杆21先可活动地穿过各穿孔423再固接于外分流罩52，以使外分流罩52能够经由连杆21而跟随升降板2一起升降，而且是外分流罩52相对于内分流罩51朝罩盖41方向上升以及朝相反于罩盖41(背离罩盖41)的方向下降。
65.各喷液器6则设置壳体4之外，并使各喷液器6能朝壳体4的上开口411喷洒液体(例如清洁液w1、化学药液w2)，以让所述液体经由上开口411先喷洒到中柱结构3的顶部311上的晶圆9，再从顶部311上的晶圆9往下流到遮罩5上，所以能使液体流过遮罩5而从第二外周缘521往下落入外围流道422内，或使液体仅流过内分流罩51而从第一外周缘511往下落入内围流道421内。
66.借此，如图4所示，欲对吸附定位于顶部311上的晶圆9喷洒化学药液w2时，先让遮罩5保持在组合状态且不做升降动作，再让各喷液器6经由上开口411对晶圆9喷洒化学药液w2，使化学药液w2从顶部311上的晶圆9往下流落到遮罩5上并从第二外周缘521往下落入到外围流道422内，最后则经由连通外围流道422的化学药液排放孔(未标示附图标记)予以排放掉。如图5所示，欲对吸附定位于顶部311上的晶圆9进行清洁时，先控制各驱动器12驱动升降板2上升，使外分流罩52跟着受动上升而相对于内分流罩51错开，此时内分流罩51上原本被外分流罩52的内周缘522所遮蔽的第一外周缘511将会因此而裸露；接着让各喷液器6经由上开口411对晶圆9喷洒清洁液w1，使清洁液w1从顶部311上的晶圆9往下流落到内分流罩51上并从第一外周缘511往下落入到内围流道421内；最后则经由连通内围流道421的清洁液排放孔(未标示附图标记)予以排放掉。
67.需说明的是，当欲再对晶圆9进行清洁时，如图4所示，则须先控制各驱动器12驱动升降板2下降，使外分流罩52跟着受动下降至与内分流罩51共同组合而回复成原本的遮罩5，此时内分流罩51上的第一外周缘511将会因此而回复到被外分流罩52的内周缘522所遮蔽，如此一来化学药液w2就只能从第二外周缘521往下落入到外围流道422内。
68.如此一来，清洁液w1和化学药液w2就能彻底分流，从而具有能确保两种液体不会彼此混渗的效果。再者，由于罩盖41静置不动，因此具有结构简单的优点，进而易于维修。值得说明的是，如图3所示，前述内围流道421的内底面与外围流道422的内底面彼此等高，因此清洁液w1和化学药液w2将不会因为内围流道421、外围流道422存在高低落差而易于从较高的流道流入较低的流道中而混渗；甚至于，还能因为槽体42和遮罩5分别具有至少三道上凸环墙425和至少两道下凸环墙53，各上凸环墙425和各下凸环墙53彼此并排且彼此间隔交错，且彼此间隔的三道上凸环墙425之间形成有前述内围流道421和外围流道422，使流道(421、422)内的液体(w1、w2)难以越过彼此间隔交错的上凸环墙425和下凸环墙53的阻碍，所以清洁液w1和化学药液w2将更难以混渗。
69.综上所述，本技术分流装置确可达到预期的使用目的，并解决现有技术的缺陷，完全符合实用新型专利申请要求，爰依专利法提出申请，敬请详查并赐准本案专利，以保障申
请人的权利。
70.以上所述者，仅为本技术的较佳可行实施例而已，非因此即局限本技术的专利范围，举凡运用本技术说明书及图式内容所为的等效结构变化，均理同包含于本技术的权利范围内，合予陈明。