基板搬运机器人以及基板搬运机器人的控制方法与流程

本公开涉及基板搬运机器人以及基板搬运机器人的控制方法，特别是涉及具备保持基板的基板保持手部的基板搬运机器人以及基板搬运机器人的控制方法。

背景技术：

1、以往，已知具备保持基板的基板保持手部的基板搬运机器人。例如，在日本专利第6571475号公报中公开有这样的基板搬运机器人。

2、在日本专利第6571475号公报中，公开了从收纳有多个基板的盒中搬出基板的基板搬运机器人。基板搬运机器人基于被预先示教的示教数据，通过手部从盒中搬出基板。另外，在日本专利第6571475号公报中，公开了对收纳于盒中的多个基板进行拍摄的照相机、和对由照相机拍摄到的图像进行处理的控制部。而且，控制部基于由照相机拍摄到的图像，取得配置于盒内的多个基板的倾斜角度、弯曲状态等。控制部基于所取得的基板的倾斜角度、弯曲状态等，修正用于搬出基板的示教数据。即，基于所取得的基板的倾斜角度、弯曲状态等，变更侵入盒中的手部的移动路径、位置等。由此，即使在盒中基板以倾斜的状态配置的情况下、基板弯曲的情况下，也能够从盒中搬出基板。

3、专利文献1：日本专利第6571475号公报。

4、此处，多个基板在盒中以隔开规定的间隔层叠的方式配置。因此，如日本专利第6571475号公报所述，在基于所取得的基板的倾斜角度、弯曲状态等而变更了侵入盒中的手部的移动路径、位置等的情况下，手部有时会干涉以与成为搬出对象的基板相邻的方式配置的基板。另外，正被手部搬运的基板有时会干涉以相邻的方式配置的基板。因此，在搬运基板时，存在基板发生干涉这一问题。

技术实现思路

1、本公开是为了解决上述那样的课题而完成的，本公开的一个目的在于提供一种在搬运基板时能够抑制基板的干涉的基板搬运机器人以及基板搬运机器人的控制方法。

2、本公开的第一方面所涉及的基板搬运机器人，是进行从用于收纳多个基板的收纳部搬出基板和将基板搬入收纳部中的至少一方的基板搬运机器人，该基板搬运机器人具备：机器人臂、安装于机器人臂的前端且保持基板的基板保持手部、对收纳于收纳部的多个基板进行拍摄的拍摄部、以及控制部，控制部基于由拍摄部拍摄到的图像，取得包括收纳部内的基板保持手部的位置与基板之间的间隙、正由基板保持手部搬运的基板和与正由基板保持手部搬运的基板相邻的基板之间的间隙、以及收纳于收纳部的基板彼此之间的间隙中的至少一方的搬运间隙，并基于所取得的搬运间隙的大小，控制机器人臂以及基板保持手部的动作，以便进行从收纳部搬出基板和将基板搬入收纳部中的至少一方。

3、在本公开的第一方面所涉及的基板搬运机器人中，如上述那样，控制部基于由拍摄部拍摄到的图像，取得包括收纳部内的基板保持手部的位置与基板之间的间隙、正由基板保持手部搬运的基板和与正由基板保持手部搬运的基板相邻的基板之间的间隙、以及收纳于收纳部的基板彼此之间的间隙中的至少一方的搬运间隙，并基于所取得的搬运间隙的大小，控制机器人臂以及基板保持手部的动作，以便进行从收纳部搬出基板和将基板搬入收纳部中的至少一方。由此，即使在基于基板的倾斜角度、弯曲状态等来变更侵入收纳部的基板保持手部的移动路径、位置等的情况下，在搬运间隙的大小不充分时，也能够进行控制以使得不进行从收纳部搬出基板或将基板搬入收纳部。因此，能够抑制：基板保持手部干涉以与成为搬出对象的基板相邻的方式配置的基板、正由基板保持手部搬运的基板干涉以相邻的方式配置的基板。其结果，在搬运基板时，能够抑制基板的干涉。

4、另外，也能够使光学传感器沿着收纳于收纳部的基板的排列方向移动而检测基板的位置等来取得搬运间隙。另一方面，在该情况下，由于光学传感器仅检测基板的一侧端部等的一部分，因此难以正确取得基板的中央部以及另一侧端部处的搬运间隙。因此，如上述那样，通过基于由拍摄部拍摄到的图像而取得搬运间隙，不仅能够取得基板的一侧端部处的搬运间隙、还能够取得中央部以及另一侧端部处的搬运间隙。其结果，在搬运基板时，能够适当抑制基板的干涉。

5、本公开的第二方面所涉及的基板搬运机器人的控制方法，是进行从用于收纳多个基板的收纳部搬出基板和将基板搬入收纳部中的至少一方的基板搬运机器人的控制方法，该控制方法包括：利用拍摄部对收纳于收纳部的多个基板进行拍摄；基于由拍摄部拍摄到的图像，取得包括收纳部内的基板搬运机器人的基板保持手部的位置与基板之间的间隙、正由基板保持手部搬运的基板和与正由基板保持手部搬运的基板相邻的基板之间的间隙、以及收纳于收纳部中的基板彼此之间的间隙中的至少一方的搬运间隙；以及基于所取得的搬运间隙的大小，控制基板搬运机器人的机器人臂以及基板保持手部的动作，以便进行从收纳部中搬出基板和将基板搬入收纳部中的至少一方。此外，基板搬运机器人的控制方法包括通过示教数据、控制参数对基板搬运机器人进行示教的方法。

6、如上述那样，本公开的第二方面所涉及的基板搬运机器人的控制方法包括：利用拍摄部对收纳于收纳部的多个基板进行拍摄；基于由拍摄部拍摄到的图像，取得包括收纳部内的基板搬运机器人的基板保持手部的位置与基板之间的间隙、正由基板保持手部搬运的基板和与正由基板保持手部搬运的基板相邻的基板之间的间隙中的至少一方的搬运间隙、以及基于所取得的搬运间隙的大小，控制基板搬运机器人的机器人臂以及基板保持手部的动作，以便进行从收纳部搬出基板和将基板搬入收纳部中的至少一方。由此，即使在基于基板的倾斜角度、弯曲状态等来变更侵入收纳部的基板保持手部的移动路径、位置等的情况下，在搬运间隙的大小不充分时，也能够进行控制以使得不进行从收纳部搬出基板、或将基板搬入收纳部。因此，能够抑制：基板保持手部干涉以与成为搬出对象的基板相邻的方式配置的基板、以及正由基板保持手部搬运的基板干涉以相邻的方式配置的基板。其结果，能够提供一种在搬运基板时能够抑制基板的干涉的基板搬运机器人的控制方法。

7、另外，也能够使光学传感器沿着收纳于收纳部的基板的排列方向移动而检测基板的位置等来取得搬运间隙。另一方面，在该情况下，由于光学传感器仅检测基板的一侧端部等的一部分，因此难以正确取得基板的中央部以及另一侧端部处的搬运间隙。因此，如上述那样，通过基于由拍摄部拍摄到的图像而取得搬运间隙，不仅能够取得基板的一侧端部处的搬运间隙、还能取得中央部以及另一侧端部处的搬运间隙。其结果，能够提供一种能够抑制基板的中央部以及另一侧端部的干涉的基板搬运机器人的控制方法。

8、根据本公开，在搬运基板时，能够抑制基板的干涉。

技术特征：

1.一种基板搬运机器人，进行从用于收纳多个基板的收纳部搬出所述基板和将所述基板搬入所述收纳部中的至少一方，其中，

2.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，

3.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，

4.根据权利要求3所述的基板搬运机器人，其中，

5.根据权利要求4所述的基板搬运机器人，其中，

6.根据权利要求4所述的基板搬运机器人，其中，

7.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，

8.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，

9.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，

10.根据权利要求9所述的基板搬运机器人，其中，

11.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其中，

12.一种基板搬运机器人的控制方法，进行从用于收纳多个基板的收纳部搬出所述基板和将所述基板搬入所述收纳部中的至少一方，其中，

技术总结
在本发明的基板搬运机器人(100)中，控制部(30)基于由拍摄部(25)拍摄到的图像，取得搬运间隙(C)，并基于所取得的搬运间隙(C)的大小，控制基板(1)从收纳部(200)搬出和向收纳部(200)搬入的至少一方。

技术研发人员：桥崎知,北野真也
受保护的技术使用者：川崎重工业株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/2/21